| 1 |
1
기판, 상기 기판 위에 위치하는 제1 유전체층, 제1 유전체층 위에 상기 기판의 길이 방향을 따라 형성되어 있는 그래핀을 포함하며, 상기 그래핀을 통해서 입사되는 광을 전송하는 그래핀층, 그리고 상기 제1 유전체층와 상기 그래핀층 위에 위치하는 제2 유전체층를 포함하는 광 도파로
|
| 2 |
2
제1항에서, 상기 제1 유전체층 및 상기 제2 유전체층는 동일한 굴절율을 가지는 광 도파로
|
| 3 |
3
제1항에서, 상기 제1 유전체층과 상기 기판 사이에 위치하는 제3 유전체층, 상기 제2 유전체층 위에 위치하는 제4 유전체층, 그리고 상기 제3 유전체층과 상기 제1 유전체층 사이와 상기 제2 유전체층과 상기 제4 유전체층 사이에 각각 상기 기판의 길이 방향으로 형성되어 있는 제1 및 제2 전극층을 더 포함하는 광 도파로
|
| 4 |
4
제3항에서, 상기 제1 및 제2 전극층에는 설정된 전압이 인가되는 광 도파로
|
| 5 |
5
제4항에서, 상기 설정된 전압은 교류 전압인 광 도파로
|
| 6 |
6
제3항에서, 상기 제1 및 제2 전극층은 스트립 형태로 형성되어 있는 광 도파로
|
| 7 |
7
제3항에서, 상기 제1 및 제2 전극층은 하나의 경로가 두 개의 경로로 분기된 형태로 형성되어 있는 광 도파로
|
| 8 |
8
제3항에서, 상기 제1 및 제2 전극층은 금속으로 이루어진 광 도파로
|
| 9 |
9
제3항에서, 상기 제1 및 제2 전극층은 그래핀으로 이루어진 광 도파로
|
| 10 |
10
제3항에서, 상기 제3 유전체층은 상기 제1 유전체층과 동일한 굴절율을 가지며, 제4 유전체층은 제2 유전체층과 동일한 굴절율을 가지는 광 도파로
|
| 11 |
11
제3항에서, 상기 제1 전극층, 상기 제2 전극층 및 상기 그래핀층 중 어느 하나에 수평 방향으로 전기 신호가 가해지면, 상기 그래핀층은 상기 광 신호와 함께 상기 전기 신호를 전송하는 광 도파로
|
| 12 |
12
제1항에서, 상기 그래핀층은 스트립 형태로 형성되어 있는 광 도파로
|
| 13 |
13
제1항에서, 상기 그래핀층은 필름 형태로 형성되어 있는 광 도파로
|
| 14 |
14
제1항에서, 상기 제1 유전체층 및 제2 유전체층은 실리콘, 실리콘 질화물 또는 광소자용 고분자로 이루어지는 광 도파로
|
