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바이오 랩온어칩, 및 그 제조 및 작동 방법

  • 기술번호 : KST2015087197
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 바이오 랩온어칩이 제공된다. 이 랩온어칩은 기판 상에 구비된 압전 박막, 압전 박막 상에 구비되되, 미세 유체의 바이오 신호를 감지하기 위한 감지부, 및 감지부에 인접하게 구비되어 미세 유체의 이송을 제어하는 유체 제어부를 포함한다. 또한, 바이오 랩온어칩의 제조 방법이 제공된다. 이 방법은 기판 상에 압전 박막을 형성하는 단계, 압전 박막 상에 미세 유체의 바이오 신호를 감지하기 위한 감지부를 형성하는 단계 및 미세 유체의 이송을 제어하기 위해 감지부에 인접하는 유체 제어부를 형성하는 단계를 포함한다. 압전, 표면 탄성파, 미세 유체, 액체 방울, 랩온어칩
Int. CL C12Q 1/68 (2011.01) B28Y 15/00 (2011.01) G01N 27/26 (2011.01) B81B 7/00 (2011.01)
CPC G01N 33/54366(2013.01) G01N 33/54366(2013.01) G01N 33/54366(2013.01) G01N 33/54366(2013.01) G01N 33/54366(2013.01) G01N 33/54366(2013.01) G01N 33/54366(2013.01) G01N 33/54366(2013.01) G01N 33/54366(2013.01) G01N 33/54366(2013.01)
출원번호/일자 1020070114116 (2007.11.09)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0941065-0000 (2010.02.01)
공개번호/일자 10-2009-0047968 (2009.05.13) 문서열기
공고번호/일자 (20100209) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.11.09)
심사청구항수 42

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이대식 대한민국 대전 유성구
2 박래만 대한민국 대전 유성구
3 맹성렬 대한민국 충북 청주시 흥덕구
4 정문연 대한민국 대전 유성구
5 박선희 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오세준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)(특허법인 고려)
2 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
3 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.11.09 수리 (Accepted) 1-1-2007-0804592-87
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.04.27 수리 (Accepted) 9-1-2009-0025939-43
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.09.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0383917-39
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2009-0650119-61
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.10.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0650117-70
8 등록결정서
Decision to grant
2010.01.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0019093-43
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판; 상기 기판 상에 구비된 압전 박막; 상기 압전 박막 상에 구비되되, 미세 유체의 바이오 신호를 감지하기 위한 감지부; 및 상기 감지부에 인접하게 구비되어 상기 미세 유체의 이송을 제어하는 유체 제어부를 포함하는 바이오 랩온어칩
2 2
제 1항에 있어서, 상기 유체 제어부는 상기 감지부 방향으로 표면 탄성파를 제공하는 인터디저테이티드 트랜스듀서인 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩
3 3
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 압전 박막 상에 구비되되, 상기 감지부와 상기 유체 제어부 사이에 위치하는 미세 유체 경로부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩
4 4
제 3항에 있어서, 상기 미세 유체 경로부는 소수성 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩
5 5
제 4항에 있어서, 상기 소수성 물질은 실란 화합물, 카본 나노 튜브 및 다이아몬드 카본 중에서 선택된 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩
6 6
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 기판은 실리콘, 유리, 플라스틱, 금속 및 이들의 조합물 중에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩
