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캔티레버형정전력구동마이크로릴레이구조및제작방법

  • 기술번호 : KST2015088540
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 10V이하의 저전압에서 작동이 가능하고, 응답속도가 100㎲ec이하인 고속 캔티레버(Cantilever)형 정전력 구동 마이크로 릴레이 구조 및 제작방법에 관한 것으로 마이크로 머시닝 기술을 이용하여 저전압(10V이항), 고속 응답성(100㎲ec)특성을 갖도록 하기 위하여 마이크로 릴레이구조는 SiO2절연체상에 전극금속박막이 형성된 캔티레버(Cantilever)형태이고 10V이하의 저전압으로 구동하기 위하여 전극간 거리를 2㎛정도를 하고, 실장시 사용되는 상부 덮개판을 캔티레버(Cantilever)를 하부방향으로 변형하여 구동발생력을 극대화할 수 있도록 하여 릴레이의 접점의 저저항 유지 및 작동수평 증가를 위해서 상부 덮개판에 액체금속인 수은을 사용함을 특징으로 한다.
Int. CL H01H 59/00 (2006.01)
CPC H01H 59/0009(2013.01)
출원번호/일자 1019930029625 (1993.12.24)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0117346-0000 (1997.07.01)
공개번호/일자 10-1995-0020834 (1995.07.24) 문서열기
공고번호/일자 1019970004214 (19970326) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1993.12.24)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박경호 대한민국 대전직할시유성구
2 안근영 대한민국 대전직할시유성구
3 남기수 대한민국 대전직할시유성구
4 강상원 대한민국 대전직할시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1993.12.24 수리 (Accepted) 1-1-1993-0148361-29
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1993.12.24 수리 (Accepted) 1-1-1993-0148360-84
3 특허출원서
Patent Application		 1993.12.24 수리 (Accepted) 1-1-1993-0148359-37
4 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 1994.02.23 수리 (Accepted) 1-1-1993-0148362-75
5 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1997.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0070918-92
6 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.03.06 수리 (Accepted) 1-1-1993-0148363-10
7 등록사정서
Decision to grant		 1997.06.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0070919-37
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

3개의 기판부로 형성된 릴레이로서 평평한 형태의 캔티레버 이동전극(103)를 돌출부인 고정전극인 릴레이 접점전극(105)으로 하중을 주어 전극간의 거리 축소에 의해 구동전압을 저하하고 접점간의 접촉저항을 적게하기 위하여 상기 접점부에 액체수은(515)을 주입함을 특징으로 하는 캔티레버형 정전력 구동 마이크로 릴레이 구조

2 2

3개의 기판부로 형성된 릴레이로서 평평한 형태의 캔티레버 이동전극(103)를 돌출부인 고정전극인 릴레이 접점전극(105)으로 하중을 주어 전극간의 거리 축소에 의해 구동전압을 저하하고 접점간의 접촉저항을 적게하기 위하여 상기 접점부에 액체수은(515)을 주입하여 저장함을 특징으로 하는 캔티레버형 정전력 구동 마이크로 릴레이 제작방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.