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기판 상에 배치되고, 스템 코어(stem core), 제1 가지 코어 및 제2 가지 코어를 포함하는 1×2 분배기;상기 스템 코어에 연결되고, 복수 파장의 광원을 생성하고 이득을 제공하는 활성층;상기 제1 가지 코어에 커플된 제1 회절 격자;상기 제2 가지 코어에 커플된 제2 회절 격자;상기 활성층에 열을 공급하는 활성층-마이크로 히터; 상기 제1 회절 격자 및 제2 회절 격자에 각각 열을 공급하는 제1 마이크로 히터 및 제2 마이크로 히터;상기 활성층 및 상기 기판 사이에 개재된 제1 하부 클래딩층;상기 활성층 상에 제1 상부 클래딩층;상기 제1 상부 클래딩층에 전기적으로 접속된 이득 전극;상기 1×2 분배기 및 상기 기판 사이에 개재된 제2 하부 클래딩층; 및상기 1×2 분배기 상에 배치된 제2 상부 클래딩층을 포함하는 레이저 소자
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청구항 1항에 있어서,상기 활성층-마이크로 히터로부터 공급된 열에 의하여 상기 활성층의 파장별 이득이 변화되는 레이저 소자
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청구항 2항에 있어서,상기 제1 마이크로 히터로부터 공급되는 열에 의하여 상기 제1 회절 격자의 굴절률이 변화되고,상기 제2 마이크로 히터로부터 공급되는 열에 의하여 상기 제2 회절 격자의 굴절률이 변화되는 레이저 소자
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청구항 3항에 있어서,상기 제1 마이크로 히터 및 상기 제2 마이크로 히터 중에서 적어도 하나가 동작하여 열을 공급하는 동안에, 상기 활성층-마이크로 히터도 동작하여 상기 활성층에 열을 공급하는 레이저 소자
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삭제
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청구항 1항에 있어서,상기 1×2 분배기는 반도체 물질로 형성되고,상기 제1 하부 클래딩층 및 상기 제2 하부 클래딩층은 서로 동일한 물질로 형성되고,상기 제1 상부 클래딩층 및 상기 제2 상부 클래딩층은 서로 동일한 물질로 형성되는 레이저 소자
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청구항 1항에 있어서,상기 1×2 분배기는 반도체 물질 보다 열광학 계수가 큰 폴리머로 형성되고,상기 하부 및 제2 상부 클래딩층들은 상기 1×2 분배기의 굴절률 보다 작은 폴리머로 형성된 레이저 소자
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청구항 7항에 있어서,상기 제1 및 제2 회절 격자들은 폴리머로 형성된 레이저 소자
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청구항 1항에 있어서,상기 활성층-마이크로 히터는 상기 이득 전극 상부에 배치되고,상기 제1 마이크로 히터는 상기 제1 가지 코어 상의 상기 제2 상부 클래딩층 상에 배치되고,상기 제2 마이크로 히터는 상기 제2 가지 코어 상의 상기 제2 상부 클래딩층 상에 배치되는 레이저 소자
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청구항 9항에 있어서,상기 활성층-마이크로 히터 및 상기 이득 전극 사이, 상기 제1 마이크로 히터 및 상기 제2 상부 클래딩층 사이, 및 상기 제2 마이크로 히터 및 상기 제2 상부 클래딩층 사이에 개재된 절연막을 더 포함하는 레이저 소자
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청구항 1항에 있어서,상기 기판 상에 배치되고, 서로 옆으로 이격된 제1 단열체, 제2 단열체 및 제3 단열체를 더 포함하되,상기 제1 가지 코어는 상기 제1 단열체 및 제2 단열체 사이에 배치되고, 상기 제2 가지 코어는 상기 제2 단열체 및 제3 단열체 사이에 배치된 레이저 소자
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청구항 11항에 있어서,상기 제1, 제2 및 제3 단열체들은 공기 및 질화물 중에서 적어도 하나를 포함하는 레이저 소자
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청구항 1항에 있어서,상기 제1 회절 격자의 주기는 상기 제2 회절 격자의 주기와 동일한 레이저 소자
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청구항 1항에 있어서,상기 제1 회절 격자의 주기 및 상기 제2 회절 격자의 주기는 서로 다른 레이저 소자
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청구항 1항에 있어서,상기 활성층은 다중양자우물 구조로 형성된 레이저 소자
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청구항 1항에 있어서,상기 1×2 분배기는 상기 활성층에 인접한 테이퍼 코어(taper core)를 더 포함하되,상기 테이퍼 코어의 일단은 상기 활성층의 일 단에 접촉되고, 상기 테이퍼 코어의 타단은 상기 스템 코어에 접촉되고,상기 테이퍼 코어의 폭은 상기 스템 코어로부터 상기 활성층으로 갈수록 점진적으로 감소되는 레이저 소자
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