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멤스 음향 센서 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015090778
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 더욱 상세하게 고정핀에 의해 하부 전극을 기판에 고정하여 외부 음압이 입력될 때 하부 전극의 상하 운동으로 인한 비선형 성분을 제거하기 위한 멤스 음향 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 기판의 일부에 고정홈을 형성한 후, 고정홈에 고정핀을 형성하고, 고정핀에 의해 고정 전극이 기판에 고정되도록 함으로써, 음압 입력시에 원하지 않는 고정 전극의 상하 운동을 제거하여 주파수 응답 특성을 향상시키는 특징을 가지며, 공정 중에 발생할 수 있는 고정 전극의 열적 변형을 억제하여 공정의 수율을 향상시키는 효과가 있다.
Int. CL H01L 29/84 (2006.01) H04R 19/04 (2006.01)
CPC H04R 31/006(2013.01) H04R 31/006(2013.01) H04R 31/006(2013.01) H04R 31/006(2013.01) H04R 31/006(2013.01) H04R 31/006(2013.01)
출원번호/일자 1020120094819 (2012.08.29)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0028467 (2014.03.10) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.11.23)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재우 대한민국 대전 유성구
2 제창한 대한민국 대전 유성구
3 양우석 대한민국 대전 서구
4 김종대 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0695845-71
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2013.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-0064539-16
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2013.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-0783024-35
4 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2014.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-1111027-13
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
6 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-1138868-94
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.07.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0534424-72
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.09.23 수리 (Accepted) 1-1-2016-0925559-40
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.09.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0925558-05
10 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.11.17 수리 (Accepted) 1-1-2016-1121634-65
11 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2017.02.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0096776-10
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.04.06 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0338681-34
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.04.06 수리 (Accepted) 1-1-2017-0338680-99
14 등록결정서
Decision to grant
2017.07.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0476566-31
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번호 청구항
1 1
기판의 일부를 식각하여 고정홈을 형성하는 단계;상기 고정홈이 형성된 기판에 절연막을 형성하고 형성된 절연막을 평판화하여 고정핀을 형성하는 단계;상기 고정핀이 형성된 기판 상에 고정 전극을 형성하는 단계;상기 고정 전극 상에 희생층을 형성하는 단계;상기 희생층을 사이에 두고 상기 고정 전극과 대향하는 진동판과, 상기 진동판의 측면에 상기 진동판을 지지하는 진동판 지지대를 형성하는 단계; 상기 기판의 일부를 식각하여 음향 챔버를 형성하는 단계; 및상기 희생층을 식각하여 제거하는 단계를 포함하는 멤스 음향 센서의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 고정 전극을 형성하는 단계는, 상기 기판에 기판 절연막, 하부 전극 및 하부 전극 절연막을 차례로 형성하는 단계와
3 3
제2항에 있어서, 상기 희생층을 제거하는 단계는 상기 음향 챔버로부터 상기 음압 입력 홀을 통해 식각 가스를 유입하여 식각하여 제거하는 것을 특징으로 하는 멤스 음향 센서 제조방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 희생층은 상기 하부 전극 절연막 및 상기 기판 절연막과 식각 선택비가 다른 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 멤스 음향 센서 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 고정핀을 형성하는 단계는 상기 절연막은 고정홈이 형성되지 않은 기판면이 노출되도록 평탄화하는 것을 특징으로 하는 멤스 음향 센서 제조방법
6 6
음향 챔버를 포함하는 기판;상기 기판에 형성된 고정핀;상기 고정핀에 의해 상기 기판 상에 고정되는 고정 전극; 및상기 고정 전극 위에 상기 고정 전극과 일정 간격만큼 이격되어 형성되고, 외부 음압에 의해 진동하는 진동판;을 포함하고,상기 고정핀은, 실린더 형상의 둘레부와, 상기 둘레부의 내측면을 따라 일 방향으로 순차적으로 이격된 제1, 제2, 제3 및 제4 돌출부들을 포함하고, 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 돌출부들의 각각은 상기 둘레부의 내측면으로부터 내측을 향해 동일한 길이로 돌출되고, 상기 제1 돌출부는 상기 제3 돌출부와 대향되고, 상기 제2 돌출부는 상기 제4 돌출부와 대향되는 하는 멤스 음향 센서
7 7
삭제
8 8
제6항에 있어서, 상기 고정 전극에는 상기 음향 챔버를 통해 음압을 입력받는 하나 이상의 음압 입력 홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 멤스 음향 센서
9 9
제6항에 있어서, 상기 진동판을 상기 기판에 연결하기 위해 상기 고정 전극 상에 형성되는 진동판 지지대를 더 포함하는 멤스 음향 센서
10 10
제9항에 있어서,상기 진동판 지지대는 상기 진동판과 일체형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 멤스 음향 센서
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1 US2014061825 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국전자통신연구원 ETRI지원사업산업원천기술개발사업 스마트&그린 빌딩용 자가충전 지능형 센서노드 플랫폼 핵심기술 개발