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인가된 전기적 신호에 따라 픽셀 영역을 스위칭하기 위한 폴리실리콘 박막 트랜지스터, 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 연결된 투명전극으로 이루어진 하부 픽셀전극 및 상기 하부 픽셀전극 상에 형성된 배향막이 상부에 구비되고, 하부에 편광판이 구비된 하부 기판; 상기 박막 트랜지스터로 유입되는 UV 빛을 차단하기 위한 차광막, 상기 차광막 하부에 형성된 보호절연막, 상기 보호절연막의 하부에 형성된 투명전극으로 이루어진 상부 픽셀전극 및 상기 상부 픽셀전극 하부에 형성된 배향막이 하부에 구비되고, 상부에 편광판이 구비된 상부 기판; 상기 하부 기판과 상기 상부 기판 사이에 주입되고, 상기 박막 트랜지스터의 전기적 신호에 따라 배열 상태가 변화하여 빛을 선택적으로 투과시키는 액정; 및 상기 픽셀 영역 외곽의 하부 기판 상에 상기 폴리실리콘 박막 트랜지스터를 구동하기 위한 구동회로를 포함하되, 상기 구동회로는 상기 폴리실리콘 박막 트랜지스터와 동시에 형성되고 상기 픽셀 영역과 동일 평면상에 구비되며, 상기 액정은 네마틱(nematic) 액정에 염료가 첨가된 액정으로서 인가되는 전압에 따라 선편광된 빛의 진동 방향과 상기 염료의 광 흡수축이 일치 또는 직교됨으로써 빛을 차단하거나 투과시킬 수 있는 게스트-호스트형 액정인 것을 특징으로 하는 프로그래머블 마스크
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인가된 전기적 신호에 따라 픽셀 영역을 스위칭하기 위한 폴리실리콘 박막 트랜지스터, 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 연결된 투명전극으로 이루어진 하부 픽셀전극, 입사된 UV 빛의 보강 간섭을 일으키기 위해 상기 하부 픽셀전극 상에 형성된 유전체 미러 및 상기 유전체 미러 상에 형성된 배향막이 상부에 구비된 하부 기판; 상기 박막 트랜지스터로 유입되는 UV 빛을 차단하기 위한 차광막, 공통전압이 인가되는 투명전극으로 이루어진 상부 픽셀전극, 입사된 UV 빛의 보강 간섭을 일으키기 위해 상기 상부 픽셀전극 하부에 형성된 유전체 미러 및 상기 유전체 미러 상에 형성된 배향막이 하부에 구비된 상부 기판; 상기 하부 기판과 상기 상부 기판 사이에 주입되고, 상기 박막 트랜지스터의 전기적 신호에 따라 배열 상태가 변화하여 빛을 선택적으로 투과시키는 액정; 및 상기 픽셀 영역 외곽의 하부 기판 상에 상기 폴리실리콘 박막 트랜지스터를 구동하기 위한 구동회로를 포함하되, 상기 구동회로는 상기 폴리실리콘 박막 트랜지스터와 동시에 형성되고 상기 픽셀 영역과 동일 평면상에 구비되며, 상기 하부 기판 상부에 구비된 유전체 미러 및 상기 상부 기판에 구비된 유전체 미러로 이루어진 패브리-패럿형 광 필터에 의하여 보강 간섭된 특정한 파장의 UV 빛만을 선택적으로 투과시키는 것을 특징으로 하는 프로그래머블 마스크
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제3항에 있어서, 상기 액정은 네마틱(nematic) 액정에 염료가 첨가된 액정으로서 인가되는 전압에 따라 선편광된 빛의 진동 방향과 상기 염료의 광 흡수축이 일치 또는 직교됨으로써 빛을 차단하거나 투과시킬 수 있는 게스트-호스트형 액정인 것을 특징으로 하는 프로그래머블 마스크
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제2항에 있어서, 상기 편광판은 330 내지 400nm 파장의 UV 빛에 대해 투과도가 높고, 상기 UV 빛에 의해 변성이 일어나지 않는 고분자 필름 또는 복굴절 특성을 갖는 무기 결정체로 이루어진 것을 특징으로 하는 프로그래머블 마스크
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제5항에 있어서, 상기 고분자 필름은 폴리비닐 알코올로 이루어지고, 상기 무기 결정체는 방해석(calcite), 석영(quartz) 또는 전기석(tourmaline)인 것을 특징으로 하는 프로그래머블 마스크
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제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 하부 기판 하부에 입사된 UV 빛을 무편광된 빛으로 바꾸기 위한 편광 소거기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 프로그래머블 마스크
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제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 배향막은 330 내지 400nm 파장의 UV 빛에 대해 투과도가 높고, 상기 UV 빛에 의해 변성이 일어나지 않는 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 프로그래머블 마스크
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제8항에 있어서, 상기 UV 빛에 의해 변성이 일어나지 않는 물질은 UV 빛에 내성을 갖는 폴리이미드, 경사 스퍼터링법 또는 경사 열증착법으로 형성된 실리콘 산화막 또는 이온빔을 조사하여 액정의 배향 효과를 갖게 한 DLC(diamond-like-carbon)인 것을 특징으로 하는 프로그래머블 마스크
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제2항 또는 제3항의 프로그래머블 마스크를 사용하여 생체분자 어레이를 형성하는 방법에 있어서, 상기 프로그래머블 마스크를 준비하는 단계; 상기 프로그래머블 마스크 하부에 시료 기판을 설치하는 단계; 상기 프로그래머블 마스크에 전기적 신호를 공급하여 선택된 픽셀 영역에서의 액정의 배열에 의해 UV 빛의 투과를 조절하는 단계; 상기 픽셀 영역을 선택적으로 통과한 UV 빛을 상기 시료 기판에 조사하는 단계; 및 상기 시료 기판에 조사된 UV 빛에 의해 상기 시료 기판에 구비된 생체 분자에 광반응이 일어나도록 하여 상기 프로그래머블 마스크의 패턴에 따른 생체분자 어레이를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 생체분자 어레이 형성방법
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제10항에 있어서, 상기 픽셀 영역을 선택적으로 통과한 빛을 편광 소거기를 통해 무편광된 빛으로 전환하여 상기 시료 기판에 조사하고, 상기 시료 기판에서 무편광된 빛에 의해 광반응이 일어나도록 하여 생체 분자 어레이를 형성하는 것을 특징으로 하는 생체분자 어레이 형성방법
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제10항에 있어서, 상기 액정은 네마틱(nematic) 액정에 염료가 첨가된 액정으로서 인가되는 전압에 따라 선편광된 빛의 진동 방향과 상기 염료의 광 흡수축이 일치 또는 직교됨으로써 빛을 차단하거나 투과시킬 수 있는 게스트-호스트형 액정으로 이루어져 있고, 상기 프로그래머블 마스크에 인가되는 전기적 신호에 의해 상기 게스트-호스트형 액정의 배열 상태를 조절함으로써 선택적으로 빛을 상기 시료 기판에 조사하여 생체분자 어레이를 형성하는 것을 특징으로 하는 생체분자 어레이 형성방법
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