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박막 증착 장치

  • 기술번호 : KST2015086200
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 박막 증착 장치를 개시한다. 그의 장치는, 피처리물의 처리 공정이 진행되는 챔버와, 상기 챔버 내에서 상기 피처리물을 지지하는 복수개의 지지체들과, 상기 복수개의 지지체들 사이의 상기 피처리물 하부 또는 상부에서 제 1 플라즈마를 유도하는 적어도 하나의 스퍼터 건과, 상기 스퍼터 건 및 상기 피처리물 사이에서 형성되고, 상기 제 1 플라즈마보다 확장된 제 2 플라즈마를 유도하는 복수개의 유도 결합 플라즈마 튜브들을 포함할 수 있다.
Int. CL C23C 14/54 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/22 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020100105302 (2010.10.27)
출원인 한국전자통신연구원, 김영신
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0043978 (2012.05.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.10.27)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 김영신 대한민국 대전광역시 서구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정우석 대한민국 대전광역시 유성구
2 김영신 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오세준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)(특허법인 고려)
2 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
3 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2010-0697321-36
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.11.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.12.17 수리 (Accepted) 9-1-2013-0104012-59
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.01.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0005084-19
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2014-0206144-17
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.03.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0206146-19
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.06.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0419023-88
8 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2014.07.23 보정각하 (Rejection of amendment) 1-1-2014-0691999-79
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.07.23 수리 (Accepted) 1-1-2014-0691998-23
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.08.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0535769-17
11 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment
2014.08.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0535768-61
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
피처리물의 처리 공정이 진행되는 챔버;상기 챔버 내에서 상기 피처리물을 지지하는 복수개의 지지체들;상기 복수개의 지지체들 사이의 상기 피처리물 하부 또는 상부에서 제 1 플라즈마를 유도하는 적어도 하나의 스퍼터 건; 및상기 스퍼터 건과 상기 피처리물 사이에서 상기 제 1 플라즈마보다 확장된 제 2 플라즈마를 유도하는 복수개의 유도 결합 플라즈마 튜브들을 포함하는 박막 증착 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 복수개의 유도 결합 플라즈마 튜브들은 로드 전극을 포함하는 박막 증착 장치
3 3
제 2 항에 있어서,상기 지지체들은 상기 피처리물을 이송시키는 롤러를 포함하는 박막 증착 장치
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 롤러는 상기 로드 전극과 평행한 방향으로 배치된 박막 증착 장치
5 5
제 4 항에 있어서,상기 로드 전극은 상기 제 1 플라즈마를 가드링 하는 박막 증착 장치
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 복수개의 유도 결합 플라즈마 튜브들과 피처리물 사이에 형성된 복수개의 셔터들을 더 포함하는 박막 증착 장치
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 복수개의 셔터들은 상기 피처리물을 상기 제 1 플라즈마에 노출시키는 박막 증착 장치
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 복수개의 셔터들은 상기 복수개의 유도 결합 플라즈마 튜브들사이에서 굴곡되는 말단을 갖는 박막 증착 장치
9 9
제 8 항에 있어서,상기 말단은 상기 스퍼터 건이 하나일 때, 예각으로 굴곡되는 박막 증착 장치
10 10
제 1 항에 있어서, 상기 스퍼터 건 상에서 상기 제 1 플라즈마에 의해 증착 입자를 생성하는 타깃을 더 포함하는 박막 증착 장치
11 11
제 1 항에 있어서, 상기 스퍼터 건은 5센티미터 내지 20센티미터의 폭을 갖고, 30센티미터 내지 300센티미터의 길이를 갖는 박막 증착 장치
12 12
제 11 항에 있어서, 상기 스퍼터 건은 복수개일 때, 5센티미터 내지 20센티미터의 중심 간격으로 배치된 박막 증착 장치
13 13
제 12 항에 있어서, 상기 복수개의 스퍼터 건들은 10도 내지 45도의 경사각으로 마주보며 기울어진 박막 증착 장치
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US20120103802 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2012103802 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.