요약 | 본 발명의 병렬 분기 구조의 나선형 인덕터는, 절연막을 사이에 두고 하부에 형성된 하부 금속 라인 및 상부에 형성된 상부 금속 라인을 포함한다. 이 하부 금속 라인 및 상부 금속 라인은 절연막을 관통하는 비아 컨택에 의해 상호 연결되도록 배치된다. 상부 금속 라인은, 외곽에서부터 중앙을 향하여 나선형으로 돌면서 돌아가도록 형성된다. 하부 금속 라인은, 비아 컨택홀 사이에서 상부 금속 라인과 교차하면서 상호 평행하도록 배치된 복수개의 제1 하부 금속 라인들, 및 상부 금속 라인과 평행하도록 배치되며, 제1 하부 금속 라인들과는 직접 연결되고 상부 금속 라인과는 비아 컨택을 통하여 전기적으로 병렬 연결되도록 배치되는 제2 하부 금속 라인하부 금속 라인을 포함한다. |
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Int. CL | H01L 27/04 (2006.01) |
CPC | |
출원번호/일자 | 1020010050742 (2001.08.22) |
출원인 | 한국전자통신연구원 |
등록번호/일자 | 10-0420948-0000 (2004.02.19) |
공개번호/일자 | 10-2003-0017746 (2003.03.04) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20040302) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2001.08.22) |
심사청구항수 | 2 |