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레이저 빔에 의해 조사되는 제 1 면 및 하전 입자 빔이 방출되는 제 2 면을 갖는 타겟층; 및상기 타겟층의 상기 제 1 면에 부착되고, 상기 레이저 빔의 진행 경로로 사용되는 관통홀을 갖는 지지체를 포함하는 타겟 구조체
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청구항 1에 있어서, 상기 지지체는 상기 타겟층의 상기 제 2 면에 부착되어, 상기 관통홀은 상기 하전 입자 빔의 진행 경로로 사용되는 타겟 구조체
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청구항 1에 있어서, 상기 타겟층은 0
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청구항 1에 있어서, 상기 지지체는 단결정 구조의 물질을 포함하되, 상기 타겟층에 접하는 상기 지지체의 표면은 (100)면(a plane (100))을 갖는 타겟 구조체
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청구항 5에 있어서, 상기 관통홀은 상기 타겟층으로부터 멀어질수록 증가하는 폭을 갖는 영역을 포함하는 타겟 구조체
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청구항 1에 있어서, 상기 타겟층은 비활성 금속 물질들 중의 적어도 하나를 포함하는 타겟 구조체
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청구항 1에 있어서, 상기 타겟층과 상기 지지체 사이에 개재되는 중간층을 더 포함하되, 상기 중간층은 상기 타겟층을 노출시키는 중간 관통홀을 갖고, 상기 중간 관통홀은 상기 지지체의 관통홀에 정렬되는 타겟 구조체
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청구항 8에 있어서, 상기 타겟층은 비활성 금속 물질들, 알루미늄, 티타늄, 폴리메틸 메타크릴레이트(polymethyl methacrylate, PMMA), 폴리다이메틸실록산 (polydimethylsiloxane, PDMS), 폴리이미드(Polyimide), 포토레지스트(Photo resist) 또는 수소화된 비정질 실리콘(hydrogenated amorphous silicon) 중의 적어도 하나를 포함하는 타겟 구조체
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청구항 1에 있어서, 상기 타겟층은 서로 다른 물질로 형성되는 제 1 타겟층 및 제 2 타겟층을 포함하되, 상기 제 1 타겟층은 레이저 빔에 의해 조사되는 상기 제 1 면을 구성하고, 상기 제 2 타겟층은 하전 입자 빔이 방출되는 상기 제 2 면을 구성하는 타겟 구조체
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청구항 10에 있어서, 상기 제 2 타겟층은 상기 제 1 타겟층의 표면에 형성되는 서로 이격된 복수의 방출 패턴들을 구성하되, 상기 방출 패턴들 각각은 상기 관통홀보다 작은 폭을 갖는 타겟 구조체
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청구항 10에 있어서, 상기 제 1 타겟층은 금속 물질들 중의 적어도 하나로 형성되고, 상기 제 2 타겟층은 폴리메틸 메타크릴레이트(polymethyl methacrylate, PMMA), 폴리다이메틸실록산(polydimethylsiloxane, PDMS), 폴리이미드(Polyimide), 포토레지스트(Photo resist) 또는 수소화된 비정질 실리콘(hydrogenated amorphous silicon) 중의 적어도 하나로 형성되는 타겟 구조체
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타겟 구조체;상기 타겟 구조체에 레이저 빔을 조사하는 광원; 및상기 타겟 구조체로부터 방출되는 하전입자 빔을 생물학적 대상으로 가이드하는 가이딩 구조체를 포함하되, 상기 타겟 구조체는:상기 레이저 빔에 의해 조사되는 제 1 면 및 상기 하전 입자 빔이 방출되는 제 2 면을 갖는 타겟층; 및상기 타겟층의 상기 제 1 면에 부착되고, 상기 레이저 빔의 진행 경로로 사용되는 관통홀을 갖는 지지체를 포함하는 의료 기구
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청구항 13에 있어서, 상기 타겟층은 0
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청구항 13에 있어서, 상기 타겟층은 비활성 금속 물질들, 알루미늄, 티타늄, 폴리메틸 메타크릴레이트(polymethyl methacrylate, PMMA), 폴리다이메틸실록산 (polydimethylsiloxane, PDMS), 폴리이미드(Polyimide), 포토레지스트(Photo resist) 또는 수소화된 비정질 실리콘(hydrogenated amorphous silicon) 중의 적어도 하나를 포함하는 의료 기구
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청구항 13에 있어서, 상기 타겟층과 상기 지지체 사이에 개재되는 중간층을 더 포함하되, 상기 중간층은 상기 타겟층을 노출시키는 중간 관통홀을 갖고, 상기 중간 관통홀은 상기 지지체의 관통홀에 정렬되는 의료 기구
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청구항 13에 있어서, 상기 타겟층은 상기 레이저 빔이 조사되는 제 1 타겟층 및 상기 제 1 타겟층의 표면에 형성되는 서로 이격된 복수의 방출 패턴들을 포함하되, 상기 방출 패턴들 각각은 상기 지지체의 상기 관통홀보다 작은 폭을 갖는 의료 기구
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청구항 17에 있어서, 상기 제 1 타겟층은 금속 물질들 중의 적어도 하나로 형성되고,상기 방출 패턴들은 폴리메틸 메타크릴레이트(polymethyl methacrylate, PMMA), 폴리다이메틸실록산(polydimethylsiloxane, PDMS), 폴리이미드(Polyimide), 포토레지스트(Photo resist) 또는 수소화된 비정질 실리콘(hydrogenated amorphous silicon) 중의 적어도 하나로 형성되는 의료 기구
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청구항 13에 있어서, 상기 광원은 적어도 1018 W/cm2의 세기(intensity)를 갖는 레이저 빔을 상기 타겟층에 조사하도록 구성되는 의료 기구
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청구항 13에 있어서, 상기 가이딩 구조체는 상기 하전입자 빔을 가속시키는 가속기를 포함하는 의료 기구
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