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복수개의 기판을 로딩하는 로딩 챔버;상기 로딩 챔버에 연결되고, 상기 복수개의 기판들 상에서 제 1 플라즈마를 유도하는 복수개의 스퍼터 건들을 포함하는 제 1 공정 챔버;상기 로딩 챔버에 대향되는 제 1 공정 챔버의 타측에 연결된 버퍼 챔버; 및상기 제 1 플라즈마에 의한 처리 공정 중에 상기 복수개의 스퍼터 건들 사이로 상기 복수개의 기판들을 동시에 통과시키고, 상기 복수개의 기판들을 상기 제 1 공정 챔버에서 상기 버퍼 챔버까지 이송시키는 기판 이송 모듈을 포함하는 박막 증착 장치
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제 1 항에 있어서,상기 기판 이송 모듈은, 상기 제 1 공정 챔버에서 상기 버퍼 챔버까지 연결된 가이드 레일과, 상기 복수개의 기판들 파지하는 적어도 하나의 로봇 암과, 상기 가이드 레일을 따라 상기 로봇 암과 상기 복수개의 기판을 이송시키는 지지부를 포함하는 박막 증착 장치
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제 2 항에 있어서,상기 로봇 암은 상기 지지부 상에서 복수개의 기판들을 수직 및 수평으로 이동시키는 수직 암 및 수평 암과, 상기 수직 암 및 수평 암 각각의 말단에서 복수개의 기판들을 흡착하는 흡착 판들과, 상기 흡착 판들사이에 연결된 진공 배관들을 포함하는 박막 증착 장치
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제 3 항에 있어서,상기 흡착 판들은 상기 진공 배관들에서 제공되는 진공압으로 상기 복수개의 기판들을 흡착하는 빨판을 포함하는 박막 증착 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 공정 챔버에 대향되는 상기 버퍼 챔버의 타측에 연결되는 제 2 공정 챔버를 더 포함하는 박막 증착 장치
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제 5 항에 있어서,상기 버퍼 챔버에 대향되는 제 2 공정 챔버의 타측에 형성된 언로딩 챔버를 더 포함하는 박막 증착 장치
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제 6 항에 있어서,상기 언로딩 챔버와 상기 로딩 챔버 내에서 각각 복수개의 기판을 탑재하는 카세트를 더 포함하는 박막 증착 장치
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제 7 항에 있어서,상기 카세트에 탑재되는 복수개의 기판들을 상기 로딩 챔버 및 상기 언로딩 챔버 내에서 수평으로 이동시키고, 상기 로봇 암으로 반출 및 송출시키는 로더 및 언로더를 포함하는 박막 증착 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 공정 챔버는 상기 복수개의 스퍼터 건들과 상기 복수개의 기판들 사이에서 상기 제 1 플라즈마보다 확장된 제 2 플라즈마를 유도하는 복수개의 유도 결합 플라즈마 튜브들을 더 포함하는 박막 증착 장치
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제 9 항에 있어서,상기 복수개의 스퍼터 건들과, 상기 복수개의 유도 결합 플라즈마 튜브들은 상기 제 1 공정 챔버 내에서 상기 버퍼 챔버에 근접하여 배치되는 박막 증착 장치
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제 1 항에 있어서,상기 로딩 챔버 및 상기 제 1 공정 챔버 사이에서 개폐되는 제 1 게이트 밸브와, 상기 제 1 공정 챔버 및 상기 버퍼 챔버 사이에서 개폐되는 제 2 게이트 밸브를 더 포함하는 박막 증착 장치
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