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수용체 분자가 고정화된 채널 영역을 구비하는 전계효과트랜지스터를 준비하는 단계;검사용 시료 및 나노입자 컨쥬게이트를 상기 전계효과트랜지스터로 공급하여, 상기 채널 영역에 나노입자 컨쥬게이트를 형성하는 단계;상기 채널 영역 상에 프로브 물질을 성장시키는 단계; 및 상기 채널 영역을 흐르는 전류를 측정하는 단계를 포함하되, 상기 수용체 분자는 상기 검사용 시료에 포함될 수 있는 타겟 분자와 선택적으로 결합하는 물질인 미량 분석 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 나노입자 컨쥬게이트는 상기 타겟 분자에 선택적으로 결합하는 물질이고, 상기 프로브 물질은 상기 나노입자 컨쥬게이트에 선택적으로 결합하는 하전된(charged) 물질인 미량 분석 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 채널 영역에 나노입자 컨쥬게이트를 형성하는 단계는 상기 타겟 분자와 상기 수용체 분자 사이의 면역 반응을 이용하는 미량 분석 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 프로브 물질을 성장시키는 단계는 도금 공정을 사용하여 실시되는 미량 분석 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 나노입자 컨쥬게이트를 형성하는 단계 및 상기 프로브 물질을 성장시키는 단계는 습식의 환경에서 실시되는 미량 분석 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 전류를 측정하는 단계는, 상기 프로브 물질을 형성한 후, 건식 환경 아래에서 실시되는 미량 분석 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 전류를 측정하는 단계는, 상기 프로브 물질을 형성하기 전에 실시되는 제 1 전류 측정 단계; 및상기 프로브 물질을 형성한 후에 실시되는 제 2 전류 측정 단계를 포함하되, 상기 제 1 전류 측정 단계는 습식 또는 건식의 환경 아래에서 실시되고,상기 제 2 전류 측정 단계는 습식 또는 건식의 환경 아래에서 실시되는 미량 분석 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 타겟 분자는 바이오 분자이고, 상기 나노입자 컨쥬게이트 및 상기 프로브 물질은 금속성 원소를 포함하는 물질들인 미량 분석 방법
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수용체 분자가 고정화된 채널 영역을 구비하는 적어도 하나의 전계효과트랜지스터;검사용 시료 및 나노입자 컨쥬게이트를 공급하는 제 1 공급부;프로브 물질을 공급하는 제 2 공급부;상기 채널 영역을 흐르는 전류를 측정하는 측정부;상기 나노입자 컨쥬게이트가 상기 채널 영역에 형성되는 과정을 제어하는 제 1 반응 제어부; 및상기 프로브 물질이 상기 채널 영역에서 성장하는 과정을 제어하는 제 2 반응 제어부를 포함하는 미량 분석 시스템
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청구항 9에 있어서, 상기 전계효과트랜지스터는 실리콘을 상기 채널 영역으로 이용하도록 구성되는 미량 분석 시스템
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청구항 9에 있어서, 상기 전계효과트랜지스터는 탄소나노튜브를 상기 채널 영역으로 이용하도록 구성되는 미량 분석 시스템
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청구항 9에 있어서, 상기 전계효과 트랜지스터, 상기 측정부, 상기 제 1 및 제 2 공급부들, 상기 제 1 및 제 2 반응 제어부들은, 분리가능한, 제 1 모듈 및 제 2 모듈 중의 어느 하나를 구성하되, 상기 제 1 모듈은 상기 전계효과트랜지스터를 포함하고, 상기 제 2 모듈은 상기 제 2 공급부를 포함하는 미량 분석 시스템
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청구항 9에 있어서, 상기 수용체 분자는 상기 검사용 시료에 포함될 수 있는 타겟 분자와 선택적으로 결합하는 물질이고, 상기 나노입자 컨쥬게이트는 상기 타겟 분자에 선택적으로 결합하는 물질이고, 상기 프로브 물질은 상기 나노입자 컨쥬게이트에 선택적으로 결합하는 하전된(charged) 물질인 미량 분석 시스템
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청구항 9에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 공급부들, 상기 제 1 및 제 2 반응 제어부들 그리고 상기 측정부의 동작을 제어하는 주제어부를 더 포함하는 미량 분석 시스템
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청구항 9에 있어서, 상기 적어도 하나의 전계효과트랜지스터는 독립적으로 동작하도록 구성된 복수의 트랜지스터들을 구비하되, 상기 트랜지스터들 각각은 소오스 전극, 드레인 전극 및 이들 사이의 실리콘 패턴을 포함하는 미량 분석 시스템
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