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기판 상에 하부 클래드 층, 코어 층 및 제 1 상부 클래드 층을 적층하는 단계;상기 기판 상의 일측의 상기 제 1 상부 클래드 층 및 상기 코어 층을 제 1 방향으로 테이퍼지게 형성하는 단계;상기 제 1 상부 클래드 층 및 상기 하부 클래드 층 상에 도파로 층을 형성하는 단계; 및상기 기판 상의 일측의 상기 도파로 층이 테이퍼진 상기 코어 층보다 확장되고, 상기 기판 상의 타측에서 상기 코어와 상기 도파로 층이 동일한 폭을 갖도록 상기 도파로 층, 상기 제 1 상부 클래드 층, 상기 코어 층, 및 상기 하부 클래드 층을 식각하는 단계를 포함하는 모드 크기 변환기의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 도파로 층은 상기 기판 상의 일측에서 상기 제 1 방향에 대향되는 제 2 방향으로 테이퍼진 모드 크기 변환기의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 코어 층 및 상기 제 1 상부 클래드 층의 형성 후에 상기 하부 클래드 층 상에 상기 제 1 상부 클래드 층과 동일한 물질의 버퍼 층을 형성하는 단계를 더 포함하는 모드 크기 변환기의 제조방법
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제 3 항에 있어서,상기 버퍼 층과 상기 제 1 상부 클래드 층 상에 에치 스톱 층을 형성하는 단계를 더 포함하는 모드 크기 변환기의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 도파로 층 상에 제 2 상부 클래드 층을 형성하는 단계를 더 포함하는 모드 크기 변환기의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 도파로 층, 상기 제 1 상부 클래드 층, 상기 코어 층, 및 상기 하부 클래드 층의 측벽에 평탄 층을 형성하는 단계를 더 포함하는 모드 크기 변환기의 제조방법
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기판;상기 기판 상의 일측에서 제 1 방향으로 테이퍼지고 타측에서 일정한 폭으로 연장되는 코어 층을 갖는 제 1 도파로; 및상기 기판 상의 일측의 상기 제 1 도파로를 덮고, 상기 제 1 방향과 반대되는 제 2 방향으로 테이퍼지면서 연장되고, 상기 기판 상의 타측에서 상기 코어 층과 동일한 폭의 도파로 층을 갖는 제 2 도파로를 포함하는 모드 크기 변환기
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제 7 항에 있어서,상기 제 1 도파로는 상기 코어 층 위 아래의 하부 클래드 층과, 제 1 상부 클래드 층을 더 포함하는 모드 크기 변환기
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제 8 항에 있어서,상기 기판 상의 일측에서 상기 제 1 상부 클래드 층 및 상기 코어 층의 측벽과, 상기 하부 클래드 층 상에 형성된 버퍼 층을 더 포함하는 모드 크기 변환기
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10
제 9 항에 있어서,상기 버퍼 층 및 상기 제 1 상부 클래드 층 상에 배치된 에치 스톱 층을 더 포함하는 모드 크기 변환기
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11
제 7 항에 있어서,상기 수동 도파로는 상기 도파로 층 상에 형성된 제 2 상부 클래드 층을 더 포함하는 모드 크기 변환기
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