7 7
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 압전 박막은 0
8 8
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 압전 박막은 산화아연, 질화알루미늄, 니오브산리튬, 탄탈산리튬, 석영, 폴리머 및 이들의 조합물 중에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩
9 9
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 감지부 상에 구비된 항체들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩
10 10
제 9항에 있어서, 상기 항체들은 자가조립 단분자막 또는 단백질을 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩
11 11
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 유체 제어부와 상기 감지부를 가상으로 잇는 선 방향에 수직한 방향으로 상기 감지부에 인접하도록 위치하는 한 쌍의 인터디저테이티드 트랜스듀서들을 더 포함하되, 상기 한 쌍의 인터디저테이티드 트랜스듀서들 사이에는 상기 감지부가 위치하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩
12 12
제 11항에 있어서, 상기 한 쌍의 인터디저테이티드 트랜스듀서들은: 표면 탄성파를 상기 감지부로 보내는 선택된 하나의 인터디저테이티드 트랜스듀서; 및 상기 감지부에 의해 변형된 표면 탄성파를 전기적 신호로 변환하는 선택되지 않은 하나의 인터디저테이티드 트랜스듀서로 이루어지는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩
13 13
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 감지부 및 상기 미세 유체 경로부를 둘러싸는 댐부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩
14 14
제 13항에 있어서, 상기 댐부는 감광성 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩
15 15
기판 상에 압전 박막을 형성하는 단계; 상기 압전 박막 상에 미세 유체의 바이오 신호를 감지하기 위한 감지부를 형성하는 단계; 및 상기 미세 유체의 이송을 제어하기 위해 상기 감지부에 인접하는 유체 제어부를 형성하는 단계를 포함하는 바이오 랩온어칩의 제조 방법
16 16
제 15항에 있어서, 상기 유체 제어부는 인터디저테이티드 트랜스듀서 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 제조 방법
17 17
제 15항 또는 제 16항에 있어서, 상기 압전 박막은 0
18 18
제 15항 또는 제 16항에 있어서, 상기 압전 박막을 형성하는 단계는: 상기 기판 상에 압전 물질을 증착하는 단계; 및 증착된 상기 압전 물질을 열 처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 제조 방법
19 19
제 18항에 있어서, 상기 압전 물질은 산화아연, 질화알루미늄, 니오브산리튬, 탄탈산리튬, 석영, 폴리머 및 이들의 조합물 중에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 제조 방법
20 20
제 17항에 있어서, 상기 압전 물질을 증착하는 단계는 반응성 스퍼터링 방식, 화학 기상 증착 방식, 분자 빔 에피택시 방식, 원자층 증착 방식 및 이들의 조합된 방식 중에서 선택된 적어도 하나의 방식을 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 제조 방법
21 21
제 15항 또는 제 16항에 있어서, 상기 유체 제어부를 형성하는 단계는 상기 압전 박막을 형성하는 단계 전에 수행되는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 제조 방법
22 22
제 15항 또는 제 16항에 있어서, 상기 감지부와 상기 유체 제어부는 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 제조 방법
23 23
제 22항에 있어서, 상기 감지부와 상기 유체 제어부를 동시에 형성하는 것은: 상기 압전 박막 상에 감지부 영역 및 유체 제어부 영역을 노출하는 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 패턴 상 및 상기 포토레지스트 패턴에 의해 노출된 상기 압전 박막 상에 도전성 금속막을 형성하는 단계; 및 리프트-오프 방식으로 상기 포토레지스트 패턴 및 상기 포토레지스트 패턴 상의 상기 도전성 금속막을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 제조 방법
24 24
제 15항 또는 제 16항에 있어서, 상기 유체 제어부와 상기 감지부를 가상으로 잇는 선 방향에 수직한 방향으로 상기 감지부에 인접하는 한 쌍의 인터디저테이티드 트랜스듀서들을 형성하는 단계를 더 포함하되, 상기 한 쌍의 인터디저테이티드 트랜스듀서들의 사이에는 상기 감지부가 위치하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 제조 방법
25 25
제 24항에 있어서, 상기 한 쌍의 인터디저테이티드 트랜스듀서들은 상기 유체 제어부와 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 제조 방법
