| 1 |
1
기판 상에 광흡수층을 형성하는 것;상기 광흡수층 상에 버퍼층을 형성하는 것; 및상기 버퍼층 상에 윈도우 전극층을 형성하는 것을 포함하되,상기 버퍼층을 형성하는 것은:상기 광흡수층 상에 금속 물질을 증착하는 것;상기 광흡수층 상에 비금속 물질을 공급하는 것;상기 광흡수층 상에 산소 원자를 포함하는 기체 물질을 공급하는 것; 및상기 금속 물질과 상기 비금속 물질을 반응시키는 것을 포함하고,상기 산소 원자를 포함하는 기체 물질은 상기 금속 물질 및 상기 비금속 물질과 반응하여 상기 광흡수층 상에 금속 황산화물을 형성하고,상기 비금속 물질을 공급하는 것은:상기 비금속 물질을 기화시키는 제1 열처리를 수행하는 것; 및상기 제1 열처리보다 높은 온도에서 상기 비금속 물질을 원자 또는 분자로 열 분해하는 제2 열처리를 수행하는 것을 포함하는 태양전지의 제조방법
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
청구항 1에 있어서,상기 금속 물질과 상기 비금속 물질을 반응시키는 것은, 상기 비금속 물질을 상기 금속 물질에 확산시키는 제3 열처리를 수행하는 것을 포함하는 태양전지의 제조방법
|
| 4 |
4
청구항 1에 있어서,상기 금속 물질은 아연, 인듐, 카드늄, 마그네슘, 베릴륨, 칼슘, 및 주석 중 적어도 하나를 포함하는 태양전지의 제조방법
|
| 5 |
5
청구항 1에 있어서,상기 비금속 물질은 황, 셀레늄, 및 텔레늄 중 적어도 하나를 포함하는 태양전지의 제조방법
|
| 6 |
6
청구항 1에 있어서,상기 산소 원자를 포함하는 기체 물질은 산소, 수증기, 과산화수소, 또는 이들의 조합인 태양전지의 제조방법
|
| 7 |
7
청구항 1에 있어서,상기 산소 원자를 포함하는 기체 물질은 상기 비금속 물질과 동시에 공급되는 태양전지의 제조방법
|
| 8 |
8
청구항 1에 있어서,상기 금속 황산화물은 아연 황산화물인 태양전지의 제조방법
|
| 9 |
9
청구항 1에 있어서,상기 버퍼층은 진공 증착 방법에 의해 형성되는 태양전지의 제조방법
|
| 10 |
10
청구항 9에 있어서,상기 버퍼층은 스퍼터링 또는 증발 방법에 의해 형성되는 태양전지의 제조방법
|
