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테라헤르츠파 생성을 위한 활성 영역을 구비한 광전도 안테나;상기 광전도 안테나로부터 발생된 테라헤르츠파를 집속시키는 실리콘 볼 렌즈;상기 광전도 안테나에 레이저 펄스를 집속시키는 집속 렌즈; 및상기 집속 렌즈가 내장되며, 상기 집속 렌즈를 상기 광전도 안테나의 활성 영역 중심부에 정렬시키도록 위치가 조절되는 집속 렌즈 정렬기를 포함하고,상기 집속 렌즈 정렬기는,상기 집속 렌즈를 제1방향으로 이동시키기 위한 제1도브테일 및 상기 집속 렌즈를 상기 제1방향과 교차되는 제2방향으로 이동시키기 위한 제2도브테일을 구비하는 외부 후렌지를 포함하는 테라헤르츠파 송수신 소자용 패키지 모듈
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제1항에 있어서,상기 광전도 안테나의 상부 개구 영역을 밀폐하기 위한 상부 덮개; 및상기 광전도 안테나의 하부 개구 영역을 밀폐하기 위한 하부 덮개를 더 포함하는 테라헤르츠파 송수신 소자용 패키지 모듈
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제1항에 있어서,상기 외부 후렌지는 상기 광전도 안테나의 상부에 차례로 적층된 제1외부후렌지, 제2외부후렌지 및 제3외부후렌지를 포함하고,상기 제1외부후렌지와 상기 제2외부후렌지의 접합 면에 상기 제1방향으로 절삭된 제1도브테일이 구비되고, 상기 제2외부후렌지와 상기 제3외부후렌지의 접합 면에 상기 제2방향으로 절삭된 제2도브테일이 구비되는 테라헤르츠파 송수신 소자용 패키지 모듈
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제1항에 있어서,상기 집속 렌즈 정렬기는,제3외부후렌지의 상부에 위치하는 경통형 외부 후렌지; 및상기 집속 렌즈가 내장되며, 상기 경통형 외부 후렌지 내에 삽입되어 상기 집속 렌즈를 상,하 방향으로 이동시키는 경통형 내부 후렌지를 포함하는 테라헤르츠파 송수신 소자용 패키지 모듈
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제5항에 있어서,상기 경통형의 외부 후렌지와 상기 경통형의 내부 후렌지의 접촉면에 상,하 방향으로 평행하게 확장되는 복수의 라인 홈이 구비되고, 상기 라인 홈에 삽입된 볼에 의해 상기 경통형의 내부 후렌지가 상,하로 이동되는테라헤르츠파 송수신 소자용 패키지 모듈
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제5항에 있어서,상기 집속 렌즈 정렬기는,상기 경통형의 외부후렌지의 상부에 고정되어 제자리에서 회전되며, 상기 내부 후렌지와의 접촉 면에 구비된 나사 홈에 의해 회전시 상기 내부 후렌지를 상,하로 이동시키는 조절부를 더 포함하는 테라헤르츠파 송수신 소자용 패키지 모듈
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제1항에 있어서,상기 광전도 안테나에 질소가스, 비활성 가스 또는 이들의 혼합 가스를 방사하는 방사 통로; 및상기 질소가스, 비활성 가스 또는 이들의 혼합 가스의 방사를 조절하기 위한 밸브를 더 포함하는 테라헤르츠파 송수신 소자용 패키지 모듈
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제8항에 있어서,상기 모듈 내에 질소 가스, 비활성 가스 또는 이들의 혼합 가스를 충진하기 위한 충진 통로; 및 상기 질소 가스, 비활성 가스 또는 이들의 혼합 가스의 충진을 조절하기 위한 밸브를 더 포함하는 테라헤르츠파 송수신 소자용 패키지 모듈
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제1항에 있어서,상기 테라헤르츠파 송수신 소자용 패키지 모듈은, 구동시 상기 광전도 안테나에 질소 가스, 비활성 가스 또는 이들의 혼합 가스가 분사되는 테라헤르츠파 송수신 소자용 패키지 모듈
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제1항에 있어서,상기 테라헤르츠파 송수신 소자용 패키지 모듈은, 보관 또는 이동시 상기 모듈 내에 질소 가스, 비활성 가스 또는 이들의 혼합 가스가 충진되는테라헤르츠파 송수신 소자용 패키지 모듈
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