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기판 상의 반사 방지막;상기 반사 방지막 상의 제 1 전극;상기 제 1 전극 상의 광전 변환층; 및상기 광전 변환층 상의 제 2 전극을 포함하되,상기 반사 방지막은 상기 기판 상의 나노 패턴들 및 상기 나노 패턴들 상의 상기 제 1 전극보다 굴절률이 작은 나노 구조체를 포함하는 태양전지
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청구항 1에 있어서,상기 나노 패턴들은 투명 전도성 산화물을 포함하는 태양전지
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청구항 1에 있어서,상기 나노 패턴들은 불소가 도핑된 주석 산화막(Fluorine-doped Tin Oxide)을 포함하는 태양전지
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청구항 1에 있어서,상기 나노 패턴들은 요철부를 가지는 나노 필러의 형상을 가지는 태양전지
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청구항 1에 있어서,상기 나노 구조체는 아연 산화물을 포함하는 태양전지
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청구항 1에 있어서,상기 나노 구조체는 나노 파티클층을 포함하는 태양전지
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청구항 6에 있어서,상기 나노 파티클층은 나노포어(nanopore)를 포함하는 태양전지
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청구항 1에 있어서,상기 나노 구조체는 나노 로드층을 포함하는 태양전지
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청구항 1에 있어서,상기 나노 패턴들과 상기 제 1 전극은 동일한 물질을 포함하는 태양전지
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청구항 9에 있어서,상기 나노 패턴들과 상기 제 1 전극은 투명 전도성 산화물을 포함하는 태양전지
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청구항 1에 있어서,상기 광전 변환층은:상기 제 1 전극 상의 반도체 전극층; 및상기 반도체 전극층 상의 전해질층을 포함하는 태양전지
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12
기판 상에 투명 전도성 산화막을 형성하는 단계;상기 투명 전도성 산화막을 패터닝하여 나노 패턴들을 형성하는 단계;상기 나노 패턴들 상에 나노파티클층을 형성하는 단계; 그리고상기 나노 파티클층 상에 제 1 전극을 형성하는 단계를 포함하는 태양전지의 형성방법
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청구항 12에 있어서,상기 나노 패턴들을 형성하는 단계는:상기 투명 전도성 산화막 상에 폴리스티렌(polystyrene) 나노 파티클 또는 실리콘 산화물 나노 파티클을 이용하여 원자층을 형성하는 단계; 그리고상기 폴리스티린 나노 파티클 또는 실리콘 산화물 나노 파티클을 마스크로 이용하여, 상기 투명 전도성 산화막을 패터닝하는 단계를 포함하는 태양전지의 형성방법
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청구항 12에 있어서,상기 나노 파티클층을 형성하는 단계는:아연 산화물 전구체를 유기 용매에 용해시켜 용액을 형성하는 단계;상기 용액을 상기 기판 상에 도포하는 단계; 그리고상기 기판을 가열하여 상기 유기 용매를 제거하는 단계를 포함하는 태양전지의 형성방법
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청구항 12에 있어서,상기 제 1 전극은 투명 전도성 산화물로 형성되는 태양전지의 형성방법
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청구항 12에 있어서,상기 제 1 전극 상에 반도체 전극층을 형성하는 단계; 및상기 반도체 전극층 상에 전해질층을 형성하는 단계를 더 포함하는 태양전지의 형성방법
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기판 상에 투명 전도성 산화막을 형성하는 단계;상기 투명 전도성 산화막을 패터닝하여 나노 패턴들을 형성하는 단계;상기 나노 패턴들 상에 나노로드층을 형성하는 단계; 그리고상기 나노로드층 상에 제 1 전극을 형성하는 단계를 포함하는 태양전지의 형성방법
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청구항 17에 있어서,상기 나노로드층을 형성하는 단계는:상기 나노 패턴들 상에 나노 파티클층을 형성하는 단계; 그리고상기 나노 파티클층을 시드층으로 사용하여, 상기 나노 파티클층을 성장시키는 단계를 포함하는 태양전지의 형성방법
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청구항 17에 있어서,상기 제 1 전극 상에 반도체 전극층을 형성하는 단계; 그리고상기 반도체 전극층 상에 전해질층을 형성하는 단계를 더 포함하는 태양전지의 형성방법
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