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절연 기판;상기 절연 기판 상에 형성된 금속 전극; 및상기 금속 전극 상에, 각각 다른 특정 가스에 고반응성을 갖는 이종의 나노섬유가 서로 직교하게 정렬된 감지층을 포함하고,이종의 가스를 동시에 감지하는 환경가스 센서
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제 1항에 있어서,상기 절연 기판은 산화물 단결정 기판, 세라믹 기판, 실리콘 반도체 기판, 유리기판, 기판의 뒷면 또는 상부에 마이크로히터가 포함된 절연 기판, 마이크로히터로 내장된 마이크로머신 구조체 기판으로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 환경가스 센서
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제 1항에 있어서,상기 절연 기판은 0
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제 1항에 있어서
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제 1항에 있어서,상기 금속 전극의 두께는 10㎚ 내지 1000㎚인 것을 특징으로 하는 환경가스 센서
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제 1항에 있어서,상기 이종의 나노섬유는 유기 또는 무기 반도체 나노섬유로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 환경가스 센서
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제 6항에 있어서,상기 이종의 나노섬유 중 일종은 n-형 산화물 반도체 화합물이고, 다른 종은 p-형 산화물 반도체 화합물인 것을 특징으로 하는 환경가스 센서
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제 7항에 있어서, n-형 산화물 반도체 화합물은 ABO3형 페로브스카이트 산화물(BaTiO3, 금속 도핑된 BaTiO3, SrTiO3, BaSnO3), MgO, CaO, TiO2, ZrO2, V2O5, Nb2O5, Ta2O5, MoO3, WO3, ZnO, Al2O3, Ga2O3, In2O3, 및 SnO2로 이루어진 군에서 하나 이상 선택되고, p-형 산화물 반도체 화합물은 Y2O3, La2O3, CeO2, Mn2O3, Co2O4, NiO, PdO, Ag2O, Bi2O3,Sb2O3, Cu, 및 TeO2로 이루어진 군에서 하나 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 환경가스 센서
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제 1항에 있어서, 상기 금속 전극은 상기 이종의 나노섬유 중 일종이 정렬되는 한 쌍의 제1 금속 전극과, 다른 종이 정렬되는 한 쌍의 제2 금속 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 환경가스 센서
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제 1항에 있어서,상기 나노섬유는 그의 직경이 1㎚ 내지 1000㎚인 것을 특징으로 하는 환경가스 센서
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환경가스 센서의 제조방법에 있어서,절연 기판 상에 금속 전극을 형성하는 단계;상기 금속 전극 상에 전기방사를 통해 각각 다른 특정 가스에 고반응성을 갖는 이종의 나노섬유를 서로 직교하도록 정렬하는 단계; 및상기 정렬된 이종의 나노섬유를 열처리하여 감지층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 환경가스 센서는 이종의 가스를 동시에 감지하는환경가스 센서의 제조방법
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제 11항에 있어서,상기 이종의 나노섬유를 서로 직교하도록 정렬하는 단계는 한 쌍의 제1 금속 전극 상에 일종의 산화물 반도체/폴리머 복합용액을 전기방사하여 일종의 나노섬유를 정렬하는 단계; 및 한 쌍의 제2 금속 전극 상에 다른 종의 산화물 반도체/폴리머 복합용액을 전기방사하여 다른 종의 나노섬유를 상기 일종의 나노섬유와 서로 직교하게 정렬하는 단계를 포함하는 환경가스 센서의 제조방법
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제 12항에 있어서,상기 일종의 산화물 반도체는 n-형 반도체 산화물이고, 상기 다른 종의 산화물 반도체는 p-형 반도체 산화물인 환경가스 센서의 제조방법
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제 12항에 있어서, 상기 일종의 산화물 반도체는 p-형 반도체 산화물이고, 상기 다른 종의 산화물 반도체는 n-형 반도체 산화물인 환경가스 센서의 제조방법
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제 12항에 있어서, 상기 산화물 반도체/폴리머 복합용액은 금속산화물 또는 금속산화물 전구체, 폴리머 및 용매를 혼합한 후, 상온 이상의 온도에서 교반하여 제조되는 것을 특징으로 하는 환경가스 센서의 제조방법
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