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1
기판; 및상기 기판 상면 및 하면 각각에 형성된 제1 및 제2 급격한 MIT(Metal-Insulator Transition) 구조물;을 포함하는 급격한 MIT 소자
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제1 항에 있어서,상기 급격한 MIT 구조물은,소정의 한계전압 미만에서는 절연체의 성질을 나타내고, 상기 한계전압 이상에서는 금속의 성질을 나타내는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자
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제1 항에 있어서,상기 급격한 MIT 구조물은급격한 금속-절연체 전이 박막 및 상기 전이 박막에 컨택하는 적어도 2 개의 전극박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자
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4 |
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제3 항에 있어서,상기 전이 박막은, 산소, 탄소, 반도체 원소(III-V족, II-VI족), 전이금속원소, 희토류원소, 란탄계 원소들을 포함하는 저 농도의 정공이 첨가된 무기물 화합물 반도체 및 절연체, 저 농도의 정공이 첨가된 유기물 반도체 및 절연체, 저 농도의 정공이 첨가된 반도체, 및 저 농도의 정공이 첨가된 산화물 반도체 및 절연체 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자
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제3 항에 있어서,상기 전이 박막은, n 형 반도체 및 절연체를 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자
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6
제3 항에 있어서,상기 전극박막은, W, Mo, W/Au, Mo/Au, Cr/Au, Ti/W, Ti/Al/N, Ni/Cr, Al/Au, Pt, Cr/Mo/Au, YBa2Cu3O7-d, Ni/Au, Ni/Mo, Ni/Mo/Au, Ni/Mo/Ag, Ni/Mo/Al, Ni/W, Ni/W/Au, Ni/W/Ag 및 Ni/W/Al 중에서 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자
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7 |
7
제1 항에 있어서,상기 제1 급격한 MIT 구조물은,상기 기판 상면에 형성된 급격한 금속-절연체 제1 전이 박막;상기 기판 상면으로 상기 제1 전이 박막의 일측면 및 상면 일부로 형성된 제1-1 전극박막;및상기 기판 상면으로 상기 제1 전이 박막의 상기 일측면에 대향하는 타측면 및 상면 일부로 형성된 제1-2 전극박막을 포함하고,상기 제2 급격한 MIT 구조물은,상기 기판 하면에 형성된 급격한 금속-절연체 제2 전이 박막;상기 기판 하면으로 상기 제2 전이 박막의 일측면 및 하면 일부로 형성된 제2-1 전극박막;및상기 기판 하면으로 상기 제2 전이 박막의 상기 일측면에 대향하는 타측면 및 하면 일부로 형성된 제2-1 전극박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자
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8 |
8
제1 항에 있어서,상기 제1 급격한 MIT 구조물은,상기 기판 상면에 형성된 제1-1 전극박막;상기 제1-1 전극박막 상면에 형성된 급격한 금속-절연체 제1 전이 박막;및상기 제1 전이 박막 상면에 형성된 제1-2 전극박막을 포함하고,상기 제2 급격한 MIT 구조물은,상기 기판 하면에 형성된 제2-1 전극박막;상기 제2-1 전극박막 하면에 형성된 급격한 금속-절연체 제2 전이 박막;및상기 제2 전이 박막 하면에 형성된 제2-2 전극박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자
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9 |
9
제7 항 또는 제8 항에 있어서,상기 급격한 MIT 소자는,상기 기판 상면으로 상기 제1 급격한 MIT 구조물 및 상기 제1 급격한 MIT 구조물과 이격된 적어도 하나의 급격한 MIT 구조물을 포함하는 제1 급격한 MIT 소자열; 및상기 기판 하면으로 상기 제2 급격한 MIT 구조물 및 상기 제2 급격한 MIT 구조물과 이격된 적어도 하나의 급격한 MIT 구조물을 포함하는 제2 급격한 MIT 소자열을 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자
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10
제9 항에 있어서,상기 제1 및 제2 급격한 MIT 소자열 각각은 상기 기판 상면의 제1 급격한 MIT 구조물들 사이의 직렬 컨택라인 및 상기 기판 하면의 제2 급격한 MIT 구조물들 사이의 직렬 컨택라인에 의해 직렬연결된 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자
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11
제10 항에 있어서,상기 제1 및 제2 급격한 MIT 소자열은 상기 기판을 관통하는 병렬 컨택라인 의해 병렬연결된 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자
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12
제1 항에 있어서,상기 기판은, Si, SiO2, GaAs, Al2O3, 플라스틱, 유리, V2O5, PrBa2Cu3O7, YBa2Cu3O7, MgO, SrTiO3, Nb가 도핑된 SrTiO3 및 절연 박막 위의 실리콘(SOI) 중에서 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자
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13
제1 항에 있어서,상기 기판은 상면 및 하면으로 버퍼층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자
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14
제13 항에 있어서,상기 버퍼층은 SiO2 또는 Si3N4막을 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자
