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박막 증착 장치

  • 기술번호 : KST2015087799
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 박막 증착 장치를 개시한다. 그의 장치는, 필름 또는 평판 상에 제 1 플라즈마를 유도하는 적어도 하나의 스퍼터 건을 포함하는 공정 챔버와, 상기 공정 챔버의 일측에 제공되고, 상기 공정 챔버에 상기 필름 또는 상기 평판을 각각 로딩하는 제 1 및 제 2 로딩 챔버들을 포함하는 로딩부와, 상기 로딩부에 대향되는 상기 공정 챔버의 타측에 제공되고, 상기 공정 챔버에서 상기 필름 또는 상기 평판을 각각 언로딩하는 제 1 및 제 2 로딩 챔버들을 포함하는 언로딩부를 포함한다. 여기서, 상기 공정 챔버의 양측에서 상기 제 1 로딩 챔버와 상기 제 1 언로딩 챔버, 또는 상기 제 2 로딩 챔버와 상기 제 2 언로딩 챔버가 연결되도록 구성될 수 있다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/50 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01) C23C 14/20 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020100105303 (2010.10.27)
출원인 한국전자통신연구원, 김영신
등록번호/일자 10-1512132-0000 (2015.04.08)
공개번호/일자 10-2012-0061147 (2012.06.13) 문서열기
공고번호/일자 (20150415) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.10.27)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 김영신 대한민국 대전광역시 서구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정우석 대한민국 대전광역시 유성구
2 김영신 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오세준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)(특허법인 고려)
2 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
3 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 김영신 대한민국 대전광역시 서구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2010-0697328-55
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.11.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.12.17 수리 (Accepted) 9-1-2013-0104703-90
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.01.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0005139-21
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2014-0206156-65
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.03.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0206155-19
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2014.06.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0419024-23
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.08.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-0789943-43
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.08.20 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0789944-99
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0858331-65
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.01.15 수리 (Accepted) 1-1-2015-0042850-76
12 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2015.01.15 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0042851-11
13 보정요구서
Request for Amendment
2015.01.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0017438-85
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
15 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2015.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2015-0115293-34
16 등록결정서
Decision to Grant Registration
2015.03.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0157848-94
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
필름 또는 평판의 박막 증착 공정이 수행되는 공정 챔버;상기 공정 챔버의 일측에 제공되고, 상기 공정 챔버에 상기 필름 또는 상기 평판을 각각 로딩하는 제 1 및 제 2 로딩 챔버들을 포함하는 로딩부; 및상기 로딩부에 대향되는 상기 공정 챔버의 타측에 제공되고, 상기 공정 챔버에서 상기 필름 또는 상기 평판을 각각 언로딩하는 제 1 및 제 2 언로딩 챔버들을 포함하는 언로딩부를 포함하되,상기 제 1 로딩 챔버와 상기 제 1 언로딩 챔버는 상기 필름의 박막 증착 공정 시에 상기 필름을 상기 공정 챔버에 로딩 및 언로딩하도록 상기 공정 챔버의 양측에 각각 결합되고,상기 제 2 로딩 챔버와 상기 제 2 언로딩 챔버는 상기 제 1 로딩 챔버 및 상기 제 1 언로딩 챔버 각각에 인접하는 상기 공정 챔버의 양측에 배치되고, 상기 평판의 상기 박막 증착 공정 시에 상기 평판을 상기 공정 챔버에 로딩 및 언로딩하도록 상기 공정 챔버의 양측에 각각 결합되고, 상기 공정 챔버는:상기 평판 또는 상기 필름 아래에 배치되어 제 1 플라즈마를 유도하는 복수개의 스퍼터 건들;상기 스퍼터 건들 각각의 양측 가장자리에 배치되어 상기 제 1 플라즈마와 다른 제 2 플라즈마들을 유도하는 복수개의 유도 결합 플라즈마 튜브들;상기 로딩부와 상기 언로딩부에 각각 인접하여 상기 스퍼터 건들 양측 상에 배치되고, 상기 평판 또는 상기 필름을 이동시키는 복수개의 이송 롤러들;상기 이송 롤러들 사이의 상기 스퍼터 건들에 대향하여 상기 평판 또는 상기 필름 상에 배치되고 상기 평판 또는 상기 필름을 가열하는 상부 히터;상기 상부 히터 아래의 상기 복수개 이송 롤러들 사이에 배치되고, 상기 상부 히터에 의해 가열되는 평판의 변형을 최소화하기 위해 상기 평판 또는 상기 필름을 지지하는 지지 롤러;상기 이송 롤러들과 상기 스퍼터 건들 사이에 배치되어 상기 평판 또는 상기 필름이 상기 스퍼터 건들에 노출되는 영역을 정의하는 셔터들; 및상기 지지 롤러와 상기 유도 결합 플라즈마 튜브들 사이에 배치되어 상기 제 2 플라즈마들로부터 상기 지지 롤러를 보호하고, 상기 유도 결합 플라즈마 튜브들 사이에 제공되어 상기 스퍼터 건들 사이의 상기 제 2 플라즈마들을 분리하는 V자 모양을 갖는 보호갓을 포함하는 박막 증착 장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 복수개의 이송 롤러들은 각각 복수개의 수평 롤러들과, 상기 복수개의 수평 롤러들 사이의 아래에 배치된 수직 롤러를 포함하는 박막 증착 장치
5 5
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6 6
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7 7
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8 8
제 1 항에 있어서, 상기 공정 챔버는 상기 평판 및 상기 필름을 세정하는 예비 챔버와, 상기 예비 챔버와 연통되며 상기 평판 및 상기 필름 상에 박막을 증착하는 증착 챔버를 포함하는 박막 증착 장치
9 9
제 1 항에 있어서,상기 공정 챔버는 상기 보호 갓과 상기 셔터들 사이에 배치되어 상기 제 1 플라즈마보다 확장된 제 2 플라즈마를 유도하는 복수개의 유도 결합 플라즈마 튜브들을 더 포함하는 박막 증착 장치
10 10
제 1 항에 있어서,상기 제 1 로딩 챔버는 상기 필름을 풀어주는 권출 롤러를 더 포함하고, 상기 제 1 언로딩 챔버는 상기 필름을 감는 권취 롤러를 더 포함하는 박막 증착 장치
11 11
제 10 항에 있어서,상기 제 1 로딩 챔버 및 상기 제 1 언로딩 챔버 각각은 상기 필름의 이송방향을 변화시키는 복수개의 필름 방향전환 롤러와, 상기 복수개의 필름 방향전환 롤러들 사이의 상기 필름을 열처리하는 히터들을 더 포함하는 박막 증착 장치
12 12
제 1 항에 있어서,상기 제 2 로딩 챔버 및 상기 제 2 언로딩 챔버 각각은 상기 평판을 탑재하여 승하강시키는 카세트 엘리베이터를 더 포함하는 박막 증착 장치
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US20120103259 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2012103259 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.