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집속 부재를 통해 대면적 빔을 타겟에 집속시키는 광원 시스템에 채용되어 상기 대면적 빔을 출사하기에 앞서 상기 대면적 빔의 초점 위치를 검출하기 위한 것으로, 상기 대면적 빔의 직경에 상응하는 크기의 직경을 갖고 상기 광원 시스템에 지지되는 프레임;상기 대면적 빔의 경로와 동일한 경로로 참조 빔들을 출사시켜 상기 집속 부재를 통해 상기 타겟으로 입사시키도록 상기 프레임에 설치된 참조 광원부; 및상기 집속 부재와 상기 프레임이 광축 정렬되고 상기 타겟이 초점 위치로 맞춰질 때 상기 타겟으로부터 반사되어 나오는 참조 빔들을 받을 수 있도록 상기 프레임에 형성된 조리개부;를 포함하는 대면적 빔의 초점 위치 검출기구
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제1항에 있어서, 상기 참조 광원부는,상기 프레임의 중앙에 설치되어 제1 참조 빔을 출사하는 제1 참조 광원, 및 상기 프레임의 가장자리에 설치되어 제2 참조 빔을 출사하는 제2 참조 광원을 포함하며;상기 조리개부는,상기 프레임의 중앙에 상기 제1 참조 광원의 발광 부위 둘레를 따라 형성된 제1 조리개, 및 상기 프레임의 중심을 기준으로 상기 제2 참조 광원과 대칭되게 상기 프레임의 가장자리에 형성된 제2 조리개를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 빔의 초점 위치 검출기구
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제2항에 있어서, 상기 참조 광원부는,상기 프레임의 가장자리에 상기 제2 참조 광원으로부터 상기 프레임의 둘레 방향을 따라 90도 이격되어 설치되고 제3 참조 빔을 출사하는 제3 참조 광원을 더 포함하며;상기 조리개부는,상기 프레임의 중심을 기준으로 상기 제3 참조 광원과 대칭되게 상기 프레임의 가장자리에 형성된 제3 조리개를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 빔의 초점 위치 검출기구
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제3항에 있어서,상기 제1,2,3 참조 광원은,532㎚과 633㎚ 중 어느 하나의 파장을 갖는 빔을 출사하는 광원인 것을 특징으로 하는 대면적 빔의 초점 위치 검출기구
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제3항에 있어서, 상기 제2,3 참조 광원은,상기 제2,3 참조 빔의 경로를 조정할 수 있게 상기 프레임에 설치된 것을 특징으로 하는 대면적 빔의 초점 위치 검출기구
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제3항에 있어서, 상기 제1,2,3 조리개는 크기 조절이 가능하게 된 것을 특징으로 하는 대면적 빔의 초점 위치 검출기구
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제1항에 있어서, 상기 프레임은,중앙에 원형 홀을 갖는 원형 테두리부, 및상기 원형 홀의 중앙을 가로질러 배치되고 가장자리 부위가 상기 원형 테두리부의 안쪽 부위에 연결된 적어도 하나의 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 빔의 초점 위치 검출기구
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제1항에 있어서, 상기 프레임은 강성을 지닌 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 대면적 빔의 초점 위치 검출기구
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제1항에 있어서, 상기 프레임은 지지대에 의해 상기 광원 시스템에 착탈 가능하게 된 것을 특징으로 하는 대면적 빔의 초점 위치 검출기구
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