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광 스위치 소자 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015086238
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광 경로의 구조가 간단하고 고속 스위칭이 가능한 광 스위치 소자 및 그의 제조방법을 개시한다. 그의 소자는, 제 1 방향으로 배치된 적어도 하나의 제 1 광 도파로와, 상기 제 1 광 도파로에서 상기 제 1 방향과 교차되는 제 2 방향으로 연결되는 적어도 하나의 제 2 광 도파로와, 상기 제 2 광 도파로가 연결되는 상기 제 1 광 도파로 내에서 상기 제 1 방향으로 투과되는 빛을 단속하여 상기 제 2 방향의 상기 제 2 광 도파로에 선택적으로 반사하는 적어도 하나의 스위칭부를 포함한다.
Int. CL G02B 6/125 (2006.01) G02B 6/35 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020100070579 (2010.07.21)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-1433856-0000 (2014.08.19)
공개번호/일자 10-2012-0009824 (2012.02.02) 문서열기
공고번호/일자 (20140827) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.07.21)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한영탁 대한민국 대전광역시 서구
2 신장욱 대한민국 대전광역시 유성구
3 박상호 대한민국 대전광역시 유성구
4 한상필 대한민국 대전광역시 서구
5 백용순 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오세준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)(특허법인 고려)
2 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
3 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.07.21 수리 (Accepted) 1-1-2010-0471364-55
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.07.29 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.08.23 수리 (Accepted) 9-1-2013-0069927-43
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.09.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0612207-75
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.10.14 수리 (Accepted) 1-1-2013-0924979-20
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.10.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0924980-77
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2014.02.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0110524-37
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.03.17 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0253730-54
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2014-0253727-16
10 등록결정서
Decision to grant		 2014.08.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0549900-75
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제 1 방향으로 배치된 적어도 하나의 제 1 광 도파로;상기 제 1 광 도파로에서 상기 제 1 방향과 교차되는 제 2 방향으로 연결되는 적어도 하나의 제 2 광 도파로;상기 제 2 광 도파로가 연결되는 상기 제 1 광 도파로 내에서 상기 제 1 방향으로 투과되는 빛을 단속하여 상기 제 2 방향의 상기 제 2 광 도파로에 선택적으로 반사하는 적어도 하나의 스위칭부; 및상기 제 1 및 제 2 광 도파로들 상하부에 배치된 상부 클래드 및 하부 클래드를 포함하되,상기 스위칭부는 빛을 투과 또는 반사하고, 온도에 따라 굴절률이 변화되는 열광학 폴리머로 이루어진 선택 반사부를 포함하고, 상기 선택 반사부는 상기 제 1 광 도파로 내에 배치된 코어 열광학 폴리머와, 상기 상부 및 하부 클래드들 내에 배치된 상부 및 하부 열광학 폴리머들을 포함하는 광 스위치 소자
