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기판; 및상기 기판 상에 제공되고, 하기 화학식 1의 폴리아믹 에스테르를 포함하는 필름을 포함하되, 003c#화학식 1003e#상기 화학식 1에서, 상기 X는 환상 지방족 화합물 또는 방향족 화합물이며, 상기 Y는 지방족 화합물 또는 방향족 화합물이며, 상기 I는 무기 원소 및 금속 원소 중에 적어도 하나를 포함하고, 상기 폴리아믹 에스테르는 1,000~ 100,000 g/mol의 수평균 중합도를 갖는 유무기 하이브리드 폴리아믹 에스테르 필름
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제 1 항에 있어서,상기 I는, 티타늄 옥사이드(titanium oxide), 실리콘 옥사이드(silicone oxide), 및 지르코늄 옥사이드(zirconium oxide)를 포함하는 그룹에서 선택되는 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 유무기 하이브리드 폴리아믹 에스테르 필름
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제 1 항에 있어서,상기 화학식 1에서, 상기 I는 티타늄 옥사이드[titanium oxide]이고, 상기 X는 이고, 상기 Y는 이며, 상기 폴리아믹 에스테르는 하기 화학식 2의 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 유무기 하이브리드 폴리아믹 에스테르 필름
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디아민 단량체와 이산무수물을 반응시켜 폴리아믹산을 제조하는 단계; 상기 폴리아믹산을 무기물 전구체와 반응시켜 하기 화학식 1의 폴리아믹 에스테르를 제조하는 단계; 및기판 상에 상기 화학식 1의 폴리아믹 에스테르를 코팅하여, 폴리아믹 에스테르 필름을 형성하는 것를 포함하되,003c#화학식 1003e#상기 화학식 1에서, 상기 X는 환상 지방족 화합물 또는 방향족 화합물이며, 상기 Y는 지방족 화합물 또는 방향족 화합물이며, 상기 I는 무기원소 및 금속 원소 중에 적어도 하나를 포함하며,상기 이산무수물은 방향족 또는 환상 지방족 화합물을 포함하고, 상기 화학식 1의 폴리아믹 에스테르는 1,000~ 100,000 g/mol의 수평균 중합도를 가지는 유무기 하이브리드 폴리아믹 에스테르 필름의 제조 방법
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제 5 항에 있어서,상기 폴리아믹산을 제조하는 단계는, 상기 디아민 단량체와 상기 이산무수물을 제 1 용매에 용해시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유무기 하이브리드 폴리아믹 에스테르 필름의 제조 방법
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제 6 항에 있어서,상기 제 1 용매는 N, N-디메틸 아세트아미드[N, N-dimethyl acetamide], N, N-디메틸 포름아미드[N, N-dimethyl formamide], 및 N-메틸 피롤리딘[N-methyl pyrrolidine]을 포함하는 그룹에서 선택되는 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 유무기 하이브리드 폴리아믹 에스테르 필름의 제조 방법
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제 5 항에 있어서,상기 디아민 단량체는, 지방족 화합물 또는 방향족 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 유무기 하이브리드 폴리아믹 에스테르 필름의 제조 방법
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제 8 항에 있어서,상기 디아민 단량체는, 2,2-비스(4-아미노페닐)헥사플루오로프로판[2,2-bis(4-aminophenyl)hexafluoropropane], 4, 4'-디아미노 옥타플루오로비스페닐[4, 4'-diamino octafluorobiphenyl], 옥시디아닐린[oxydianiline], 메타-페닐렌 디아민[m-phenylene diamine], 1,3-디아미노프로판[1,3-diaminopropane], 및 1, 2-비스(2-아민에톡시)에탄[1, 2-bis(2-aminethoxy)ethane]을 포함하는 그룹에서 선택되는 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 유무기 하이브리드 폴리아믹 에스테르 필름의 제조 방법
