전자방출을 위한 음극을 갖는 미세진공소자의 제조 방법에 있어서, 기판(1) 위에 단결정 규소 미세결정과 상기 미세결정 사이의 비정질 규소로 이루어지며 표면은 미세 결정이 비정질 규소에 의해 매립되거나, 또는, 일부가 노출된 불순물이 도핑된 다결정 규소(2)를 저압화학적 기상 증착 방법으로 증착하는 공정과, 상기 다결정 규소(2)의 표면을 미세 결정 사이의 비정질 실리콘이 미세 결정을 이루는 단결정 실리콘 보다 빠르게 식각되도록 별도의 마스크 없이 식각하여 미세 결정을 이루는 단결 정규소를 돌출시키는 공정과, 상기 다결정 규소(2)의 상부에 상기 다결정 규소(2)를 길게 노출시키는 감광막 마스크를 형성하고 상기 다결정 규소(2)의 노출된 부분을 상기 기판(1)이 노출되도록 제거하여 다수 개의 서로 평행한 분리영역(3)을 형성하는 공정을 포함하는 미세전공소자의 음극 제조방법

제1항에 있어서, 상기 기판(1)이 절연체로 이루어진 미세진공소자의 음극 제조 방법

제1항에 있어서, 상기 기판(1)은 불순물이 도핑된 규소로 이루어진 미세 진공소자의 음극 제조방법

제3항에 있어서, 상기 기판(1) 상에 다결정 규소(2)를 증착하기에 앞서 절연막(4)을 형성하는 공정을 더 포함하는 미세 진공소자와 음극제조 방법

제1항에 있어서, 상기 기판(1) 상에 다결정 규소(2)를 증착하기에 앞서 절연막(4)과 도전체막(5)을 순차적으로 형성하는 공정을 더 포함하는 미세 진공소자의 음극 제조방법

제5항에 있어서, 상기 도전체막(5)을 전기전도도가 양호한 금속으로 형성하는 미세진공소자의 음극 제조방법

제6항에 있어서, 상기 분리영역(3) 형성시 다결정 규소(2)와 상기 도전체막(5)도 제거하는 미세진공소자의 음극제조 방법