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신체의 기관의 형태에 따라 적어도 일면으로 변형이 가능한 유연기판;상기 유연기판의 상에 배치되고 광을 방출하는 발광 소자; 및상기 유연기판의 상에 상기 발광 소자와 마주보도록 배치되고 방출된 상기 광을 흡수하는 광 검출기를 포함하되,상기 유연기판의 길이는 상기 기관의 곡률반경보다 같거나 더 긴 실리콘 나노결정 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,상기 유연기판은 고분자 기판, 액정고분자 기판, 금속기판 또는 유리기판을 포함하는 실리콘 나노결정 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,상기 발광 소자는 상기 유연기판 상에 차례로 적층된 정공 주입층, 발광층, 전자 주입층, 및 소자전극 포함하는 실리콘 나노결정 바이오 센서
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제 3 항에 있어서,상기 발광층는 실리콘 나노결정을 포함하는 탄화규소(SiC)로 이루어진 실리콘 나노결정 바이오 센서
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제 4 항에 있어서,상기 실리콘 나노결정은 1nm 내지 10nm의 크기를 갖는 실리콘 나노결정 바이오 센서
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제 3 항에 있어서,상기 정공 주입층 및 상기 전자 주입층은 SiN 또는 SiNC을 포함하는 실리콘 나노결정 바이오 센서
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7
제 1 항에 있어서,상기 광 검출기는 상기 유연기판 상에 차례로 적층된 정공 도핑층, 광 흡수층, 전자 도핑층, 및 검출전극을 포함하는 실리콘 나노결정 바이오 센서
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제 7 항에 있어서,상기 광 흡수층은 실리콘 나노결정을 포함하는 탄화규소(SiC)로 이루어진 실리콘 나노결정 바이오 센서
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제 7 항에 있어서,상기 정공 도핑층 및 상기 전자 도핑층은 SiN 또는 SiNC을 포함하는 실리콘 나노결정 바이오 센서
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10
관통영역를 가지며 유연물질로 이루어진 측정부;상기 측정부의 일측에 배치되고 상기 측정부에 광을 발광하는 발광부;상기 발광부와 마주보도록 상기 측정부의 타측에 배치되고 상기 관통영역에 배치된 바이오 물질들의 광 흡수량에 따라 달라지는 상기 발광부에서 발광된 광을 흡수하는 광 검출부를 포함하는 실리콘 나노결정 바이오 센서
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제 10 항에 있어서,상기 측정부는 고분자 물질, 액정고분자 물질, 유리물질을 포함하는 실리콘 나노결정 바이오 센서
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제 10 항에 있어서,상기 발광부는 실리콘 나노결정을 포함하는 탄화규소(SiC)를 포함하는 실리콘 나노결정 바이오 센서
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제 12 항에 있어서,상기 실리콘 나노결정은 1nm 내지 10nm의 크기를 갖는 실리콘 나노결정 바이오 센서
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제 10항에 있어서,상기 광 검출부는 실리콘 나노결정을 포함하는 탄화규소(SiC)를 포함하는 실리콘 나노결정 바이오 센서
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실리콘 기판 상에 발광 소자 및 광 검출기를 형성하는 것;상기 실리콘 기판으로부터 상기 발광 소자 및 상기 광 검출기를 분리시키는 것; 및상기 발광 소자 및 상기 광 검출기를 유연기판 상에 서로 이격되도록 부착시키는 것을 포함하는 실리콘 나노결정 바이오 센서의 제조 방법
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제 15 항에 있어서,상기 발광소자 및 상기 광 검출기를 형성하는 것은,제 1 반도체 기판 상에 정공 주입층, 발광층, 전자 주입층, 및 소자전극을 차례로 증착하는 것; 및제 2 반도체 기판 상에 정공 도핑층, 광 흡수층, 전자 도핑층, 및 검출전극을 차례로 증착하는 것을 포함하는 실리콘 나노결정 바이오 센서의 제조 방법
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제 16 항에 있어서,상기 발광층 및 상기 광 흡수층은 화학 기상 증착법(Plasma enhanced chemical vapor deposition)을 이용하여 실란가스(SiH4) 및 메탄가스(CH4)을 반응시켜 형성되는 실리콘 나노결정 바이오 센서의 제조 방법
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제 17 항에 있어서,상기 발광층 및 상기 광 흡수층은 실리콘 나노결정을 포함하는 탄화규소(SiC)막인 실리콘 나노결정 바이오 센서의 제조 방법
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제 15 항에 있어서,상기 발광소자 및 상기 광 검출기는 화학적 식각 또는 물리적 식각을 이용하여 상기 반도체 기판에서 분리되는 실리콘 나노결정 바이오 센서의 제조 방법
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