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1
시료의 일단과 연결되고, 열원으로부터 열을 제공받는 제 1 구조체;상기 시료의 타단과 연결되는 제 2 구조체;상기 제 1 구조체와 연결되어 상기 제 1 구조체를 지지하는 제 1 스테이지;상기 제 2 구조체와 연결되어 상기 제 2 구조체를 지지하는 제 2 스테이지;상기 제 1 및 제 2 스테이지 사이에 연결되는 연결부; 및상기 제 1 및 제 2 구조체와 상기 제 1 및 제 2 스테이지의 온도를 측정하는 측정부를 포함하고,상기 측정부는 상기 측정된 제 1 및 제 2 구조체와 상기 제 1 및 제 2 스테이지의 온도 및 상기 열원으로부터 제공된 열의 양을 이용하여 상기 시료의 열전도도를 계산하는 열전도도 측정 장치
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2
제 1항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 스테이지와 상기 연결부는 밀폐 공간을 형성하며,상기 밀폐 공간은 진공 상태로 유지되는 열전도도 측정 장치
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3
제 2항에 있어서,상기 밀폐 공간은 10-1 내지 10-9 torr의 진공도를 가지는 열전도도 측정 장치
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4
제 1항에 있어서,상기 열원은 상기 제 1 구조체 외부에 위치하며,상기 열원은 전자기파의 형태로 상기 제 1 구조체에 열을 제공하는 열전도도 측정 장치
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5
제 1항에 있어서,상기 열원은 상기 제 1 구조체와 물리적으로 연결되며,상기 열원은 주울 히팅을 이용하여 상기 제 1 구조체에 열을 제공하는 열전도도 측정 장치
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6
제 1항에 있어서,상기 제 1 구조체와 상기 제 1 스테이지 사이에 연결되며, 상기 제 1 구조체로부터 상기 제 1 스테이지로 전달되는 열을 감소시키는 제 3 구조체; 및상기 제 2 구조체와 상기 제 2 스테이지 사이에 연결되며, 상기 제 2 구조체로부터 상기 제 2 스테이지로 전달되는 열을 감소시키는 제 4 구조체를 더 포함하는 열전도도 측정 장치
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7
제 6항에 있어서,상기 제 3 및 제 4 구조체는 빔 형태인 열전도도 측정 장치
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8
시료의 일단과 연결되고, 제 1 열원으로부터 열을 제공받는 제 1 구조체;상기 시료의 타단과 연결되고, 제 2 열원으로부터 열을 제공받는 제 2 구조체;상기 제 1 구조체와 연결되어 상기 제 1 구조체를 지지하는 제 1 스테이지;상기 제 2 구조체와 연결되어 상기 제 2 구조체를 지지하는 제 2 스테이지;상기 제 1 및 제 2 스테이지 사이에 연결되는 연결부; 및상기 제 1 및 제 2 구조체와 상기 제 1 및 제 2 스테이지의 온도를 측정하는 측정부를 포함하고,상기 측정부는 상기 측정된 제 1 및 제 2 구조체와 상기 제 1 및 제 2 스테이지의 온도 및 상기 제 1 및 제 2 열원으로부터 제공된 열의 양을 이용하여 상기 시료의 열전도도를 계산하는 열전도도 측정 장치
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9
제 8항에 있어서,상기 제 1 열원 및 상기 제 2 열원은 선택적으로 동작되는 열전도도 측정 장치
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10
제 9항에 있어서,상기 측정부는 상기 제 1 열원 및 상기 제 2 열원의 동작에 응답하여 상기 제 1 및 제 2 구조체와 상기 제 1 및 제 2 스테이지의 온도를 복수 번 측정하는 열전도도 측정 장치
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11
제 8항에 있어서,상기 측정부는 서미스터를 포함하는 열전도도 측정 장치
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시료의 일단에 연결된 제 1 구조체에 열을 제공하는 단계;상기 제 1 구조체 및 상기 시료의 타단에 연결된 제 2 구조체의 온도를 측정하는 단계;상기 제 1 구조체를 지지하는 제 1 스테이지 및 상기 제 2 구조체를 지지하는 제 2 스테이지의 온도를 측정하는 단계; 및상기 제 1 구조체에 제공된 열의 양 및 상기 측정된 제 1 구조체, 제 2 구조체, 제 1 스테이지 및 제 2 스테이지의 온도를 이용하여 상기 시료의 열전도도를 계산하는 단계를 포함하는 열전도도 측정 방법
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제 12항에 있어서,상기 시료의 일단에 연결된 제 1 구조체에 열을 제공하는 단계는외부 열원으로부터 초음파의 형태로 상기 시료의 일단에 연결된 제 1 구조체에 열을 제공하는 단계인 열전도도 측정 방법
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제 12항에 있어서,상기 시료의 열전도도를 계산하는 단계는상기 측정된 제 1 구조체의 온도와 상기 측정된 제 2 스테이지의 온도 차이를 계산하는 단계;상기 측정된 제 2 구조체의 온도와 상기 측정된 제 2 스테이지의 온도 차이를 계산하는 단계;상기 측정된 제 1 스테이지의 온도와 상기 측정된 제 2 스테이지의 온도 차이를 계산하는 단계;상기 제 1, 제 2 구조체 및 상기 제 1 스테이지의 온도와 상기 제 2 스테이지의 온도 차이를 이용하여 상기 시료의 열컨덕턴스를 계산하는 단계; 및상기 시료의 열컨덕턴스를 기초로 상기 시료의 열전도도를 계산하는 단계를 포함하는 열전도도 측정 방법
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제 14항에 있어서,상기 시료의 열컨덕턴스를 기초로 상기 시료의 열전도도를 계산하는 단계는상기 시료의 길이를 측정하는 단계;상기 시료의 단면적을 측정하는 단계; 및상기 시료의 열컨덕턴스를 측정된 길이 및 단면적을 이용하여 정규화하여 상기 열전도도를 계산하는 단계를 포함하는 열전도도 측정 방법
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