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기판;상기 기판 상에 수동 도파로층, 하부 클래드층, 활성층 및 상부 클래드층이 순차적으로 적층되되, 직선 도파로 영역, 굽은 도파로 영역, 테이퍼 진 도파로 영역 및 윈도우 영역을 구비하는 리지형 광 도파로; 및상기 활성층 주위에 제공되어, 상기 활성층 외부로의 전류 흐름을 차단하는 전류 차단층을 포함하되,상기 직선 도파로 영역 및 상기 굽은 도파로 영역은 매립형 이종 구조로 이루어지고, 상기 테이퍼 진 도파로 영역은 매립형 리지 스트라이프 구조로 이루어지고,상기 수동 도파로층은 상기 직선 도파로 영역에서의 상기 활성층의 폭과 동일한 폭을 가지면서, 상기 직선 도파로 영역, 상기 굽은 도파로 영역, 상기 테이퍼 진 도파로 영역 및 상기 윈도우 영역에 제공되는 것을 특징으로 하는 외부 공진 레이저 광원
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기판;상기 기판 상에 수동 도파로층, 하부 클래드층, 활성층 및 상부 클래드층이 순차적으로 적층되되, 직선 도파로 영역, 굽은 도파로 영역, 테이퍼 진 도파로 영역 및 윈도우 영역을 구비하는 리지형 광 도파로; 및상기 활성층 주위에 제공되어, 상기 활성층 외부로의 전류 흐름을 차단하는 전류 차단층을 포함하되,상기 직선 도파로 영역 및 상기 굽은 도파로 영역은 매립형 이종 구조로 이루어지고, 상기 테이퍼 진 도파로 영역은 매립형 리지 스트라이프 구조로 이루어지고,상기 수동 도파로층은 상기 직선 도파로 영역에서는 상기 기판 상의 전체 표면에 제공되고, 상기 굽은 도파로 영역, 상기 테이퍼 진 도파로 영역 및 상기 윈도우 영역에서는 상기 테이퍼 진 도파로 영역에서의 상기 활성층의 최대 폭과 동일한 폭으로 제공되는 것을 특징으로 하는 외부 공진 레이저 광원
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3 |
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 활성층은 편광 의존성을 갖는 다중 양자 우물 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 외부 공진 레이저 광원
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 활성층은 편광 의존성을 갖지 않는 벌크 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 외부 공진 레이저 광원
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5
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 테이퍼 진 도파로 영역은 110㎛의 길이를 갖는 것을 특징으로 하는 외부 공진 레이저 광원
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6 |
6
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 활성층의 상기 굽은 도파로 영역 및 상기 테이퍼 진 도파로 영역은 버트 결합에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 외부 공진 레이저 광원
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7 |
7
제 6항에 있어서,상기 굽은 도파로 영역 및 상기 테이퍼 진 도파로 영역의 버트 경계는 상기 직선 도파로 영역에 대해 약 5~45° 정도 기울어진 형태인 것을 특징으로 하는 외부 공진 레이저 광원
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8 |
8
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 활성층 주위의 상기 전류 차단층 및 상기 기판의 일부를 제거하여 형성되는 트렌치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 외부 공진 레이저 광원
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9
제 8항에 있어서,상기 트렌치의 형성에 의해 1
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10
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 수동 도파로층은 1~10㎛의 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 외부 공진 레이저 광원
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