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금속 산화물 전구체 용액과 촉매제 용액을 준비하는 것; 상기 금속 산화물 전구체 용액과 상기 촉매제 용액에 정전기력을 인가하여 상기 금속 산화물 전구체 용액 입자들과 상기 촉매제 용액 입자들을 기판 상에 동시에 분사하는 것; 및 상기 기판 상에 상기 금속 산화물 전구체 용액 입자들과 상기 촉매제 용액 입자들이 화학 결합하여 금속 산화물 박막을 형성하는 것을 포함하는 금속 산화물 박막 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 금속 산화물 전구체 용액은 금속산화물 전구체와 용매를 혼합한 졸-겔 용액인 금속 산화물 박막 제조 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 금속산화물 전구체는 Ethoxide(에톡사이드), Proroxide(프로폭사이드), Isopropoxide(아이소프로폭사이드), Hydroxide(하이드록사이드), 및 Butoxide(부톡사이드) 중에서 선택된 어느 하나인 금속 산화물 박막 제조 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 금속산화물 전구체는 Nitrate(나이트레이트), Chloride(클로라이드), Acetate(아세테이트), perchlorate (퍼클로레이트), 및 acetylacetonat (아세틸아세토네트) 중에서 선택된 어느 하나인 금속 산화물 박막 제조 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 용매는 Methanol(메탄올), 에탄올(Ethanol), 1,2-propanol(1,2-프로파놀), 1,2-butanol(1,2-부탄올), 및 2-methoxyethanol(2-메톡시에탄올) 중에서 어느 하나인 금속 산화물 박막 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 촉매제 용액은 Nitric acid(질산), Ethanol(에탄올), Acetic acid(아세트산), H2O2(과산화수소), 및 H2O(물) 중에서 어느 하나인 금속 산화물 박막 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 금속 산화물 입자들과 상기 촉매제 입자들을 동시에 분사하는 것은 정전 스프레이법을 이용하는 금속 산화물 박막 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 금속 산화물 박막을 형성하는 동안 상기 기판의 온도는 120°C 내지 300°C인 금속 산화물 박막 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 기판은 Si 기판, SiO2기판, 유연 폴리머 기판, 또는 소자구조가 패턴된 기판인 금속 산화물 박막 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 금속 산화물 전구체 용액 입자들과 상기 촉매제 용액 입자들의 직경은 10nm 내지 100nm인 금속 산화물 박막 제조 방법
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