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제 1 주파수의 제 1 레이저 광 및 상기 제 1 주파수와 다른 제 2 주파수의 제 2 레이저 광을 발생하는 레이저 발생 소자;상기 발생된 제 1 및 제 2 레이저 광들을 결합하는 결합기;상기 결합기로부터 출력된 제 1 광신호를 입력 받고, 상기 입력된 제 1 광신호와 인가된 바이어스에 의하여 테라헤르츠 연속파를 발생하는 테라헤르츠파 송신기;상기 결합기로부터 출력된 제 2 광신호를 지연시키는 광지연라인; 및시료를 투과한 상기 테라헤르츠 연속파를 수신하고, 상기 수신된 테라헤르츠 연속파 및 상기 지연된 제 2 광신호를 이용하여 광전류를 검출하는 테라헤르츠파 수신기를 포함하고,상기 시료의 두께는 상기 광전류에 대응하는 값이고,상기 광지연라인은 상기 광전류의 위상값이 주파수와 무관하게 상수가 되도록 조절되는 비접촉 두께 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 레이저 발생 소자는,상기 제 1 레이저 광을 발생하는 제 1 레이저; 및상기 제 2 레이저 광을 발생하는 제 2 레이저를 포함하는 비접촉 두께 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 레이저 발생 소자는 상기 제 1 및 제 2 레이저 광들을 발생하는 듀얼 모드 레이저로 구현되는 비접촉 두께 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 레이저 발생 소자 및 상기 결합기 사이에 상기 제 1 및 제 2 레이저 광들을 증폭하는 광증폭기를 더 포함하는 비접촉 두께 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 결합기 및 상기 테라헤르츠파 송신기 사이에 상기 제 1 광신호의 편광을 제어하는 제 1 편광 제어기; 및상기 결합기 및 상기 광지연라인 사이에 상기 제 2 광신호의 편광을 제어하는 제 2 편광 제어기를 더 포함하는 비접촉 두께 측정 장치
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 주파수들을 정밀하게 제어 및 측정할 필요없이 상기 광지연라인을 조절함으로써 상기 시료의 두께를 측정하는 비접촉 두께 측정 장치
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8
비접촉 두께 측정 장치의 두께 측정 방법에 있어서:서로 다른 주파수들을 갖는 비팅 신호들을 결합하는 단계;상기 결합된 비팅 신호와 인가된 바이어스에 의하여 테라헤라츠 연속파를 발생하는 단계;상기 발생된 테라헤르츠 연속파를 적어도 하나의 시료로 통과시키는 단계;상기 통과된 테라헤르츠 연속파를 수신하는 단계;상기 수신된 테라헤르츠 연속파를 이용하여 호모다인 방식으로 광전류를 검출하는 단계; 및상기 검출된 광전류의 위상값이 다수의 측정 주파수와 무관하게 상수가 되도록 광지연라인을 조절하는 단계를 포함하는 두께 측정 방법
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제 8 항에 있어서,상기 비팅 신호들은 하나의 듀얼 모드 레이저에서 발생되는 두께 측정 방법
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제 8 항에 있어서,상기 비팅 신호들은 두 개의 개별적인 레이저에서 발생되는 두께 측정 방법
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11
제 8 항에 있어서,상기 비팅 신호들의 비팅 주파수들을 적어도 2개 사용되는 두께 측정 방법
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12
제 8 항에 있어서,상기 비팅 신호들 각각의 주파수를 정밀하게 제어 및 측정할 필요없이 상기 광지연라인을 조절함으로써 상기 시료의 두께를 측정하는 비접촉 두께 측정 방법
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13
제 8 항에 있어서,상기 테라헤르츠 연속파의 주파수는 초고주파 대역부터 광파 대역 사이의 값을 갖는 두께 측정 방법
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