1 |
1
직류 기준전압 및 기준전류를 생성하는 기준 전압/전류 생성부;상기 직류 기준전압을 수신하고, 상기 수신된 직류 기준전압의 잡음을 제거하는 제 1 잡음 필터;상기 잡음이 제거된 직류 기준전압을 수신하여 센서 바이어스 전압을 생성하는 전압 부스터;상기 센서 바이어스 전압을 수신하여, 음압의 변화를 기반으로 출력 값을 생성하는 마이크로폰 센서;상기 기준 전류를 수신하여 바이어스 전압을 생성하는 바이어스 회로; 및상기 바이어스 전압 및 상기 마이크로폰의 상기 출력 값을 수신하고, 상기 출력 값을 증폭하여 출력하는 신호 증폭부를 포함하고,상기 제 1 잡음 필터는임피던스 회로;상기 임피던스 회로와 병렬로 연결된 캐패시터 회로; 및상기 임피던스 회로의 양단을 연결하는 스위치를 포함하고,상기 임피던스 회로는제 1 및 제 2 다이오드들을 포함하고,상기 제 1 다이오드의 캐소드 및 상기 제 2 다이오드의 애노드는 상기 임피던스 회로의 입력단과 연결되고,상기 제 1 다이오드의 애노드 및 상기 제 2 다이오드의 캐소드는 상기 임피던스 회로의 출력단과 연결되는 MEMS 마이크로폰
|
2 |
2
삭제
|
3 |
3
직류 기준전압 및 기준전류를 생성하는 기준 전압/전류 생성부;상기 직류 기준전압을 수신하고, 상기 수신된 직류 기준전압의 잡음을 제거하는 제 1 잡음 필터;상기 잡음이 제거된 직류 기준전압을 수신하여 센서 바이어스 전압을 생성하는 전압 부스터;상기 센서 바이어스 전압을 수신하여, 음압의 변화를 기반으로 출력 값을 생성하는 마이크로폰 센서;상기 기준 전류를 수신하여 바이어스 전압을 생성하는 바이어스 회로; 및상기 바이어스 전압 및 상기 마이크로폰의 상기 출력 값을 수신하고, 상기 출력 값을 증폭하여 출력하는 신호 증폭부를 포함하고,상기 제 1 잡음 필터는임피던스 회로;상기 임피던스 회로와 병렬로 연결된 캐패시터 회로; 및상기 임피던스 회로의 양단을 연결하는 스위치를 포함하고,상기 임피던스 회로는제 1 및 제 2 MOS 트랜지스터들을 포함하고,상기 제 1 MOS 트랜지스터의 소오스, 상기 제 2 MOS 트랜지스터의 드레인 및 게이트는 상기 임피던스 회로의 입력단과 연결되고,상기 제 2 MOS 트랜지스터의 소오스, 상기 제 1 MOS 트랜지스터의 드레인 및 게이트는 상기 임피던스 회로의 출력단과 연결되는 MEMS 마이크로폰
|
4 |
4
제 3 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 MOS 트랜지스터들은PMOS 트랜지스터 및 NMOS 트랜지스터 중 어느 한 종류인 MEMS 마이크로폰
|
5 |
5
직류 기준전압 및 기준전류를 생성하는 기준 전압/전류 생성부;상기 직류 기준전압을 수신하고, 상기 수신된 직류 기준전압의 잡음을 제거하는 제 1 잡음 필터;상기 잡음이 제거된 직류 기준전압을 수신하여 센서 바이어스 전압을 생성하는 전압 부스터;상기 센서 바이어스 전압을 수신하여, 음압의 변화를 기반으로 출력 값을 생성하는 마이크로폰 센서;상기 기준 전류를 수신하여 바이어스 전압을 생성하는 바이어스 회로; 및상기 바이어스 전압 및 상기 마이크로폰의 상기 출력 값을 수신하고, 상기 출력 값을 증폭하여 출력하는 신호 증폭부를 포함하고,상기 제 1 잡음 필터는임피던스 회로;상기 임피던스 회로와 병렬로 연결된 캐패시터 회로; 및상기 임피던스 회로의 양단을 연결하는 스위치를 포함하고,상기 임피던스 회로는제 1 및 제 2 이중접합 트랜지스터들을 포함하고,상기 제 1 이중접합 트랜지스터의 에미터, 상기 제 2 이중접합 트랜지스터의 콜렉터 및 베이스는 상기 임피던스 회로의 입력단과 연결되고,상기 제 2 이중접합 트랜지스터의 에미터, 상기 제 1 이중접합 트랜지스터의 콜렉터 및 베이스는 상기 임피던스 회로의 출력단과 연결되는 MEMS 마이크로폰
|
6 |
6
제 5 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 이중접합 트랜지스터들은,npn형 이중접합 트랜지스터 및 pnp형 이중접합 트랜지스터 중 어느 한 종류인 MEMS 마이크로폰
|
7 |
7
제 1 항에 있어서,상기 캐패시터 회로는,하나 또는 그 이상의 트랜지스터를 포함하는 MEMS 마이크로폰
|
8 |
8
제 1 항에 있어서,상기 캐패시터 회로는,MIM 캐패시터, MOM 캐패시터, 및 폴리 캐패시터 중 어느 하나 또는 그이상의 캐패시터를 포함하는 MEMS 마이크로폰
|
9 |
9
제 1 항에 있어서,초기 동작시, 상기 스위치가 단락되어 상기 캐패시터 회로를 충전하는 MEMS 마이크로폰
|
10 |
10
제 1 항에 있어서,상기 바이어스 전압을 수신하고, 상기 수신된 바이어스 전압의 직류 잡음을 제거하여 상기 신호 증폭부로 전송하는 제 2 잡음 필터를 더 포함하는 MEMS 마이크로폰
|
11 |
11
제 10 항에 있어서,상기 제 2 잡음 필터는 상기 제 1 잡음 필터와 동일한 구성을 포함하는 MEMS 마이크로폰
|