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상면에 작동유체를 저장하도록 형성된 저장부와, 상기 저장부와 소정간격으로 이격되어 상기 작동유체를 기화하도록 형성된 증발부 및 상기 증발부로부터 기화된 증기를 응축하도록 형성된 응축부를 구비하는 하부 플레이트; 및상기 하부 플레이트의 상면에 결합되고, 상기 증발부 및 상기 응축부와 일치하는 위치에 형성되어 상기 증발부로부터 기화된 증기를 상기 응축부로 이송되도록 증기유동통로를 갖는 증기공간부를 구비하는 상부 플레이트를 포함하되,상기 작동유체가 상기 저장부, 상기 증발부 및 상기 응축부를 통해 순환되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 루프형 마이크로 열이송 장치
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상면에 작동유체를 저장하도록 형성된 저장부와, 상기 저장부와 소정간격으로 이격되어 상기 작동유체를 기화하도록 형성된 증발부 및 상기 증발부로부터 기화된 증기를 응축하도록 형성된 응축부를 구비하는 하부 플레이트; 상기 하부 플레이트의 상면에 결합되고, 상기 증발부 및 상기 응축부와 일치되는 위치에 형성되어 상기 증발부로부터 기화된 증기를 상기 응축부로 이송되도록 증기유동통로를 갖는 증기공간부를 구비하는 중간 플레이트; 및상기 중간 플레이트의 상면에 결합되고, 플레이트에 응결되는 액체를 분산시키기 위한 마이크로 채널이 형성된 상부 플레이트를 포함하되,상기 작동유체가 상기 저장부, 상기 증발부 및 상기 응축부를 통해 순환되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 루프형 마이크로 열이송 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 상부 플레이트의 저면에 상기 작동유체가 상기 저장부, 상기 증발부 및 상기 응축부를 통해 순환되도록 액체유동통로가 형성되는 것을 특징으로 하는 루프형 마이크로 열이송 장치
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제 3 항에 있어서, 상기 액체유동통로가 상기 증발부의 일부분에 위치되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 루프형 마이크로 열이송 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 하부 플레이트의 상면에 상기 작동유체가 상기 저장부, 상기 증발부 및 상기 응축부를 통해 순환되도록 액체유동통로가 형성되는 것을 특징으로 하는 루프형 마이크로 열이송 장치
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6
제 2 항에 있어서, 상기 중간 플레이트에 상기 작동유체가 상기 저장부, 상기 증발부 및 상기 응축부를 통해 순환되도록 액체유동통로가 형성되는 것을 특징으로 하는 루프형 마이크로 열이송 장치
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7
제 2 항, 제 4 항 및 제 6 항중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 액체유동통로는 상기 증기유동통로를 중심으로 양측에 한 쌍의 라인이 형성되도록 'ㄷ'자 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 루프형 마이크로 열이송 장치
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8
제 2 항, 제 4 항 및 제6항중 어느 하나의 항에 있어서,, 상기 액체유동통로는 상기 증기유동통로를 중심으로 일측에 하나의 라인이 형성되도록 'ㄴ'자 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 루프형 마이크로 열이송 장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 상부 플레이트 및 상기 하부 플레이트의 재질은 실리콘, 유리, 동, 폴리머 및 알루미늄 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 루프형 마이크로 열이송 장치
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10
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 상부 플레이트 및 상기 하부 플레이트는 그 내부를 밀폐하도록 결합되는 것을 특징으로 하는 루프형 마이크로 열이송 장치
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11
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 증발부 및 상기 응축부는 다채널의 모세관 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 루프형 마이크로 열이송 장치
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12
제 11 항에 있어서, 상기 증발부 및 상기 응측부는 적어도 하나의 단차를 갖는 다채널의 모세관 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 루프형 마이크로 열이송 장치
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13
제 2 항에 있어서, 상기 응축부는 사형 구조의 채널로 이루어진 것을 특징으로 하는 루프형 마이크로 열이송 장치
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14
제 2 항에 있어서, 상기 증발부의 양측면에 액체 저장부를 두는 것을 특징으로 하는 루프형 마이크로 열이송 장치
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