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절연층의 위 및 아래에 각각 형성된 도전층 및 도전 라인;상기 도전 라인의 일단에 연결된 안테나;상기 도전 라인의 타단에 연결된 저항;상기 도전 라인에 연결되고, 상기 도전층 및 상기 절연층과 함께 제 1 커패시터를 구성하는 제 1 도전판; 및상기 도전 라인과 상기 도전층 사이에 연결되고, 제 1 목표 물질의 검출에 따라 변화되는 임피던스를 갖는 제 1 감지 소자를 포함하는 무선 주파수 식별 태그
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 도전판 및 상기 제 1 감지 소자는,상기 도전 라인의 일단과 상기 타단 사이의 제 1 지점에서 상기 도전 라인과 연결되는 무선 주파수 식별 태그
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 감지 소자는,상기 도전 라인의 제 1 지점에 연결된 제 1 전극;상기 절연층을 관통하는 컨택 플러그를 통해 상기 도전층과 연결된 제 2 전극; 및상기 제 1 및 제 2 전극들 사이에 형성되고, 상기 제 1 목표 물질의 검출에 따라 변화되는 임피던스를 갖는 감지 물질을 포함하는 무선 주파수 식별 태그
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제 3 항에 있어서,상기 도전층을 덮는 제 1 보호층; 그리고상기 안테나, 도전 라인, 저항, 및 제 1 감지 소자의 위에 형성되며, 상기 감지 물질을 노출하는 제 2 보호층을 더 포함하는 무선 주파수 식별 태그
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제 4 항에 있어서,상기 감지 물질은 상기 제 1 목표 물질의 검출에 따라 변화되는 저항값을 갖는 무선 주파수 식별 태그
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6
제 4 항에 있어서,상기 감지 물질은 상기 제 1 목표 물질의 검출에 따라 변화되는 유전율을 갖는 무선 주파수 식별 태그
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7
제 2 항에 있어서,상기 제 1 감지 소자에 의해 상기 제 1 목표 물질이 검출되지 않을 때 상기 도전 라인의 제 1 지점에서 반사율이 최대가 되도록 상기 제 1 커패시터 및 제 1 감지 소자의 임피던스가 설정되는 무선 주파수 식별 태그
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8
제 2 항에 있어서,상기 안테나로부터 상기 도전 라인의 제 1 지점까지의 거리는 상기 무선 주파수 식별 태그에서 사용되는 무선 주파수의 파장의 k배(k는 0보다 큰 정수)인 무선 주파수 식별 태그
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9
제 2 항에 있어서,상기 안테나로부터 상기 도전 라인의 제 1 지점까지의 거리는 상기 무선 주파수 식별 태그에서 사용되는 무선 주파수의 파장의 k배(k는 2의 제곱수의 역수)인 선 주파수 식별 태그
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10
제 2 항에 있어서,상기 도전 라인의 제 1 지점을 기준으로 상기 안테나의 반대 방향에 위치한 상기 도전 라인의 제 2 지점에 연결되고, 상기 도전층 및 상기 절연층과 함께 제 2 커패시터를 구성하는 제 2 도전판; 및상기 도전 라인의 제 2 지점과 상기 도전층 사이에 연결되고, 제 2 목표 물질의 검출에 따라 변화되는 임피던스를 갖는 제 2 감지 소자를 더 포함하는 무선 주파수 식별 태그
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11
제 10 항에 있어서,상기 제 2 감지 소자에 의해 상기 목표 물질이 검출되지 않을 때 상기 도전 라인의 제 2 지점에서 반사율이 최대가 되도록 상기 제 2 커패시터 및 제 2 감지 소자의 임피던스가 설정되는 무선 주파수 식별 태그
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