| 1 |
1
집적회로 칩의 동작주파수를 보정하는 방법에 있어서,집적회로 칩에 직류전원을 공급하는 단계,동작주파수의 보정을 수행할 집적회로 칩을 선택하는 단계,상기 선택된 집적회로 칩에서 발생된 동작주파수를 수신하는 단계,상기 동작주파수를 보정목표주파수와 비교하여 주파수 보정값을 생성하는 단계,상기 주파수 보정값이 포함된 제어신호를 상기 집적회로 칩에 전송하는 단계, 그리고동작주파수 보정이 완료된 집적회로 칩에 대한 선택을 해제하는 단계를 포함하는 웨이퍼 수준의 집적회로 칩 자동 보정 방법
|
| 2 |
2
제1항에서,상기 주파수 보정값을 생성하는 단계는,상기 동작주파수의 위상과 상기 보정목표주파수의 위상차이를 계산하는 단계, 그리고상기 위상차이를 이용하여 상기 동작주파수의 상기 주파수 보정값을 생성하는 단계를 포함하는 웨이퍼 수준의 집적회로 칩 자동 보정 방법
|
| 3 |
3
제1항에서, 상기 제어신호를 상기 집적회로 칩에 전송하는 단계 이후에,상기 제어신호에 포함된 주파수 보정값에 따라 상기 동작주파수가 보정되는 단계, 그리고 상기 주파수 보정값이 상기 제어신호에 따라 상기 집적회로 칩에 저장되는 단계를 더 포함하는 웨이퍼 수준의 집적회로 칩 자동 보정 방법
|
| 4 |
4
집적회로 칩의 동작주파수 자동보정을 위한 반도체 웨이퍼에 있어서,상기 집적회로 칩 영역,상기 반도체 웨이퍼 외부의 동작주파수의 보정제어기가 연결되는 탐침영역,상기 탐침영역과 연결되어, 상기 보정제어기와 상기 집적회로 칩의 신호를 전송하는 신호전송영역, 그리고상기 집적회로 칩과 상기 신호전송영역 사이에서 교환되는 신호를 중계하는 버퍼,를 포함하는 반도체 웨이퍼
|
| 5 |
5
제4항에서,상기 신호전송영역은,상기 동작주파수 보정을 수행할 집적회로 칩에 대한 상기 보정제어기의 선택신호 및 동작주파수 보정이 완료된 집적회로 칩에 대한 선택해제신호를 전송하는 칩선택버스,상기 집적회로 칩으로 공급되는 직류전원을 전송하는 외부전원선,상기 집적회로 칩에서 발생한 동작주파수를 전송하는 주파수 측정선, 그리고상기 동작주파수 보정을 위한 제어신호를 전송하는 보정버스를 포함하며, 상기 칩선택버스, 상기 외부전원선, 상기 주파수 측정선, 그리고 상기 보정버스는 상기 탐침영역과 연결되는 반도체 웨이퍼
|
| 6 |
6
제5항에서,상기 버퍼는,상기 칩선택버스의 말단에 위치하여, 상기 보정제어기의 선택신호 및 선택해제신호에 따라 동작하고,상기 버퍼가 동작하는 경우, 상기 집적회로 칩과 상기 외부전원선, 상기 주파수 측정선, 그리고 상기 보정버스 사이의 연결이 활성화되는 반도체 웨이퍼
|
| 7 |
7
집적회로 칩의 동작주파수 자동보정을 위한 보정제어기에 있어서,보정목표주파수의 위상과 상기 동작주파수의 위상을 비교하여 위상차를 계산하고, 상기 위상차를 이용하여 동작주파수 보정값을 생성하는 위상잠금장치를 포함하는 보정제어기
|
