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다층 박막 증착 장치

  • 기술번호 : KST2015089388
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 다층 박막 증착 장치를 개시한다. 그의 장치는, 기판을 로딩하는 로딩 챔버와, 상기 기판을 언로딩하는 언로딩 챔버와, 상기 기판 상에 피처리물을 증착시키기 위한 플라즈마를 유도하는 적어도 하나의 스퍼터 건과, 상기 기판과 상기 스퍼터 건 사이에 배치된 유도 결합 플라즈마 튜브들을 구비하고, 상기 기판 상에 제 1 산화물/금속/제 2 산화물의 피 처리물에 대한 연속 증착 공정을 수행하기 위해 상기 로딩 챔버와 상기 언로딩 챔버 사이에 일라인으로 연결된 제 1 공정 챔버, 제 2 공정 챔버, 제 3 공정 챔버를 포함하는 복수개의 공정 챔버들과, 상기 로딩 챔버에서 상기 언로딩 챔버까지 상압보다 낮은 진공압을 제공하기 위해 상기 로딩 챔버와 제 1 공정 챔버에 공통으로 연결된 제 1 펌프와, 상기 제 2 공정 챔버에 단독으로 연결된 제 2 펌프와, 상기 언로딩 챔버와 상기 제 3 공정 챔버에 공통으로 연결된 제 3 펌프로 이루어진 진공 펌프들과, 상기 제 1 공정 챔버 및 상기 제 3 공정 챔버에 산소를 공급하는 산소 공급부들을 포함한다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01)
CPC C23C 14/0073(2013.01) C23C 14/0073(2013.01) C23C 14/0073(2013.01) C23C 14/0073(2013.01) C23C 14/0073(2013.01)
출원번호/일자 1020110126282 (2011.11.29)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0060010 (2013.06.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020160068303;
심사청구여부/일자 Y (2015.08.25)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정우석 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0949159-69
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-0036857-09
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.08.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0824562-52
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2015-0824571-63
6 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2015-0824607-18
7 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2015.08.28 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2015.09.11 수리 (Accepted) 9-1-2015-0060830-38
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.12.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0836172-21
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.01.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0096586-50
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-0096579-30
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.03.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0172940-28
13 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2016.04.05 보정각하 (Rejection of amendment) 1-1-2016-0330286-92
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.04.05 수리 (Accepted) 1-1-2016-0330179-15
15 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.05.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0322088-62
16 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment
2016.05.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0322037-44
17 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2016.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-0530314-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판을 로딩하는 로딩 챔버;상기 기판을 언로딩하는 언로딩 챔버;상기 기판 상에 피처리물을 증착시키기 위한 플라즈마를 유도하는 적어도 하나의 스퍼터 건과, 상기 기판과 상기 스퍼터 건 사이에 배치된 유도 결합 플라즈마 튜브들을 구비하고, 상기 기판 상에 제 1 산화물/금속/제 2 산화물의 피 처리물에 대한 연속 증착 공정을 수행하기 위해 상기 로딩 챔버와 상기 언로딩 챔버 사이에 일라인으로 연결된 제 1 공정 챔버, 제 2 공정 챔버, 제 3 공정 챔버를 포함하는 복수개의 공정 챔버들;상기 로딩 챔버에서 상기 언로딩 챔버까지 상압보다 낮은 진공압을 제공하기 위해 상기 로딩 챔버와 제 1 공정 챔버에 공통으로 연결된 제 1 펌프와, 상기 제 2 공정 챔버에 단독으로 연결된 제 2 펌프와, 상기 언로딩 챔버와 상기 제 3 공정 챔버에 공통으로 연결된 제 3 펌프로 이루어진 진공 펌프들; 및상기 제 1 공정 챔버 및 상기 제 3 공정 챔버에 산소를 공급하는 산소 공급부들을 포함하는 다층 박막 증착 장치
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020160072076 KR 대한민국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국전자통신연구원 정보통신산업융합원천기술개발사업 윈도우 일체형 20˝급 1mm이하의 두께를 가지는 터치센서개발