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기판과, 상기 기판 위에 형성된 UV 광원과, 상기 UV 광원 위에 형성된 한 쌍의 전극과, 상기 UV 광원 위에 형성된 광원 보호막과
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제1항에 있어서, 상기 산화물 반도체층은 볼(ball) 형태를 가지는 복수의 나노 입자를 포함하는 것을 특징으로 하는 환경 정화 시스템용 나노 구조물
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제1항에 있어서, 상기 산화물 반도체층은 실린더 형상을 가지는 복수의 나노로드(nano-rod)를 포함하는 것을 특징으로 하는 환경 정화 시스템용 나노 구조물
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제1항에 있어서, 상기 기판은 사파이어(Al2O3), SiC, SiO2, GaAs, 플라스틱, 유리, 또는 SOI (Silicon on Insulator) 기판으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 환경 정화 시스템용 나노 구조물
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제1항에 있어서, 상기 산화물 반도체층은 B, Al, Ga, In, F, N, Cu 또는 Li로 도핑되어 있는 것을 특징으로 하는 환경 정화 시스템용 나노 구조물
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제1항에 있어서, 상기 UV 광원은 AlGaN, InGaN, GaN 및 SiC로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 하나의 화합물 반도체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 환경 정화 시스템용 나노 구조물
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제1항에 있어서, 상기 광원 보호막은 실리콘 산화막 또는 실리콘 질화막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 환경 정화 시스템용 나노 구조물
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제1항에 있어서, 상기 나노 구조물은 CO, NO2, SO2, NH3, 및 H2로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 하나의 물질을 검출하기 위한 가스 센서로 사용되는 것을 특징으로 하는 환경 정화 시스템용 나노 구조물
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10
제1항에 있어서, 상기 나노 구조물은 대기중의 벤젠을 제거하기 위한 광촉매로 사용되는 것을 특징으로 하는 환경 정화 시스템용 나노 구조물
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