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기판; 및상기 기판 상에 급격한 금속-절연체 전이 박막 및 상기 전이 박막에 컨택하는 적어도 2 개의 전극박막을 구비한 급격한 MIT 구조물이 적어도 2 개 서로 이격되어 형성된 급격한 MIT(Metal-Insulator Transition) 소자열;을 포함하는 급격한 MIT 소자
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16
제15 항에 있어서,상기 급격한 MIT 소자열은 기판 상의 급격한 MIT 구조물들 사이에 형성된 직렬 컨택라인을 통해 직렬연결된 것을 특징으로 급격한 MIT 소자
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17
보호받고자 하는 전기전자시스템에 병렬연결되고,적어도 2개의 급격한 MIT(Metal-Insulator Transition) 소자가 직렬연결된 급격한 MIT 소자열을 포함하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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18
제17 항에 있어서,상기 급격한 MIT 소자열에 병렬연결된 적어도 하나의 다른 급격한 MIT 소자열을 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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19
제17 항에 있어서,상기 급격한 MIT 소자들 각각에 병렬연결된 적어도 하나의 급격한 MIT 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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20
제17 항에 있어서,상기 급격한 MIT 소자 각각은,상기 급격한 MIT 소자를 보호하기 위한 보호저항을 포함한 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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21
제17 항에 있어서,상기 급격한 MIT 소자 각각은, 소정의 한계전압 미만에서는 절연체의 성질을 나타내고, 상기 한계전압 이상에서는 금속의 성질을 나타내는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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22
제21 항에 있어서,상기 급격한 MIT 소자 각각은,모두 동일한 상기 한계전압을 갖거나 또는 적어도 하나는 다른 상기 한계 전압을 갖는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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제22 항에 있어서,상기 급격한 MIT 소자열은
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24
제23 항에 있어서,상기 전체 한계전압은 상기 각각의 한계전압의 합과 동일하거나 그 미만인 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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25 |
25
제23 항에 있어서,상기 급격한 MIT 소자열의 상기 급격한 MIT 소자 각각은 상기 전체 한계전압에서 절연체의 성질에서 금속성의 성질로 전이하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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26
제23 항에 있어서,상기 전체 한계전압 이상의 고전압 잡음이 제거되는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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27
제17 항에 있어서,상기 전기전자시스템은 고전압을 차단하는 고전압 개폐기인 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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28
보호받고자 하는 전기전자시스템에 병렬연결되고,기판 및 적어도 2개의 급격한 MIT(Metal-Insulator Transition) 구조물이 직렬연결된 급격한 MIT 소자열을 포함하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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29
제28 항에 있어서,상기 급격한 MIT 구조물은, 소정의 한계전압 미만에서는 절연체의 성질을 나타내고, 상기 한계전압 이상에서는 금속의 성질을 나타내는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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30
제28 항에 있어서,상기 급격한 MIT 소자열에 병렬연결된 적어도 하나의 다른 급격한 MIT 소자열을 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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31
제28 항에 있어서,상기 급격한 MIT 구조물은,급격한 금속-절연체 전이 박막; 및 상기 전이 박막에 컨택하는 적어도 2 개의 전극박막;을 포함하는 것을 특징으로 하는 고전압 잡음 제거회로
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32
제31 항에 있어서,상기 급격한 MIT 구조물은,상기 기판 상에 형성된 제1 전극박막; 상기 제1 전극박막의 상부에 형성된 저 농도의 정공을 포함하는 급격한 금속-절연체 전이 박막; 및 상기 전이 박막의 상부에 형성된 제2 전극박막;을 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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33
제31 항에 있어서, 상기 급격한 MIT 구조물은, 상기 기판 상부 일부에 형성된 저 농도의 정공을 포함하는 급격한 금속-절연체 전이 박막;상기 기판 상부로 상기 전이 박막의 일측면 및 상면 일부에 형성된 제1 전극박막; 및상기 기판 상부로 상기 전이 박막의 상기 일측면에 대향하는 타측면 및 상면 일부에 형성된 제2 전극박막을 포함하며, 상기 제1 전극박막 및 상기 제2 전극박막은 서로 분리되어 있는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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제32 항 또는 제33 항에 있어서,상기 급격한 MIT 소자열의 직렬연결은 상기 기판 상부의 상기 급격한 MIT 구조물 사이를 전기적으로 컨택하는 상기 기판 상부에 형성된 직렬 컨택라인을 통해 형성되는 것을 특징으로 하는 고전압 잡음 제거회로
