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적층된 복수의 기판들을 도체로 연결하기 위해 상기 기판의 상부 및 하부 중 적어도 하나에 형성된 비아홀 구조의 내부를 은의 환원 및 침전 반응을 이용하여 상기 은으로 채우는 단계;상기 비아홀 구조의 내부 공간 중 채워진 상기 은이 부족한 부분에 상기 은을 플로잉하여 채우는 단계; 및상기 은이 채워진 상기 비아홀 구조의 내부의 상층에 상기 플로잉 시 생성된 산화은 계열의 잔류물을 승화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 도전성 비아홀 형성 방법
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청구항 1에 있어서,상기 은으로 채우는 단계는,질산은(AgNO3) 계열의 화합물의 환원 및 침전 반응을 이용하는 단계인 것을 특징으로 하는 도전성 비아홀 형성 방법
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청구항 2에 있어서,상기 은으로 채우는 단계는,상기 질산은 계열의 화합물의 알칼리계열 수용액에 알데히드기(-CHO)를 포함하는 물질을 추가하여 상기 은을 환원 및 침전시키는 단계인 것을 특징으로 하는 도전성 비아홀 형성 방법
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청구항 1에 있어서,상기 은을 플로잉하여 채우는 단계는,제1 온도 범위 상태, 제1 기압 미만 상태, 및 공기 중 소정량의 산소가 포함된 상태에서 수행되는 단계인 것을 특징으로 하는 도전성 비아홀 형성 방법
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청구항 4에 있어서,상기 제1 온도 범위는,섭씨 300도와 450도 사이의 범위인 것을 특징으로 하는 도전성 비아홀 형성 방법
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청구항 4에 있어서,상기 제1 기압 미만 상태는,0
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청구항 1에 있어서,상기 플로잉 시 생성된 잔류물인 산화은을 승화시키는 단계는,제2 온도 범위 상태, 제1 기압 미만 상태, 및 공기 중 소정량의 수소가 포함된 상태에서 수행되는 단계인 것을 특징으로 하는 도전성 비아홀 형성 방법
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청구항 7에 있어서,상기 제2 온도 범위 상태는,섭씨 190도와 300도 사이의 범위인 것을 특징으로 하는 도전성 비아홀 형성 방법
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청구항 1에 있어서,상기 비아홀 구조의 내부에 절연막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도전성 비아홀 형성 방법
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청구항 9에 있어서,상기 절연막을 형성하는 단계는,오존 TEOS(Tetraethly orthosilicate) 및 고온 LPCVD HTO(Low Pressure Chemical Vapor Deposition High Temperature Oxide) 방법 중 하나 이상을 이용하는 단계인 것을 특징으로 하는 도전성 비아홀 형성 방법
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청구항 9에 있어서,상기 절연막은,실리콘 산화막(SiO2) 및 실리콘 질산화막(SiON) 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 도전성 비아홀 형성 방법
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청구항 9에 있어서,형성된 상기 절연막 표면에 전도체 금속의 확산 및 계면반응에 대한 방지막을 증착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도전성 비아홀 형성 방법
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청구항 12에 있어서,상기 방지막은,TiN, WN, TiW, 및 Ti/Pd 중 하나 이상의 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 도전성 비아홀 형성 방법
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청구항 12에 있어서,상기 방지막을 증착하는 단계는,금속 ALD(Atomic Layer Deposition) 방법을 이용한 단계인 것을 특징으로 하는 도전성 비아홀 형성 방법
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청구항 1에 있어서,상기 기판의 상부 및 하부 중 상기 은이 채워진 상기 비아홀 구조의 반대측을 연마하여 상기 비아홀 구조가 상기 반대측에서 노출되게 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도전성 비아홀 형성 방법
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비아홀 구조 내벽에 형성된 절연막;전도체 금속의 확산 및 계면반응을 방지하기 위해 상기 절연막 표면에 형성된 방지막; 및상기 방지막 표면으로부터 상기 비아홀 구조의 내부에 은의 환원 및 침전 반응을 통해 채워진 순도 95% 이상 100% 이하의 은을 포함하는 것을 특징으로 하는 도전성 비아홀
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청구항 16에 있어서,상기 은은,질산은 계열의 화합물의 알칼리성 수용액에 알데히드기를 포함하는 물질을 추가하여 환원 및 침전된 은인 것을 특징으로 하는 도전성 비아홀
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청구항 16에 있어서,상기 절연막은,실리콘 산화막(SiO2) 및 실리콘 질산화막(SiON) 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 도전성 비아홀
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청구항 16에 있어서,상기 방지막은,TiN, WN, TiW, 및 Ti/Pd 중 하나 이상의 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 도전성 비아홀
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