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(a)기판 상에 시료접촉 금속막, 유전체층, 자기저항센서 및 전극을 순차적으로 적층하는 단계; 및(b)상기 시료접촉 금속막이 노출되도록 상기 기판을 하부에서부터 식각하는 단계를 포함하는 자기저항 측정 바이오센서의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 (a)단계는 전극을 적층한 후에 자기저항센서 및 전극을 보호하기 위한 보호층을 형성하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기저항 측정 바이오센서의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 (a)단계는 기판과 시료접촉 금속막 사이 및 시료접촉 금속막과 유전체층 사이 중의 한 곳 이상에 접착력 향상용 금속막을 형성하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기저항 측정 바이오센서의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 (b)단계에서 기판의 식각은, 식각되지 않은 부분이 시료적용 용기의 역할을 할 수 있도록 기판 하부에서 시작하여 시료접촉 금속막이 노출될 때까지 수행되는 것임을 특징으로 하는 자기저항 측정 바이오센서의 제조방법
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청구항 4에 있어서, 상기 (b)단계에서 기판의 식각은 식각 전에 식각액에 녹지 않는 레지스트층을 기판의 하부면에 적층하고, 식각할 곳에 적층된 레지스트를 선택적으로 제거한 후에, 습식 식각을 진행하여 이루어지는 것임을 특징으로 하는 자기저항 측정 바이오센서의 제조방법
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기판 상에 시료접촉 금속막, 유전체층, 자기저항센서 및 전극이 순차적으로 적층되고, 상기 기판은, 식각되지 않은 부분이 시료적용 용기의 역할을 할 수 있도록 기판 하부에서 시작하여 시료접촉 금속막이 노출될 때까지 식각된 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 자기저항 측정 바이오센서
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청구항 6에 있어서, 상기 자기저항 측정 바이오센서는 상기 자기저항센서 및 전극을 보호하기 위하여 적층된 보호층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기저항 측정 바이오센서
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청구항 6에 있어서, 상기 자기저항 측정 바이오센서는 상기 기판과 시료접촉 금속막 사이 및 시료접촉 금속막과 유전체층 사이 중의 한 곳 이상에 적층된 접착력 향상용 금속막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기저항 측정 바이오센서
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