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SOI(Silicon-On-Insulator) 기판의 활성 실리콘층에 제공되는 제1 도전형-LDMOS(Lateral Double-diffused Metal Oxide Semiconductor) 트랜지스터, 제2 도전형-LDMOS 트랜지스터와 및 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 트랜지스터를 구비한 전력 집적회로에 있어서, 상기 제1 도전형-LDMOS 트랜지스터가 상기 활성 실리콘층 내의 깊은 제2 도전형 웰에 RESURF(REduced-SURface Field)형으로 제공되며, 상기 제2 도전형-LDMOS 트랜지스터가 상기 활성 실리콘층 내의 깊은 제2 도전형 웰에 비-RESURF형으로 제공되는 것을 특징으로 하는 전력 집적회로
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제1항에 있어서, 상기 제1 도전형-LDMOS 트랜지스터가, 상기 깊은 제2 도전형 불순물 웰에 제공되는 제2 도전형 불순물 웰; 상기 깊은 제2 도전형 불순물 웰에 제공되는 제1 도전형 불순물 드리프트; 상기 제2 도전형 불순물 웰에 제공되는 고농도의 제2 도전형 불순물 접합, 고농도의 제1 도전형 불순물 접합 및 고농도의 제1 도전형 불순물 보조 접합; 상기 제1 도전형 불순물 드리프트에 제공되는 제1 도전형 불순물 보조 드리프트; 및 상기 제1 도전형 불순물 보조 드리프트에 제공되는 고농도의 제1 도전형 불순물 접합을 구비하는 것을 특징으로 하는 전력 집적회로
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제1항에 있어서, 상기 제2 도전형-LDMOS 트랜지스터가, 상기 깊은 제2 도전형 불순물 웰에 제공되는 제1 도전형 불순물 웰; 상기 깊은 제2 도전형 불순물 웰에 제공되는 제2 도전형 불순물 보조 드리프트; 상기 제1 도전형 불순물 웰에 제공되는 고농도의 제1 도전형 불순물 접합 및 고농도의 제2 도전형 불순물 접합; 및 상기 제2 도전형 불순물 보조 드리프트에 제공되는 고농도의 제2 도전형 불순물 접합을 구비하는 것을 특징으로 하는 전력 집적회로
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SOI(Silicon-On-Insulator) 기판의 활성 실리콘층에 제공되는 제1 도전형-LIGBT(Lateral Insulated Gate Bipolar Transistor), 제2 도전형-LIGBT, CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 트랜지스터를 구비한 전력 집적회로에 있어서, 상기 제1 도전형-LIGBT가 상기 활성 실리콘층 내의 깊은 제2 도전형 웰에 RESURF(REduced-SURface Field)형으로 제공되며, 상기 제2 도전형-LIGBT가 상기 활성 실리콘층 내의 깊은 제2 도전형 웰에 비-RESURF(REduced-SURface Field)형으로 제공되는 것을 특징으로 하는 전력 집적회로
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제4항에 있어서, 상기 제1 도전형-LIGBT가, 상기 깊은 제2 도전형 불순물 웰에 제공되는 제2 도전형 불순물 웰; 상기 깊은 제2 도전형 불순물 웰에 제공되는 제1 도전형 불순물 드리프트; 상기 제2 도전형 불순물 웰에 제공되는 고농도의 제2 도전형 불순물 접합, 고농도의 제1 도전형 불순물 접합, 고농도의 제1 도전형 불순물 보조 접합; 상기 제1 도전형 불순물 드리프트에 제공되는 제1 도전형 불순물 보조 드리프트; 및 상기 제1 도전형 불순물 보조 드리프트에 제공되는 고농도의 제2 도전형 불순물 접합을 구비하는 것을 특징으로 하는 전력 집적회로
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제4항에 있어서, 상기 제2 도전형-LIGBT가, 상기 깊은 제2 도전형 불순물 웰에 제공되는 제1 도전형 불순물 웰; 상기 깊은 제2 도전형 불순물 웰에 제공되는 제2 도전형 불순물 보조 드리프트; 상기 제1 도전형 불순물 웰에 제공되는 고농도의 제1 도전형 불순물 접합 및 고농도의 제2 도전형 불순물 접합; 및 상기 제2 도전형 불순물 보조 드리프트에 제공되는 고농도의 제1 도전형 불순물 접합을 구비하는 것을 특징으로 하는 전력 집적회로
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제4항에 있어서, 상기 제2 도전형-LIGBT가, 상기 깊은 제2 도전형 불순물 웰에 제공되는 제1 도전형 불순물 웰; 상기 깊은 제2 도전형 불순물 웰에 제공되는 제2 도전형 불순물 보조 드리프트; 상기 제1 도전형 불순물 웰에 제공되는 고농도의 제1 도전형 불순물 접합 및 고농도의 제2 도전형 불순물 접합; 및 상기 제2 도전형 불순물 보조 드리프트에 제공되는 고농도의 제1 도전형 불순물 접합을 구비하는 것을 특징으로 하는 전력 집적회로
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