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내부에 구멍을 갖는 외부 틀; 상기 외부 틀의 구멍 안에 위치하며, 내부에 구멍을 갖는 내부 틀; 상기 내부 틀의 구멍 안에 위치하는 광 반사수단; 상기 외부 틀의 내벽과 상기 내부 틀의 외벽 사이에 연결되어 상기 내부 틀을 지지하는 복수개의 제1 비틀림 복원수단; 상기 내부 틀의 내벽과 상기 광 반사수단 사이에 연결되어 상기 광 반사수단을 지지하는 복수개의 제2 비틀림 복원수단; 상기 광 반사수단에 연결된 내부 틀이 상기 제1 비틀림 복원수단을 축으로 회전하도록 정전 구동력을 주는 제1 콤형 정전 구동수단; 및 상기 광 반사수단이 상기 제2 비틀림 복원수단을 축으로 회전하도록 정전 구동력을 주는 제2 콤형 정전 구동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 광통신용 주사 미세거울
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제1 항에 있어서, 상기 광 반사수단의 평면은 사각형, 육각형, 팔각형, 원형 또는 타원형인 것을 특징으로 하는 광통신용 주사 미세거울
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제1 항에 있어서, 상기 제1 비틀림 복원수단 및 제2 비틀림 복원수단은 직선형, 종방향 미앤더(meander)형, 횡방향 미앤더형 또는 상기 종방향 미앤더형과 상기 횡방향 미앤더형의 복합형인 것을 특징으로 하는 광통신용 주사 미세거울
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제1 항에 있어서, 상기 복수개의 제1 비틀림 복원수단과 상기 복수개의 제2 비틀림 복원수단은 서로 직각을 이루도록 배치되는 것을 특징으로 하는 광통신용 주사 미세거울
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제1 항에 있어서, 상기 제1 콤형 정전 구동수단은 일단이 상기 외부 틀의 내벽에 연결되어 공기 중에 부양되어 있는 제1 고정 콤 및 일단이 상기 내부 틀의 외벽에 연결되어 공기 중에 부양되어 있으며 상기 제1 고정 콤과 깍지끼듯 엇갈리게 배치된 제1 회전 콤을 포함하는 것을 특징으로 하는 광통신용 주사 미세거울
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6
제1 항에 있어서, 상기 제2 콤형 정전 구동수단은 일단이 상기 내부 틀의 내벽에 연결되어 공기 중에 부양되어 있는 제2 고정 콤 및 일단이 상기 광 반사수단에 연결되어 공기 중에 부양되어 있으며 상기 제2 고정 콤과 깍지끼듯 엇갈리게 배치된 제2 회전 콤을 포함하는 것을 특징으로 하는 광통신용 주사 미세거울
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(a) 운용 실리콘층, 매몰된 실리콘 산화막 및 실리콘 소자층이 순차적으로 적층된 SOI 양면에 제1 상부 실리콘 산화막 및 하부 실리콘 산화막을 형성하는 단계; (b) 상기 제1 상부 실리콘 산화막상에 다결정 실리콘막을 증착하고, 제1 고정 콤, 제2 고정 콤, 제1 비틀림 복원수단, 외부 틀 및 내부 틀 중 제2 고정 콤이 연결되는 부분을 정의하는 마스크를 이용하여 상기 다결정 실리콘막을 패터닝하는 단계; (c) 전체구조 상부면에 제2 상부 실리콘 산화막을 증착하고, 잔존하는 상기 다결정 실리콘 막, 제1 회전 콤, 제2 회전 콤, 광 반사수단, 제2 비틀림 복원수단 및 내부 틀 중 제1 회전 콤이 연결되는 부분을 정의하는 마스크를 이용하여 상기 제2 상부 실리콘 산화막 및 상기 제1 상부 실리콘 산화막을 패터닝하는 단계; (d) 기판이 형성되는 부분을 정의하는 마스크를 이용하여 상기 하부 실리콘 산화막을 패터닝하는 단계; (e) 상기 제1 상부 실리콘 산화막을 마스크로 하여 상기 실리콘 소자층을 식각하는 단계; (f) 상기 제2 상부 실리콘 산화막을 제거하고, 잔존하는 상기 다결정 실리콘막을 마스크로 하여 상기 제1 상부 실리콘 산화막을 식각하고, 상기 실리콘 소자층을 마스크로 하여 상기 매몰된 실리콘 산화막을 식각하는 단계; (g) 상기 하부 실리콘 산화막을 마스크로 하여 상기 운용 실리콘층이 소정 두께를 갖도록 식각하는 단계; (h) 상기 다결정 실리콘막을 제거하고, 상기 다결정 실리콘막의 하부에 잔존한 상기 제1 상부 실리콘 산화막을 마스크로 하여 상기 실리콘 소자층을 식각하며, 상기 매몰된 실리콘 산화막을 마스크로 하여 상기 운용 실리콘층을 식각하는 단계; 및 (i) 상기 제1 상부 실리콘 산화막 및 상기 하부 실리콘 산화막을 제거하고, 잔존한 상기 실리콘 소자층을 마스크로 하여 매몰된 실리콘 산화막을 제거하고, 전체구조 상부면 및 하부면에 금속막을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광통신용 주사 미세거울의 제조방법
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제7 항에 있어서, 상기 (a) 단계에 있어서, 상기 운용 실리콘층의 두께는 100㎛ 내지 1000㎛ 이고, 상기 매몰된 실리콘 산화막의 두께는 0
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제7 항에 있어서, 상기 제1 상부 실리콘 산화막 및 제2 상부 실리콘 산화막의 두께는 0
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제7 항에 있어서, 상기 (g) 단계에 있어서, 상기 운용 실리콘층의 소정 두께는 1㎛ 내지 500㎛ 인 것을 특징으로 하는 광통신용 주사 미세거울의 제조방법
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제7 항에 있어서, 상기 (i) 단계에 있어서, 상기 금속막은 금, 알루미늄, 구리, 백금, 크롬, 티타늄, 티타늄-텅스텐 및 니켈 중 하나 또는 일부의 조합으로 이루어지고, 전체 두께가 10㎚ 내지 5㎛인 것을 특징으로 하는 광통신용 주사 미세거울의 제조방법
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