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기판 상의 하부 클래딩층;
상기 하부 클래딩층 상의, 회절 격자 커플러 및 광 도파로를 포함하는 코어층; 및
상기 코어층 상의 제 1 상부 클래딩층을 포함하되,
상기 제 1 상부 클래딩층은 상기 코어층을 통과하는 광신호의 파장을 상기 제 1 상부 클래딩층의 굴절률로 나눈 값의 4분의 1인 두께를 가지는 광 결합기
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청구항 1에 있어서,
상기 제 1 상부 클래딩층 상의, 상기 제 1 상부 클래팅층 보다 작은 굴절율을 갖는 제 2 상부 클래딩층을 더 포함하는 광 결합기
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청구항 2에 있어서,
상기 코어층의 굴절률은 상기 제 1 상부 클래딩층의 굴절률보다 큰 광 결합기
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청구항 3에 있어서,
상기 코어층은 실리콘을 포함하고, 상기 제 1 상부 클래딩층은 실리콘 질화물 또는 실리콘 산화질화물을 포함하고, 그리고 상기 제 2 상부 클래딩층은 실리콘 산화물을 포함하는 광 결합기
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청구항 1에 있어서,
상기 회절 격자 커플러는, 서로 옆으로 이격된 복수 개의 돌출부들을 포함하는 광 결합기
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6
청구항 1에 있어서,
상기 하부 클래딩층에 제공된 반사체를 더 포함하는 광 결합기
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7
청구항 6에 있어서,
상기 반사체는 상기 기판의 상부면과 평행한 평판 형태인 광 결합기
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8
청구항 1에 있어서,
상기 기판에 제공된 반사체를 더 포함하는 광 결합기
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9
청구항 8에 있어서,
상기 반사체는 상기 기판의 상부면과 평행한 평판 형태인 광 결합기
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