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관통홀을 가지는 사출 금형을 형성하는 단계,점성을 갖는 감광액을 상기 사출 금형에 충진하고, 상기 관통홀을 통해 압출하는 단계,상기 압출된 감광액을 경화시켜 바늘 형상의 경화된 감광액 구조를 형성하는 단계,상기 경화된 감광액 구조의 표면에 시드막(seed layer)을 형성하는 단계, 상기 시드막 위에 금속 도금막을 형성하는 단계,상기 금속 도금막이 형성된 상기 경화된 감광액 구조의 끝단에서 경사각을 주면서 상기 금속 도금막을 절삭하여 경사를 형성하는 단계, 그리고상기 금속 도금막 내부의 상기 경화된 감광액 구조를 제거하여 할로우를 형성하는 단계를 포함하는 마이크로 니들의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 압출된 감광액이 기둥형의 바늘 형상을 갖도록 보조 기판을 접촉시켜 가이드하는 단계를 더 포함하는 마이크로 니들의 제조 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 마이크로 니들은 외경이 40 ~ 200 ㎛이고, 내경이 10 ~ 150 ㎛인 마이크로 니들의 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 마이크로 니들은 유효 길이가 0
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제1항에 있어서, 상기 관통홀을 가지는 상기 사출 금형을 형성하는 단계는기판에 감광막을 형성하는 단계,상기 감광막을 노광 및 현상하여 마스크를 형성하는 단계, 상기 마스크에 따라 상기 기판에 소정 수효의 상기 관통홀을 형성하는 단계, 그리고상기 관통홀이 형성된 상기 기판이 상기 사출 금형의 하면이 되도록 상기 사출 금형에 상기 기판을 조립하는 단계를 포함하는 마이크로 니들의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 금속 도금막이 형성된 상기 경화된 감광액 구조의 끝단에서 경사각을 주면서 상기 금속 도금막을 절삭하여 상기 경사를 형성하는 단계는,상기 금속 도금막을 덮도록 슬러리를 도포하는 단계,유효 단면적을 늘리기 위하여 경사각을 주면서 상기 금속 도금막을 절삭하는 단계, 그리고상기 슬러리를 제거하는 단계를 포함하는 마이크로 니들의 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 슬러리는 상기 금속 도금막의 내부의 상기 경화된 감광액 구조와 동시에 제거하는 마이크로 니들의 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 경사각은 20 내지 80도인 마이크로 니들의 제조 방법
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제5항에 있어서, 상기 관통홀에 생체 물질이 경화되지 않도록 화학 처리하는 단계를 더 포함하는 마이크로 니들의 제조 방법
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