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주기가 다른 격자들을 하나의 기판위에 동시에 제작하는 광학장 치

  • 기술번호 : KST2015088233
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광통신 및 광교환에서 사용되는 파장분할 다중방식을 위한 광소자를 제작하는 광학장치에 관한 것으로서, 1000 ㎚ 이상의 분해능을 갖는 하나의 광분배 수단을 이용하여 1.0 ㎚ 이하의 격자주기 차이를 갖는 격자 어레이를 하나의 기판에 동시에 제작하는 데에 그 목적이 있다. 본 발명에 따른 광학장치는 레이저와 같은 간섭성이 있는 자외선 노출광을 이용하여 주기가 다른 격자들을 하나의 기판 위에 동시에 제작하는데, 윈도우 수단과 광분배 수단과 광굴절 수단과 광회절 수단으로 구성된다. 윈도우 수단은 자외선 노출광이 통과할 두 개의 사각 구멍을 갖고 있고, 광분배 수단은 윈도우 수단의 바로 밑에 밀착되어 노출광을 분배하며, 광굴절 수단은 노출광들을 굴절시키고, 광회절 수단은 광굴절 수단과 밀착되어 노출광을 회절시킨다. 그리하여 빛은 기판에 모아져서 패턴을 형성한다.
Int. CL G02B 27/44 (2006.01)
CPC G02B 27/44(2013.01)
출원번호/일자 1019960039265 (1996.09.11)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0199030-0000 (1999.03.03)
공개번호/일자 10-1998-0020691 (1998.06.25) 문서열기
공고번호/일자 (19990615) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 불수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1996.09.11)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송석호 대한민국 대전광역시 유성구
2 이일항 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
3 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
1996.09.11 수리 (Accepted) 1-1-1996-0137567-84
2 출원심사청구서
Request for Examination
1996.09.11 수리 (Accepted) 1-1-1996-0137569-75
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1996.09.11 수리 (Accepted) 1-1-1996-0137568-29
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1997.03.10 수리 (Accepted) 1-1-1996-0137570-11
5 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1997.08.26 수리 (Accepted) 1-1-1996-0137571-67
6 등록사정서
Decision to grant
1998.12.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1996-0465622-40
7 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent
1999.03.10 수리 (Accepted) 1-1-1999-5105836-19
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

레이저와 같은 간섭성이 있는 자외선 노출광을 이용하여 주기가 다른 격자들을 하나의 기판 위에 동시에 제작하는 광학장치에 있어서, 상기 자외선 노출광이 통과할 두 개의 사각 구멍을 갖고 있는 윈도우 수단; 상기 윈도우 수단의 바로 밑에 밀착되어 상기 윈도우 수단을 통과한 상기 자외선 노출광을 각각 복수개의 서로 다른 진행각도를 갖고 동일한 광세기를 갖는 노출광으로 분해하는 광분배 수단; 상기 광분배 수단을 통하여 분배된 상기 자외선 노출광들을 굴절시켜 상기 두 개의 사각 구멍을 통과한 각각의 자외선 노출광들을 상기 기판에 집적시켜 줄무늬 패턴들을 생성시키는 광굴절 수단; 및 상기 광굴절 수단과 밀착되어 상기 광굴절 수단을 통과한 상기 자외선 노출광을 회절시키는 광회절 수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 주기가 다른 격자들을 하나의 기판 위에 동시에 제작하는 광학장치

2 2

제1항에 있어서, 상기 광굴절 수단과 상기 기판 사이의 거리가 상기 광굴절 수단의 초점거리와 같은 것을 특징으로 하는 주기가 다른 격자들을 하나의 기판 위에 동시에 제작하는 광학장치

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