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광학계(4)의 상 위치에 위치한 기준격자(1)와, 검사하고자 하는 광학계(4)의 배율과 기준격자(1)의 피치를 고려하여 제작되어 물체측 위치에 위치한 시편격자(2)와, 광학계(4)에 의해 상기한 시편격자(2)의 상이 상 위치에 위치한 기준격자(1) 위에 맺힐 때 모아레무늬가 생성되도록 빛을 비추기 위한 조명 광원(3)과, 상기한 기준격자(1)와 시편격자(2)에 의해 형성된 모아레무늬를 측정하기 위한 광검출기(5)와, 상기한 기준격자(1)를 이동시키기 위한 로타리 스테이지(6)를 포함하는 모아레무늬를 이용한 광학계의 성능 측정장치
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광학계의 상 위치에 기준격자(1)을 광축에 수직되게 위치시키는 단계;시편격자(2)를 광학계(4)의 물체 위치에 위치시키는 단계;조명광원(3)을 비추어 시편격자(2)가 광학계(4)에 의해 상 위치에 결상되게 하여 결상된 시편격자(2)의 상과 기준격자(1)에 의해 모아레무늬를 생성하는 단계;상기한 모아레무늬의 강도분포를 광검출기(5)를 이용하여 측정하는 단계;기준격자(1)가 놓인 로타리 스테이지(6)를 이동하면서 각 지점에서의 모아레무늬의 밝은 부분 강도와 어두운 부분의 강도를 측정하여 모아레무늬에 대한 강도분포의 차이가 최대인 지점을 찾는 단계를 포함하는 광학계의 초점거리 위치 측정방법
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광학계의 상 위치에 기준격자(1)을 광축에 수직되게 위치시키는 단계;시편격자(2)를 광학계(4)의 물체 위치에 위치시키는 단계;조명광원(3)을 비추어 시편격자(2)가 광학계(4)에 의해 상 위치에 결상되게 하여 결상된 시편격자(2)의 상과 기준격자(1)에 의해 모아레무늬를 생성하는 단계;상기한 모아레무늬의 강도분포를 광검출기(5)를 이용하여 측정하는 단계;기준격자(1)가 놓인 로타리 스테이지(6)를 이동하면서 각 지점에서의 모아레무늬의 밝은 부분 강도와 어두운 부분의 강도를 측정하여 모아레무늬에 대한 강도분포의 차이가 최대인 지점으로부터 광학계의 초점거리 위치를 구하는 단계;상기한 단계에 추출된 초점거리 위치로부터 모아레무늬의 피치를 측정하고, 이미 알고 있는 기준격자(1)의 피치를 이용하여 결상된 시편격자(2)의 피치를 계산하는 단계;실제 시편격자의 피치와 결상된 시편격자(2)의 피치의 관계로부터 구한 광학계 배율과 실제 광학계의 설계상의 배율과의 차이를 비교하는 단계를 포함하는 광학계의 배율오차 및 왜곡정도 측정방법
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제3항에 있어서, 광학계의 배율오차가 측정범위를 벗어난 경우, 기준격자(1)를 스테이지(6)를 이용하여 일정 각도 φ로 경사지게 하여 피치가 일정하지 않는 모아레무늬가 생성되게 한 다음, 여러 지점에서 모아레무늬의 피치을 측정하여 이를 기준격자(1)가 경사지지 않은 상태로 보정계산하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계의 배율오차 및 왜곡정도 측정방법
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