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진공펌프와 연통된 흡착홀이 수직으로 형성되며, 회전 가능한 척본체;
상기 척본체의 상면에 상기 흡착홀을 둘러싸도록 결합되는 것으로, 상기 척본체의 상면보다 돌출되어 웨이퍼가 안착되는 폐곡선 형상의 링; 및
상기 웨이퍼의 측면을 적어도 두 지점에서 지지하도록 상기 척본체에 돌출되게 형성되는 것으로, 상기 척본체의 회전 중 상기 웨이퍼가 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공척
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제1항에 있어서,
상기 척본체의 상면에 상기 링을 결합시키는 적어도 하나의 결합홈이 형성된 진공척
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제1항에 있어서,
상기 웨이퍼에 복수의 비아 홀이 형성되고,
상기 척본체의 상면에 안착되는 것으로, 상기 웨이퍼의 비아 홀을 통과한 폴리머를 상기 흡착홀 측으로 유입되지 않도록 걸러내는 필터;를 구비하는 진공척
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제1항에 있어서,
상기 척본체의 상면에 형성되어 상기 흡착홀과 내통되는 적어도 하나의 흡착 보조홈;을 구비하는 진공척
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삭제
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제1항에 있어서,
상기 링은 신축성을 갖는 재질로 이루어지는 진공척
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진공펌프;
상기 진공펌프와 연결되는 흡착홀이 형성된 진공척;
상기 흡착홀과 진공펌프를 연결하는 진공관; 및
상기 진공관 상에 개재되는 것으로, 상기 흡착홀을 통하여 상기 진공펌프로 향하는 폴리머를 포집하는 저장탱크;를 구비하며,
상기 진공척은:
상기 흡착홀이 수직으로 형성되며 회전 가능한 척본체; 및
상기 척본체의 상면에 상기 흡착홀을 둘러싸도록 결합되는 것으로 상기 척본체의 상면보다 돌출되어 웨이퍼가 안착되는 폐곡선 형상의 링;을 포함하는 스핀코터
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제7항에 있어서,
상기 진공관은 상기 흡착홀과 저장탱크를 연결하는 제1진공관과, 상기 저장탱크와 진공펌프를 연결하여 폴리머를 제외한 공기만을 상기 진공펌프와 통하게 하는 제2진공관을 구비하는 스핀코터
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제7항에 있어서,
상기 저장탱크는 상기 진공관에서 분기된 관상에 연결되는 스핀코터
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제7항에 있어서,
상기 저장탱크는 상기 진공관보다 하부에 배치되는 스핀코터
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제7항에 있어서,
상기 저장탱크는 상기 진공관으로부터 착탈 가능한 스핀코터
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제7항에 있어서,
상기 진공관은 공기 중에 포함될 수 있는 미세 오염물질을 걸러주는 보조필터를 구비하는 스핀코터
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