| 1 |
1
실리콘 기판 상에 피식각될 영역을 노출시키는 식각 마스크 패턴을 형성하는 단계;노출된 상기 실리콘 기판을 건식 식각하여 복수의 트렌치들을 형성하는 단계;상기 트렌치들의 바닥면 및 내측면에 노출된 상기 실리콘 기판을 습식 식각으로 이방성 식각하여 실장부를 형성하는 단계;상기 실장부에 광섬유들을 안착시키는 단계; 및상기 실리콘 기판 상에 상기 안착된 광섬유들을 덮는 덮개판을 제공하여 상기 광섬유들을 고정시키는 단계를 포함하되,상기 실장부는:상기 실리콘 기판의 상부면에 대해 수직하고, 서로 마주보는 한 쌍의 측벽; 및상기 한 쌍의 측벽으로부터 아래로 연장되며, 서로 이웃하도록 형성되는 복수의 브이 홈들을 포함하는 광섬유 블록의 제조방법
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 광섬유들을 고정시키는 단계는:상기 광섬유들에 UV 경화용 에폭시를 도포하는 단계;상기 UV 경화용 에폭시가 도포된 상기 광섬유들을 덮도록 상기 덮개판을 제공하는 단계; 및상기 UV 경화용 에폭시에 UV를 조사하여 상기 광섬유들과 상기 덮개판 사이에 접착막을 형성하는 단계를 포함하는 광섬유 블록의 제조방법
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서,상기 브이 홈들은 상기 실리콘 기판의 상부면에 대해 54
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서,상기 브이 홈들에 광섬유들을 안착시키는 단계 전에, 상기 실리콘 기판 아래에 쿼츠 웨이퍼를 접합하는 것을 더 포함하는 광섬유 블록의 제조방법
|
| 6 |
6
기판의 상부면으로부터 리세스되어 일 방향으로 연장된 실장부;상기 실장부 내에 배치되는 광 섬유들;상기 기판 상에 배치되며, 상기 광 섬유들을 덮는 덮개판; 및상기 광 섬유들과 상기 덮개판 상에 개재된 접착층을 포함하되,상기 실장부는:상기 기판의 상부면에 대해 수직하고, 서로 마주보는 한 쌍의 측벽; 및상기 한 쌍의 측벽 사이에 배치되는 복수의 브이 홈들을 포함하고, 상기 브이 홈들은 상기 한 쌍의 측벽들로부터 아래로 연장되어, 서로 이웃하도록 형성되는 광섬유 블록
|
| 7 |
7
제 6 항에 있어서,상기 광 섬유들은 상기 브이 홈들 상에 배치되는 광 섬유 블록
|
| 8 |
8
제 6 항에 있어서,상기 브이 홈들은 상기 기판의 상기 상부면에 대해 54
|
| 9 |
9
제 6 항에 있어서,상기 광 섬유의 상부는 상기 기판의 상기 상부면 위로 돌출된 광 섬유 블록
|
| 10 |
10
제 6 항에 있어서,상기 기판은 실리콘 기판인 광 섬유 블록
|
