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하부 클래드;식각된 측벽을 가지면서 상기 하부 클래드 상에 제공된 코어 패턴;상기 코어 패턴의 상부면을 덮는 빔 한정 패턴; 및상기 빔 한정 패턴이 제공된 상기 코어 패턴을 덮는 상부 클래드를 포함하되, 상기 빔 한정 패턴은 상기 상부 클래드보다 크고 상기 코어 패턴보다 작은 굴절률을 갖는 물질로 형성되고, 상기 코어 패턴보다 작은 선폭을 갖도록 형성되는 도파로 구조체
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청구항 1에 있어서, 상기 코어 패턴은 실리콘으로 형성되고, 상기 상부 클래드는 실리콘 산화물으로 형성되고, 상기 빔 한정 패턴은 실리콘 질화물로 형성되는 도파로 구조체
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청구항 1에 있어서, 상기 빔 한정 패턴은 그것의 높이에 따른 두께의 변화율이 실질적으로 0인 구조를 갖도록 형성되는 도파로 구조체
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청구항 1에 있어서, 상기 코어 패턴은 적어도 하나의 곡선 구간을 갖되, 상기 코어 패턴의 상기 곡선 구간 상에서, 상기 빔 한정 패턴과 상기 코어 패턴의 양쪽 측벽들 사이의 거리들은 서로 다른 도파로 구조체
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5
청구항 1에 있어서, 상기 코어 패턴은 제 1 곡률 반경을 갖는 제 1 곡선 구간; 및 상기 제 1 곡률 반경보다 작은 제 2 곡률 반경을 갖는 제 2 곡선 구간을 갖되, 상기 제 1 곡선 구간 상에서, 상기 빔 한정 패턴과 상기 코어 패턴의 안쪽 측벽 사이의 거리는 상기 빔 한정 패턴과 상기 코어 패턴의 바깥쪽 측벽 사이의 거리보다 작은 도파로 구조체
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6
청구항 5에 있어서, 상기 제 2 곡선 구간 상에서, 상기 빔 한정 패턴은 그것의 진행 방향을 따라 변화하는 폭을 갖도록 형성되는 도파로 구조체
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7
청구항 5에 있어서, 상기 제 2 곡선 구간 상에서, 상기 빔 한정 패턴은 상기 코어 패턴을 따라 배열되는 복수의 삼각형 조각들을 포함하는 도파로 구조체
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8
청구항 7에 있어서, 상기 삼각형 조각들 각각은 그것의 꼭지점들 중의 하나는 상기 코어 패턴의 바깥쪽 측벽에 인접하고, 나머지 꼭지점들은 상기 코어 패턴의 안쪽 측벽에 인접하도록 배치되는 도파로 구조체
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9
입력 스타 커플러, 출력 스타 커플러, 상기 입력 및 출력 스타 커플러들을 광학적으로 연결하는 배열 도파로들, 및 상기 배열 도파로들 상에 제공되는 빔 한정 패턴들을 포함하되, 상기 배열 도파로들 중의 적어도 하나는 직선 구간 및 적어도 하나의 굴곡 구간을 갖고, 상기 빔 한정 패턴들 중의 적어도 하나는 상기 직선 구간 상에 위치하는 제 1 부분 및 상기 굴곡 구간 상에 위치하는 제 2 부분을 갖고, 상기 제 1 부분은 상기 배열 도파로보다 작은 선폭을 갖는 라인 형태이고, 상기 제 2 부분은 상기 코어 패턴의 진행 방향을 따라 변화하는 폭을 삼각형 모양인 배열-도파로 격자
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10
청구항 9에 있어서, 상기 입력 및 출력 스타 커플러들, 상기 배열 도파로들, 및 상기 빔 한정 패턴들 상에 제공되는 상부 클래드를 더 포함하되, 상기 빔 한정 패턴들은 상기 상부 클래드보다 크고 상기 배열 도파로들보다 작은 굴절률을 갖는 물질로 형성되는 배열-도파로 격자
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11
청구항 10에 있어서, 상기 배열 도파로들은 실리콘으로 형성되고, 상기 상부 클래드는 실리콘 산화물으로 형성되고, 상기 빔 한정 패턴은 실리콘 질화물로 형성되는 배열-도파로 격자
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12
청구항 9에 있어서, 상기 빔 한정 패턴은 그것의 아래에 위치하는 상기 배열 도파로들 중의 상응하는 하나의 상부면을 노출시키는 배열-도파로 격자
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13
청구항 9에 있어서, 상기 배열 도파로들 중의 적어도 하나는, 상기 굴곡 구간과 상기 직선 구간 사이의 곡률을 갖는 완만한 굴곡 구간을 더 포함하는 배열-도파로 격자
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14
청구항 13에 있어서, 상기 완만한 굴곡 구간 상에서, 상기 빔 한정 패턴은 상기 배열 도파로의 진행 방향을 따라 실질적으로 균일한 두께를 갖도록 형성되되, 상기 빔 한정 패턴과 그것의 아래에 위치하는 상기 배열 도파로의 양쪽 측벽들 사이의 거리들은 서로 다른 배열-도파로 격자
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15
청구항 13에 있어서, 상기 완만한 굴곡 구간 상에서, 상기 빔 한정 패턴과 그것의 아래에 위치하는 상기 배열 도파로의 안쪽 측벽 사이의 거리는 상기 빔 한정 패턴과 그것의 아래에 위치하는 상기 배열 도파로의 바깥쪽 측벽 사이의 거리보다 작은 배열-도파로 격자
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16
청구항 9에 있어서, 상기 제 2 부분은 그것의 꼭지점들 중의 하나는 그것의 아래에 위치하는 상기 배열 도파로의 바깥쪽 측벽에 인접하고, 나머지 꼭지점들은 그것의 아래에 위치하는 상기 배열 도파로의 안쪽 측벽에 인접하도록 배치되는 배열-도파로 격자
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17
청구항 9에 있어서, 상기 빔 한정 패턴은, 상기 입력 및 출력 스타 커플러들의 상부에서, 상기 배열 도파로로부터 멀어질수록 감소하는 폭을 갖는 배열-도파로 격자
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18
청구항 9에 있어서, 상기 배열 도파로는 상기 직선 구간 및 상기 굴곡 구간 사이에 전이 구간을 더 포함하되, 상기 직선 구간의 폭은 상기 굴곡 구간의 폭보다 크고, 상기 전이 구간의 폭은 상기 직선 구간으로부터 멀어질수록 상기 직선 구간의 폭으로부터 상기 굴곡 구간의 폭까지 감소하는 배열-도파로 격자
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