2 2
제 1 항에 있어서,상기 스위칭부는 상기 선택 반사부에서 빛의 투과 및 반사를 제어하는 제어부를 더 포함하는 광 스위치 소자
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제 2 항에 있어서,상기 제어부는 상기 열광학 폴리머를 가열하는 히터 전극을 포함하는 광 스위치 소자
6 6
제 5 항에 있어서,상기 히터 전극은 상기 상부 열광학 폴리머보다 작은 선폭을 갖고, 상기 상부 클래드 및 상기 상부 열광학 폴리머 상에 배치되는 광 스위치 소자
7 7
제 2 항에 있어서,상기 선택 반사부는 전기장의 변화에 따라 굴절률이 변화되는 전기광학 폴리머를 포함하는 광 스위치 소자
8 8
제 7 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 광 도파로들 상하부에 배치된 상부 및 하부 클래드들을 더 포함하되, 상기 선택 반사부는 상기 제 1 광 도파로 내에 배치된 코어 전기광학 폴리머와, 상기 상부 및 하부 클래드들 내에 배치된 상부 및 하부 전기광학 폴리머들을 포함하는 광 스위치 소자
9 9
제 8 항에 있어서,상기 제어부는 상기 전기광학 폴리머에 상기 전기장을 인가하는 상부 및 하부 전극들을 포함하는 광 스위치 소자
10 10
제 9 항에 있어서,상기 상부 전극은 상기 상부 전기광학 폴리머보다 작은 선폭을 갖고 상기 상부 클래드 및 상기 상부 전기광학 폴리머 상에 배치되고, 상기 하부 전극은 상기 하부 클래드 및 상기 하부 전기광학 폴리머 아래의 전면에 배치된 광 스위치 소자
11 11
제 1 항에 있어서,상기 스위칭부는, 상기 제 1 방향과 상기 제 2 방향 사이의 제 3 방향으로 배치되는 광 스위치 소자
12 12
제 11 항에 있어서,하나의 상기 제 1 광 도파로에 상기 제 2 방향으로 N개의 상기 제 2 광 도파로가 연결되고, 상기 스위칭부는 1XN개수를 갖는 광 스위치 소자
13 13
제 12 항에 있어서,상기 제 1 광 도파로는 입력단과 제 1 출력단으로 연결되고, 상기 제 2 광 도파로는 제 2 내지 제 N+1 출력단으로 연결되는 광 스위치 소자
14 14
제 11 항에 있어서,상기 제 1 방향으로 평행한 M개의 상기 제 1 광 도파로들과, 상기 제 2 방향으로 평행한 N개의 상기 제 2 광 도파로들이 매트릭스 형태로 배열되고, 상기 스위칭부는 MXN개수를 갖는 광 스위치 소자
15 15
제 14 항에 있어서,상기 제 1 광 도파로들은 M개의 입력단으로 각각 연결되고, 상기 제 2 광 도파로들은 각각 N개의 출력단으로 연결되는 광 스위치 소자
16 16
제 1 항에 있어서,상기 제 1 방향으로 배치된 복수개의 상기 제 1 광 도파로들이 상기 제 2 광 도파로에 의해 서로 연결되고, 상기 복수개의 제 1 광 도파로들 내에서 한쌍의 상기 스위칭부들은 서로 평행하게 배치되는 광 스위치 소자
17 17
기판 상에서 하부 클래드를 형성하는 단계;상기 하부 클래드 상에 제 1 광 도파로와 제 2 광 도파로를 형성하는 단계;상기 제 1 광 도파로 및 상기 제 2 광 도파로 상에 상부 클래드를 형성하는 단계;상기 상부 클래드와 상기 제 1 광 도파로를 관통하여 상기 하부 클래드를 노출시키는 바닥을 갖는 트랜치를 형성하는 단계;상기 트랜치 내에 선택 반사부를 형성하는 단계; 및상기 선택 반사부 상에 전극을 형성하는 단계를 포함하되,상기 선택 반사부는 빛을 투과 또는 반사하고, 온도에 따라 굴절률이 변화되는 열광학 폴리머를 포함하고, 상기 선택 반사부는 상기 제 1 광 도파로 내에 배치된 코어 열광학 폴리머와, 상기 상부 및 하부 클래드들 내에 배치된 상부 및 하부 열광학 폴리머들을 포함하는 광 스위치 소자의 제조방법
18 18
제 17 항에 있어서,상기 선택 반사부의 형성단계는,상기 트랜치의 바닥에서 상기 하부 클래드의 상부 표면과 동일한 레벨을 갖는 하부 반사부를 형성하는 단계;상기 하부 반사부 상에서 상기 제 1 광 도파로 및 상기 제 2 광 도파로와 동일한 레벨을 갖는 코어 반사부를 형성하는 단계; 및상기 코어 반사부 상에서 상기 상부 클래드와 동일한 레벨을 갖는 상부 반사부를 형성하는 단계를 포함하는 광 스위치 소자의 제조방법
19 19
제 17 항에 있어서,상기 기판과 상기 하부 클래드 사이에 하부 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 광 스위치 소자의 제조방법
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1 JP24027437 JP 일본 FAMILY
2 US08615147 US 미국 FAMILY
3 US20120020614 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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1 JP2012027437 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 US2012020614 US 미국 DOCDBFAMILY
3 US8615147 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.