1 |
1
기판; 상기 기판 위에 형성된 제1 전극 박막; 상기 제1 전극 박막의 상부에 형성되며, 저 농도의 정공을 포함하는 급격한 금속-절연체 전이 박막(Metal-Insulator Transition:MIT); 및 상기 급격한 금속-절연체 전이 박막의 상부에 형성된 제2 전극 박막;을 구비한 급격한 MIT 소자를 포함하고, 상기 급격한 MIT 소자는 일정한 전이온도에서 급격한 금속-절연체 전이를 일으키는 특성을 갖는 급격한 MIT 소자를 이용한 온도센서
|
2 |
2
기판;상기 기판 상부 일부에 형성된 저 농도의 정공을 포함하는 급격한 금속-절연체 전이 박막;상기 기판 상부로 상기 급격한 금속-절연체 전이 박막의 일측면 및 상면 일부에 형성된 제1 전극 박막; 및상기 기판 상부로 상기 급격한 금속-절연체 전이 박막의 상기 일측면에 대향하는 타측면 및 상면 일부에 형성된 제2 전극 박막을 구비하고,상기 제1 전극 박막 및 상기 제2 전극 박막은 서로 분리되어 있으며,상기 급격한 MIT 소자는 일정한 전이온도에서 급격한 금속-절연체 전이를 일으키는 특성을 갖는 급격한 MIT 소자를 이용한 온도센서
|
3 |
3
삭제
|
4 |
4
제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 전이 박막은, 산소, 탄소, 반도체 원소(III-V족, II-VI족), 전이금속원소, 희토류원소, 란탄계 원소들을 포함하는 저 농도의 정공이 첨가된 무기물 화합물 반도체 및 절연체, 저 농도의 정공이 첨가된 유기물 반도체 및 절연체, 저 농도의 정공이 첨가된 반도체, 및 저 농도의 정공이 첨가된 산화물 반도체 및 절연체 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 온도센서
|
5 |
5
제1 항 또는 제2항에 있어서,상기 전극 박막은,W, Mo, W/Au, Mo/Au, Cr/Au, Ti/W, Ti/Al/N, Ni/Cr, Al/Au, Pt, Cr/Mo/Au, YBa2Cu3O7-d, Ni/Au, Ni/Mo, Ni/Mo/Au, Ni/Mo/Ag, Ni/Mo/Al, Ni/W, Ni/W/Au, Ni/W/Ag 및 Ni/W/Al 중에서 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 온도센서
|
6 |
6
삭제
|
7 |
7
삭제
|
8 |
8
제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 기판은,Si, SiO2, GaAs, Al2O3, 플라스틱, 유리, V2O5, PrBa2Cu3O7, YBa2Cu3O7, MgO, SrTiO3, Nb가 도핑된 SrTiO3 및 절연 박막 위의 실리콘(SOI) 중에서 어느 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 온도센서
|
9 |
9
제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 기판은 버퍼층을 포함하고,상기 버퍼층은 SiO2 또는 Si3N4막을 포함하는 것을 특징으로 하는 급격한 MIT 소자를 이용한 온도센서
|
10 |
10
경보기에 있어서,급격한 MIT(Metal-Insulator Transition) 소자를 구비한 온도센서; 및상기 온도센서와 직렬로 연결된 경보신호기;를 포함하는 경보기
|
11 |
11
제10 항에 있어서,상기 급격한 MIT 소자는 급격한 금속-절연체 전이 박막 및 상기 전이 박막에 컨택하는 적어도 2 개의 전극 박막을 구비하고,상기 MIT 소자는,상기 전이온도 이하에서는 절연체의 성질을 나타내고,상기 전이온도 이상에서는 금속의 성질을 나타내는 것을 특징으로 하는 경보기
|
12 |
12
제11 항에 있어서,상기 온도센서는 상기 전이온도 이상의 온도를 감지하여 상기 경보신호기로 신호를 전달하는 것을 특징으로 하는 경보기
|
13 |
13
제12 항에 있어서,상기 신호는 상기 전이온도에서 급격하게 변화된 전류인 것을 특징으로 하는 경보기
|
14 |
14
제10 항에 있어서,상기 경보신호기는 전기신호, 빛 및 소리 중 적어도 하나의 신호를 발생하는 소자 것을 특징으로 하는 경보기
|
15 |
15
제10 항에 있어서,상기 경보신호기는 상기 온도센서에 직렬연결된 발광 다이오드 또는 부저인 것을 특징으로 하는 경보기
|
16 |
16
제10 항에 있어서,상기 경보신호기는 상기 온도센서에 각각 직렬연결된 발광 다이오드 및 부저인 것을 특징으로 하는 경보기
|
17 |
17
경보기에 있어서,급격한 MIT(Metal-Insulator Transition) 소자를 구비한 온도센서; 상기 온도센서와 연결된 릴레이 스위치; 및상기 릴레이 스위치에 연결된 경보신호기;를 포함하는 경보기
|
18 |
18
제17 항에 있어서,상기 급격한 MIT 소자는 급격한 금속-절연체 전이 박막 및 상기 전이 박막에 컨택하는 적어도 2 개의 전극 박막을 구비하고,상기 급격한 MIT 소자는,상기 전이온도 이하에서는 절연체의 성질을 나타내고,상기 전이온도 이상에서는 금속의 성질을 나타내는 것을 특징으로 하는 경보기
|
19 |
19
제18 항에 있어서,상기 온도센서는 전이온도 이상의 온도를 감지하고 상기 릴레이 스위치를 연결함으로써, 상기 경보신호기로 신호를 전달하는 것을 특징으로 하는 경보기
|
20 |
20
제19 항에 있어서,상기 릴레이 스위치의 연결은, 상기 온도센서의 상기 전이온도 이상에서 급격하게 변화된 전류에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 경보기
|
21 |
21
제17 항에 있어서,상기 경보신호기는 전기신호, 빛 및 소리 중 적어도 하나의 신호를 발생하는 소자인 것을 특징으로 하는 경보기
|
22 |
22
제17 항에 있어서,상기 경보신호기는 상기 릴레이 스위치에 직렬연결된 발광 다이오드 또는 부저인 것을 특징으로 하는 경보기
|
23 |
23
제17 항에 있어서,상기 경보신호기는 상기 릴레이 스위치에 각각 직렬연결된 발광 다이오드 및 부저인 것을 특징으로 하는 경보기
|