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진공 용기의 일 단부에 구비되되, 전계 방출 에미터를 포함하는 캐소드 전극;상기 진공 용기가 연장되는 방향의 타 단부에 구비되는 애노드 전극; 및상기 캐소드 전극에 인접하는 상기 진공 용기의 외주면 상에 구비되는 게이트 전극을 포함하는 전계 방출 엑스선원
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제 1항에 있어서,상기 게이트 전극에 대응되는 상기 진공 용기의 내주면 상에 구비되는 게이트 전극용 내부 아크 방지층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 엑스선원
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제 2항에 있어서,상기 게이트 전극용 내부 아크 방지층은 전도성 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 엑스선원
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제 1항에 있어서,상기 게이트 전극을 덮도록 상기 진공 용기의 상기 외주면 상에 구비되는 게이트 전극용 외부 아크 방지층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 엑스선원
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제 4항에 있어서,상기 게이트 전극용 외부 아크 방지층은 절연성 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 엑스선원
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제 1항에 있어서,상기 게이트 전극이 구비되는 상기 진공 용기의 영역은 다른 영역보다 작은 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 전계 방출 엑스선원
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제 1항에 있어서,상기 전계 방출 에미터는 탄소 나노튜브 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 전계 방출 엑스선원
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제 1항에 있어서,상기 캐소드 전극에 전기적으로 연결되어 스위치 역할을 하는 트랜지스터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 엑스선원
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제 1항에 있어서,상기 캐소드 전극으로부터 상기 게이트 전극보다 먼 위치의 상기 진공 용기의 상기 외주면 상에 구비되는 집속 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 엑스선원
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제 9항에 있어서,상기 집속 전극에 대응되는 상기 진공 용기의 내주면 상에 구비되는 집속 전극용 내부 아크 방지층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 엑스선원
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11
제 9항에 있어서,상기 집속 전극용 내부 아크 방지층은 전도성 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 엑스선원
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제 9항에 있어서,상기 집속 전극을 덮도록 상기 진공 용기의 상기 외주면 상에 구비되는 집속 전극용 외부 아크 방지층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 엑스선원
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제 12항에 있어서,상기 집속 전극용 외부 아크 방지층은 절연성 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 엑스선원
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제 1항에 있어서,상기 진공 용기는 1 cm 미만의 단위의 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 전계 방출 엑스선원
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제 1항의 구조를 갖는 전계 방출 엑스선원의 구동 방법에 있어서,상기 애노드 전극을 접지하는 단계;상기 전계 방출 에미터를 포함하는 상기 캐소드 전극에 그의 드레인을 통해 전기적으로 연결된 트랜지스터의 소오스 및 게이트에 각각 음의 가속 전압 및 상기 음의 가속 전압과 이를 기준 전압으로 하는 양의 구동 펄스 신호를 인가하는 단계; 및상기 게이트 전극에 게이트 전압을 인가하는 단계를 포함하는 전계 방출 엑스선원의 구동 방법
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제 15항에 있어서,상기 트랜지스터의 상기 게이트에 상기 음의 가속 전압이 인가되면 상기 전계 방출 엑스선원이 구동되지 않는 것을 특징으로 하는 전계 방출 엑스선원의 구동 방법
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제 16항에 있어서,상기 트랜지스터의 상기 게이트에 상기 음의 가속 전압이 인가되면 상기 캐소드 전극이 플로팅되어 상기 전계 방출 에미터로부터의 전계 방출이 중지되는 것을 특징으로 하는 전계 방출 엑스선원의 구동 방법
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제 15항에 있어서,상기 게이트 전극은 상기 게이트 전압과 상기 음의 가속 전압과의 전압 차이를 이용하여 상기 전계 방출 에미터로부터 전계 방출을 유도하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 엑스선원의 구동 방법
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제 15항에 있어서,상기 전계 방출 엑스선원은 집속 전극을 더 포함하되,상기 집속 전극에 집속 전압을 인가하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 엑스선원의 구동 방법
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제 19항에 있어서,상기 집속 전극은 상기 집속 전압과 상기 음의 가속 전압과의 전압 차이를 이용하여 상기 전계 방출 에미터로부터 전계 방출에 의해 유도된 전자 빔을 상기 애노드 전극으로 집속하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 엑스선원의 구동 방법
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