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비어 전극의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015089295
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 생산성 및 생산수율을 증대 또는 극대화할 수 있는 비어 전극의 제조방법을 개시한다. 그의 제조 방법은, 기판에 비어 홀을 형성하는 단계와, 상기 비어 홀의 측벽 및 바닥에 촉매 층을 형성하는 단계와, 상기 촉매 층을 그라핀 입자들이 혼합된 용액(solution)에 노출시켜, 상기 비어 홀 내에 그라핀 층을 형성하는 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 21/28 (2006.01) H01L 21/3205 (2006.01)
CPC H01L 21/76877(2013.01) H01L 21/76877(2013.01) H01L 21/76877(2013.01) H01L 21/76877(2013.01)
출원번호/일자 1020110011565 (2011.02.09)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0035829 (2012.04.16) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020100097300   |   2010.10.06
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.12.30)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김동표 대한민국 대전광역시 유성구
2 백규하 대한민국 대전광역시 유성구
3 박건식 대한민국 대전광역시 유성구
4 박지만 대한민국 대전광역시 유성구
5 김진식 대한민국 대전광역시 유성구
6 김주연 대한민국 대전광역시 중구
7 정예슬 대한민국 경상북도 포항시 남구
8 도이미 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.02.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0093309-22
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-0036840-23
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-1289466-40
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.09.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0151633-58
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.11.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0822831-74
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.01.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0051936-84
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2017-0051935-38
10 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination
2017.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0078434-67
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0532816-54
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2017-0843136-85
13 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.08.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0843137-20
14 등록결정서
Decision to Grant Registration
2017.09.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0634387-27
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판에 비어 홀을 형성하는 단계;상기 비어 홀의 측벽 및 바닥에 촉매 층을 형성하는 단계; 및상기 촉매 층을 그라핀 입자들이 혼합된 용액(solution)에 노출시켜, 상기 비어 홀 내에 그라핀 층을 형성하는 단계를 포함하는 비어 전극의 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 그라핀 층의 형성 단계는, 상기 기판을 용매(solvent)에 침지시키는 단계와,상기 용매 내에 상기 용액을 제공하여 상기 촉매 층 상에 상기 그라핀 층을 형성하는 단계를 포함하는 비어 전극의 제조방법
3 3
제 2 항에 있어서,상기 기판의 침지 후, 상기 용매의 외부 압력을 대기압보다 낮은 압력으로 만들어 상기 비어 홀 내에 기포를 제거하는 단계를 더 포함하는 비어 전극의 제조방법
4 4
제 2 항에 있어서,상기 그라핀 입자들은 그라핀 플레이크, 그라핀 파우더, 자성을 갖는 그라핀 나노 입자, 또는 그라핀으로 코팅된 금속입자 들 중 적어도 하나를 포함하는 비어 전극의 제조방법
5 5
제 4 항에 있어서,상기 그라핀 층을 형성하는 단계는 상기 기판의 하부에 자기장을 인가하는 단계를 포함하는 비어 전극의 제조방법
6 6
제 2 항에 있어서,상기 용매는 탈이온수, 알코올, 또는 요오드산을 포함하는 비어 전극의 제조방법
7 7
제 2 항에 있어서,상기 그라핀 층의 형성단계는, 상기 용매의 외부로 상기 기판을 이탈시킨 후, 상기 기판의 상부 표면이 노출되도록 상기 그라핀 층을 평탄하게 제거하는 단계와, 상기 그라핀 층을 열처리 공정으로 경화시키는 단계를 더 포함하는 비어 전극의 제조방법
8 8
제 7 항에 있어서,상기 그라핀 층 상에 배선 층을 형성하는 단계를 더 포함하는 비어 전극의 형성 방법
9 9
제 1 항에 있어서,상기 촉매 층과 상기 비어 홀사이에 절연막을 형성하는 단계를 더 포함하는 비어 전극의 제조방법
10 10
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1 US08404588 US 미국 FAMILY
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