26 26
제 24항에 있어서, 상기 한 쌍의 인터디저테이티드 트랜스듀서들은 상기 감지부 및 상기 유체 제어부와 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 제조 방법
27 27
제 15항 또는 제 16항에 있어서, 상기 감지부 상에 항체들을 형성하는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 제조 방법
28 28
제 27항에 있어서, 상기 항체들은 자가조립 단분자막 또는 단백질을 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 제조 방법
29 29
제 15항 또는 제 16항에 있어서, 상기 감지부 및 상기 미세 유체 경로부를 둘러싸는 댐부를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 제조 방법
30 30
제 29항에 있어서, 상기 댐부는 감광성 폴리머로 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 제조 방법
31 31
압전 박막을 포함하는 기판 상의 서로 인접하는 유체 제어부와 감지부 사이의 영역에 미세 유체를 제공하는 단계; 상기 유체 제어부의 구동에 의해 생성되는 표면 탄성파를 이용하여 상기 미세 유체를 상기 감지부로 이송하는 단계; 및 상기 감지부에서 상기 미세 유체의 바이오 신호를 감지하는 단계를 포함하는 바이오 랩온어칩의 작동 방법
32 32
제 31항에 있어서, 상기 유체 제어부는 상기 표면 탄성파를 제공하는 유체 제어용 인터디저테이티드 트랜스듀서인 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 작동 방법
33 33
제 31항 또는 제 32항에 있어서, 상기 미세 유체는 나노리터 크기의 액체 방울인 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 작동 방법
34 34
제 31항 또는 제 32항에 있어서, 상기 미세 유체는 광학적 표지물질 또는 방사능적 표지물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 작동 방법
35 35
제 31항 또는 제 32항에 있어서, 상기 미세 유체의 상기 바이오 신호를 감지하는 단계는 상기 감지부 상에 구비된 항체들과 상기 미세 유체 사이의 반응을 광학적 신호 또는 방사능적 신호로 감지하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 작동 방법
36 36
제 31항 또는 제 32항에 있어서, 상기 미세 유체의 상기 바이오 신호를 감지하는 단계는 상기 감지부 상에 구비된 항체들과 상기 미세 유체 사이의 반응을 전기적 신호로 감지하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 작동 방법
37 37
제 36항에 있어서, 상기 전기적 신호를 감지하는 것은 상기 감지부에 인접하도록 위치하는 적어도 하나의 감지용 인터디저테이티드 트랜스듀서를 이용하되, 상기 감지용 인터디저테이티드 트랜스듀서로부터 발생하는 표면 탄성파가 상기 감지부를 통과함에 따라 변형된 상기 표면 탄성파의 공진 주파수를 측정하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 작동 방법
38 38
제 37항에 있어서, 상기 표면 탄성파의 상기 공진 주파수의 변화량은 상기 항체들과 상기 미세 유체 사이의 반응량에 비례하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 작동 방법
39 39
제 37항에 있어서, 상기 감지용 인터디저테이티드 트랜스듀서는: 상기 표면 탄성파를 상기 감지부로 보내는 제 1 감지용 인터디저테이티드 트랜스듀서; 및 상기 감지부에 의해 상기 변형된 표면 탄성파를 검출하는 제 2 감지용 인터디저테이티드 트랜스듀서로 이루어지는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 작동 방법
40 40
미세 유체의 바이오 신호를 감지하기 위한 감지 센서를 기판 상의 압전 박막 상에 제공하는 단계; 상기 감지 센서에 표면 탄성파를 제공하는 단계; 및 상기 감지 센서와 상기 미세 유체 사이의 반응에 의해 변화된 표면 탄성파의 공진 주파수를 측정하는 단계를 포함하되, 상기 표면 탄성파의 상기 공진 주파수의 변화량은 상기 감지 센서와 상기 미세 유체 사이의 반응량에 비례하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 작동 방법
41 41
제 40항에 있어서, 상기 표면 탄성파를 제공하는 단계는 상기 감지 센서에 인접하는 적어도 하나의 감지용 인터디저테이티드 트랜스듀서를 이용하는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 작동 방법
42 42
제 41항에 있어서, 상기 감지용 인터디저테이티드 트랜스듀서는: 상기 표면 탄성파를 상기 감지 센서에 제공하는 제 1 감지용 인터디저테이티드 트랜스듀서; 및 상기 감지 센서와 상기 미세 유체 사이의 반응에 의해 상기 변형된 표면 탄성파를 검출하는 제 2 감지용 인터디저테이티드 트랜스듀서로 이루어지는 것을 특징으로 하는 바이오 랩온어칩의 작동 방법
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1 정보통신부 및 정보통신연구진흥원 한국전자통신연구원 IT원천기술개발 유비쿼터스 건강관리용 모듈 시스템