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기판 상에 감지 전극을 형성하는 것;상기 감지 전극에 접촉하며, 금속 산화물 나노입자를 포함하는 감지막을 형성하는 것;상기 기판 상에 상기 감지막의 온도를 조절하는 미소 가열기를 형성하는 것; 상기 감지 전극과 상기 미소 가열기 사이에 도전성 지지대를 형성하는 것; 그리고상기 미소 가열기를 이용하여 상기 감지막을 열처리하는 것을 포함하고,상기 감지막은 용액 공정(solution process)을 수행하여 형성되고,상기 용액 공정을 수행하는 것은:금속 산화물 전구체 용액을 준비하는 것;염기성 화학종을 포함하는 알코올계 용액을 준비하는 것; 그리고상기 금속 산화물 전구체 용액 및 상기 알코올계 용액을 초음파를 사용하여 반응시켜 금속 산화물 나노입자를 포함하는 감지물질 용액을 형성하는 것을 포함하는 가스감지 센서의 형성방법
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청구항 1에 있어서,상기 용액 공정은 스핀 코팅 공정, 잉크젯팅 공정 또는 스프레이 공정을 포함하는 가스감지 센서의 형성방법
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청구항 1에 있어서,상기 금속 산화물 전구체 용액은 산화아연 아세테이트(Zinc acetate:[Zn(C2H3O2)2])를 포함하는 가스감지 센서의 형성방법
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청구항 1에 있어서,상기 알코올계 용액은 수산화칼륨(KOH) 및 메탄올(CH3OH)을 반응시켜 준비하는 가스감지 센서의 형성방법
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청구항 1에 있어서,상기 금속 산화물 나노입자는 산화아연 나노입자를 포함하는 가스감지 센서의 형성방법
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청구항 1에 있어서,상기 용액 공정을 수행하는 것은,상기 감지물질 용액에 금속 보조입자 또는 금속 산화물 보조입자를 첨가하는 것을 더 포함하는 가스감지 센서의 형성방법
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청구항 7에 있어서,상기 금속 보조입자는 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 이리듐(Ir), 니켈(Ni), 코발트(Co) 또는 철(Fe)을 포함하며, 상기 금속 산화물 보조입자는 산화알루미늄(Al2O3)을 포함하는 가스감지 센서의 형성방법
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청구항 1에 있어서,상기 금속 산화물 나노입자는 나노 막대(nanorod)의 형태를 가지는 가스감지 센서의 형성방법
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청구항 10에 있어서,상기 금속 산화물 나노입자는 10~100nm의 길이 및 5~15nm의 폭을 가지는 가스감지 센서의 형성방법
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청구항 1의 방법으로 형성된 가스감지 센서
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청구항 1에 있어서,상기 미소 가열기와 상기 기판 사이에 상기 도전성 지지대를 형성하는 것을 더 포함하는 가스감지 센서의 형성방법
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