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제 5 항에 있어서,상기 이산무수물은 4, 4'-옥시디프탈릭 안하이드라이드 [4, 4'-oxydiphthalic anhydride], 4, 4'-헥사플로오로이소프로필리덴[4, 4'-hexafluoroisopropylidene], 디프탈릭 안하이드라이드[diphthalic anhydride], 3, 3', 4, 4'-벤조페논테트라카르복실릭 디안하이드라이드[3, 3', 4, 4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride], 피로멜리틱 디안하이드라이드[pyromellitic dianhydride], 및 2,3,4-시클로부탄테트라카르복실릭 디안하이드라이드[1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride]을 포함하는 그룹에서 선택되는 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 유무기 하이브리드 폴리아믹 에스테르 필름의 제조 방법
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제 5 항에 있어서,상기 폴리아믹산을 제조하는 단계는, 불활성 기체의 분위기에서 진행되는 것을 특징으로 하는 유무기 하이브리드 폴리아믹 에스테르 필름의 제조 방법
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제 5 항에 있어서,상기 폴리아믹 에스테르를 제조하는 단계는, 촉매하에서 상기 폴리아믹산과 상기 무기물 전구체를 제 2 용매에 용해시키는 단계를 포함하는 유무기 하이브리드 폴리아믹 에스테르 필름의 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 제 2 용매는 N, N-디메틸 아세트아미드[N, N-dimethyl acetamide], N, N-디메틸 포름아미드[N, N-dimethyl formamide], 및 N-메틸 피롤리딘[N-methyl pyrrolidine]을 포함하는 그룹에서 선택되는 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 유무기 하이브리드 폴리아믹 에스테르 필름의 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 촉매는 염산과 물 중에 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 유무기 하이브리드 폴리아믹 에스테르 필름의 제조 방법
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제 5 항에 있어서,상기 무기물 전구체는 하기 화학식 3의 구조를 가지며,003c#화학식 3003e# A-O-I상기 화학식 3에서 A는 알킬기이며, I는 무기원소 및 금속 원소 중에 선택되는 적어도 하나의 원소 또는 상기 원소에 결합된 적어도 하나의 알콕사이드기 또는 옥사이드기를 포함하는 것을 특징으로 하는 유무기 하이브리드 폴리아믹 에스테르 필름의 제조 방법
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디아민 단량체와 이산무수물을 제 1 용매에 용해시키고, 상기 디아민 단량체와 상기 이산무수물을 반응시켜 폴리아믹산을 제조하는 단계; 상기 폴리아믹산을 무기물 전구체 및 제 2 용매에 용해시키고 상기 폴리아믹산과 상기 무기물 전구체를 반응시켜 하기 화학식 1의 폴리아믹 에스테르를 제조하는 단계; 및상기 폴리아믹 에스테르를 포함하는 용액을 기판 상에 코팅하여, 상기 폴리아믹 에스테르를 포함하는 필름을 형성하는 단계를 포함하되, 003c#화학식 1003e#상기 화학식 1에서, 상기 X는 환상 지방족 화합물 또는 방향족 화합물이며, 상기 Y는 지방족 화합물 또는 방향족 화합물이며, 상기 I는 무기 원소 및 금속 원소 중에 적어도 하나를 포함하고, 상기 폴리아믹 에스테르는 1,000~ 100,000 g/mol의 수평균 중합도를 가지는 필름 제조 방법
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제 16 항에 있어서,상기 폴리아믹 에스테르를 포함하는 필름을 형성하는 단계는, 건조 공정을 진행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 제조 방법
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제 17 항에 있어서,상기 건조 공정은 150~200℃의 온도에서 진행되는 것을 특징으로 하는 필름 제조 방법
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제 17 항에 있어서,상기 기판 상에 코팅된 상기 폴리아믹 에스테르를 포함하는 용액을 가열하여, 상기 폴리아믹 에스테르를 폴리이미드화하여 상기 I와 폴리이미드가 섞인 필름을 제조하는 단계를 더 포함하는 것을 필름 제조 방법
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제 19 항에 있어서,상기 폴리아믹 에스테르를 폴리이미드화하는 단계는 200℃ 이상의 온도에서 진행되는 것을 특징으로 하는 필름 제조 방법
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