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소정 형상의 감광성 유리 프레임 상에 소정의 격자 주기를 갖는 다수의 금속 그리드가 일체로 형성되고, 상기 감광성 유리 프레임 상에 일체로 형성된 다수의 금속 그리드는 그리드 아답터에 장착되어 테라헤르츠파 검출기에 실장되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 검출기용 금속 그리드 모듈
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제 1항에 있어서, 상기 감광성 유리 프레임의 두께는 1 내지 10㎜ 이며, 상기 금속 그리드의 격자 주기는 1㎛ 내지 200㎛ 인 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 검출기용 금속 그리드 모듈
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제 1항에 있어서, 상기 다수의 금속 그리드 중 적어도 어느 하나의 금속 그리드에 다른 금속 그리드 모듈과의 정렬을 위한 정렬마크 홀이 형성된 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 검출기용 금속 그리드 모듈
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제 1항에 있어서,상기 감광성 유리 프레임 상에 일체로 형성된 다수의 금속 그리드는 운반 및 보관시 보호 덮개에 탈착되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 검출기용 금속 그리드 모듈
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(a) 감광성 유리 내부의 소정 영역을 감광하여 감광성 유리 프레임을 형성하는 단계;(b) 포토 레지스트 공정을 이용하여 상기 감광성 유리 프레임 상에 소정의 격자 주기를 갖는 격자 패턴을 형성하는 단계; 및(c) 상기 격자 패턴 사이에 금속 그리드를 형성한 후 상기 격자 패턴을 제거하는 단계를 포함하고,상기 (a) 단계에서,상기 감광성 유리의 감광시, 프랜지 영역을 위해 상기 감광성 유리의 양 끝부분을 남기고 감광하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 검출기용 금속 그리드 모듈의 제조 방법
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제 6항에 있어서, 상기 (b) 단계에서,상기 감광성 유리 프레임의 상부에 포토 레지스트를 형성하는 제1 단계와,상기 포토 레지스트의 소정 영역에 UV를 조사한 후 상기 UV 조사된 부분을 식각하여 상기 감광성 유리 프레임 상에 소정의 격자 주기를 갖는 격자 패턴을 형성하는 제2 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 검출기용 금속 그리드 모듈의 제조 방법
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제 8항에 있어서, 상기 제2 단계에서,상기 포토 레지스트의 소정 영역에 UV를 조사할 때, 다른 금속 그리드 모듈과의 정렬을 위한 정렬마크 홀이 형성될 부분을 남기고 UV를 조사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 검출기용 금속 그리드 모듈의 제조 방법
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제 8항에 있어서, 상기 제 2 단계에서,상기 격자 패턴의 격자 주기는 1㎛ 내지 200㎛ 인 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 검출기용 금속 그리드 모듈의 제조 방법
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