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35
제28 항에 있어서,상기 급격한 MIT 소자열은,상기 기판 상면에 형성된 적어도 2개의 급격한 MIT(Metal-Insulator Transition) 구조물이 직렬연결된 제1 급격한 MIT(Metal-Insulator Transition) 소자열; 및 상기 기판 하면에 형성된 적어도 2개의 급격한 MIT(Metal-Insulator Transition) 구조물이 직렬연결된 제2 급격한 MIT(Metal-Insulator Transition) 소자열;을 포함하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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제35 항에 있어서,상기 제1 급격한 MIT 소자열의 상기 급격한 MIT 구조물은,상기 기판 상면에 형성된 급격한 금속-절연체 제1 전이 박막;상기 기판 상면으로 상기 제1 전이 박막의 일측면 및 상면 일부로 형성된 제1-1 전극박막;및상기 기판 상면으로 상기 제1 전이 박막의 상기 일측면에 대향하는 타측면 및 상면 일부로 형성된 제1-2 전극박막을 포함하고,상기 제2 급격한 MIT 소자열의 상기 급격한 MIT 구조물은, 상기 기판 하면에 형성된 급격한 금속-절연체 제2 전이 박막;상기 기판 하면으로 상기 제2 전이 박막의 일측면 및 하면 일부로 형성된 제2-1 전극박막;및상기 기판 하면으로 상기 제2 전이 박막의 상기 일측면에 대향하는 타측면 및 하면 일부로 형성된 제2-1 전극박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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제35 항에 있어서,상기 제1 급격한 MIT 소자열의 상기 급격한 MIT 구조물은,상기 기판 상면에 형성된 제1-1 전극박막;상기 제1-1 전극박막 상면에 형성된 급격한 금속-절연체 제1 전이 박막;및상기 제1 전이 박막 상면에 형성된 제1-2 전극박막을 포함하고,상기 제2 급격한 MIT 소자열의 상기 급격한 MIT 구조물은,상기 기판 하면에 형성된 제2-1 전극박막;상기 제2-1 전극박막 하면에 형성된 급격한 금속-절연체 제2 전이 박막;및상기 제2 전이 박막 하면에 형성된 제2-2 전극박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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38
제36 항 또는 제37 항에 있어서,상기 제1 급격한 MIT 소자열의 직렬연결은 상기 기판 상부의 상기 급격한 MIT 구조물 사이를 전기적으로 컨택하는 상기 기판 상부에 형성된 직렬 컨택라인을 통해 형성되고,상기 제2 급격한 MIT 소자열의 직렬연결은 상기 기판 하부의 상기 급격한 MIT 구조물 사이를 전기적으로 컨택하는 상기 기판 하부에 형성된 직렬 컨택라인을 통해 형성되는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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제38 항에 있어서,상기 제1 급격한 MIT 소자열과 상기 제2 급격한 MIT 소자열은 상기 기판을 관통하는 병렬 컨택라인을 통해 병렬연결되는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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40
제28 항에 있어서, 상기 기판은 상부 및 하부 중에서 적어도 한 면에 버퍼층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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제40 항에 있어서, 상기 버퍼층은 SiO2 또는 Si3N4막을 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 고전압 잡음 제거회로
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42
보호받고자 하는 전기전자시스템; 및상기 전기전자시스템에 병렬연결되고 적어도 2개의 급격한 MIT(Metal-Insulator Transition) 소자가 직렬연결된 급격한 MIT 소자열을 구비한 고전압 잡음 제거회로;를 포함하는 전기전자장치
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제42 항에 있어서,상기 고전압 잡음 제거회로는,상기 급격한 MIT 소자열에 병렬연결된 적어도 하나의 다른 급격한 MIT 소자열을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기전자장치
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제42 항에 있어서,상기 급격한 MIT 소자 각각은,상기 급격한 MIT 소자를 보호하기 위한 보호저항을 포함한 것을 특징으로 하는 전기전자장치
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제42 항에 있어서,상기 급격한 MIT 소자는, 소정의 한계전압 미만에서는 절연체의 성질을 나타내고, 상기 한계전압 이상에서는 금속의 성질을 나타내는 것을 특징으로 하는 전기전자장치
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제45 항에 있어서,상기 급격한 MIT 소자 각각은,모두 동일한 상기 한계전압을 갖거나 또는 적어도 하나는 다른 상기 한계 전압을 갖는 것을 특징으로 하는 전기전자장치
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제46 항에 있어서,상기 급격한 MIT 소자열은
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제47 항에 있어서,상기 전체 한계전압 이상의 고전압 잡음이 제거되는 것을 특징으로 하는 전기전자장치
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제42 항에 있어서,상기 전기전자장치는 고전압을 차단하는 고전압 개폐기인 것을 특징으로 하는 전기전자장치
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