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레이저 변위 센서를 이용하여 마스크와 기판 사이의간격을 측정하는 간격 측정 장치 및 그 방법

  • 기술번호 : KST2015087630
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 간격 측정 장치 및 그 방법을 제공한다. 본 발명은 일정 간격 떨어져 있는 마스크와 기판 상부에 위치하고, 상기 마스크와 기판 상에서 수평이동하면서 레이저빔을 발사하고 상기 마스크와 기판에서 각각 반사되어 돌아오는 레이저빔의 수광위치를 근거로 측정한 거리값의 변화로 상기 마스크와 기판 사이의 간격을 측정하는 레이저 변위 센서를 포함한다. 이상과 같이 본 발명은 마스크와 기판 사이의 간격을 레이저 변위 센서를 이용하여 원하는 위치에서 간단하게 마스크와 기판 사이의 간격을 측정할 수 있다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020030021406 (2003.04.04)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0520305-0000 (2005.10.04)
공개번호/일자 10-2004-0087142 (2004.10.13) 문서열기
공고번호/일자 (20051013) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.04.04)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 곽창수 대한민국 대전광역시유성구
2 임을균 대한민국 서울특별시중구
3 김대용 대한민국 대전광역시중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)
2 이해영 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.04.04 수리 (Accepted) 1-1-2003-0120685-21
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.04.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0183600-98
3 의견서
Written Opinion		 2005.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2005-0249256-63
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.05.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0249257-19
5 의견서
Written Opinion		 2005.05.25 수리 (Accepted) 1-1-2005-0275769-27
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.05.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0275771-19
7 등록결정서
Decision to grant		 2005.09.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0447783-48
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
일정 간격 떨어져 있는 마스크와 기판 상부에 위치하고, 상기 마스크와 기판 상에서 수평이동하면서 레이저빔을 발사하고 상기 마스크와 기판에서 각각 반사되어 돌아오는 레이저빔의 수광 위치를 근거로 측정한 거리값의 변화로 상기 마스크와 기판 사이의 간격을 측정하는 레이저 변위 센서; 상기 레이저 변위 센서와 마스크 및 기판 사이의 수직 거리(Z방향 거리)를 조정할 수 있는 Z방향 이송부; 상기 레이저 변위 센서를 상기 마스크 및 기판과 평행한 평면상에서 가로 방향(X 방향)으로 이동할 수 있게 하는 X방향 이송부; 및 상기 레이저 변위 센서를 상기 마스크 및 기판과 평행한 평면상에서 세로 방향(Y방향)으로 이동할 수 있게 하는 Y방향 이송부로 구성되는 것을 특징으로 하는 간격 측정 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 레이저 변위 센서에는 상기 레이저 변위 센서가 간격을 측정하고 있는 상기 마스크 상의 위치를 시각적으로 확인할 수 있도록 영상 획득 장치가 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 간격 측정 장치
3 3
제2항에 있어서, 상기 영상 획득 장치에는 상기 영상 획득 장치에서 얻어진 영상을 표시할 수 있는 디스플레이 장치가 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 간격 측정 장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 레이저 변위 센서가 측정한 측정값을 저장하여 상기 마스크와 기판 사이의 간격을 계산하는 기능을 수행하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 간격 측정 장치
5 5
삭제
6 6
일정 간격 떨어져 있는 마스크 및 기판 상부의 일정 위치로 레이저 변위 센서를 이동시키는 단계; 상기 레이저 변위 센서의 작동 거리에 맞도록, 상기 마스크나 기판과 상기 레이저 변위 센서 사이의 수직 거리를 조정하는 단계; 상기 레이저 변위 센서를 이용하여 상기 마스크를 통과하여 상기 기판 윗면쪽으로 레이저빔을 발사하고 상기 기판 윗면에서 반사되어 돌아오는 레이저빔의 수광 위치를 근거로 제1 거리값을 측정하는 단계; 상기 레이저 변위 센서를 이용하여 상기 마스크의 아랫면에 위치하는 마스크 패턴쪽으로 레이저빔을 발사하고 상기 마스크 패턴에서 반사되어 돌아오는 레이저빔의 수광 위치를 근거로 제2 거리값을 측정하는 단계; 및 상기 제1 거리값과 제2 거리값의 차이로 상기 마스크와 기판 사이의 간격을 결정하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 간격 측정 방법
7 6
일정 간격 떨어져 있는 마스크 및 기판 상부의 일정 위치로 레이저 변위 센서를 이동시키는 단계; 상기 레이저 변위 센서의 작동 거리에 맞도록, 상기 마스크나 기판과 상기 레이저 변위 센서 사이의 수직 거리를 조정하는 단계; 상기 레이저 변위 센서를 이용하여 상기 마스크를 통과하여 상기 기판 윗면쪽으로 레이저빔을 발사하고 상기 기판 윗면에서 반사되어 돌아오는 레이저빔의 수광 위치를 근거로 제1 거리값을 측정하는 단계; 상기 레이저 변위 센서를 이용하여 상기 마스크의 아랫면에 위치하는 마스크 패턴쪽으로 레이저빔을 발사하고 상기 마스크 패턴에서 반사되어 돌아오는 레이저빔의 수광 위치를 근거로 제2 거리값을 측정하는 단계; 및 상기 제1 거리값과 제2 거리값의 차이로 상기 마스크와 기판 사이의 간격을 결정하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 간격 측정 방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US07009197 US 미국 FAMILY
2 US20040195530 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2004195530 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US7009197 US 미국 DOCDBFAMILY
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